等离子增强型化学气相沉积设备-加热腔国际招标澄清或变更公告(2)
等离子增强型化学气相沉积设备-加热腔国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子增强型化学气相沉积设备-加热腔 | 2台 | (1)在现有PECVD(等离子增强型化学气相沉积)系统中,新增加热腔,进行软硬件升级,并满足工艺需求。(2)UPTIME: ≥ * %。(3)每层玻璃的平均温度差异(最大减最小):≤5℃。 | 点击查看>> |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子增强型化学气相沉积设备-加热腔 | 2台 | (1)在现有PECVD(等离子增强型化学气相沉积)系统中,新增加热腔,进行软硬件升级,并满足工艺需求。(2)UPTIME: ≥ * %。(3)每层玻璃的平均温度差异(最大减最小):≤5℃。 | 点击查看>> |
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