低压多晶硅掺氧生长机/氮化硅生长机国际招标澄清或变更公告(2)
低压多晶硅掺氧生长机/氮化硅生长机国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 真空焊接炉(焊膏) | 1 | 1.配置3个预热区,1个恒温区,1个高温区,4个冷却区2.配置1个真空腔体及真空泵3.加热降温温度监控及产品温度监控4.配置助焊剂回收过滤系统 | / |
2 | Clip 装片机 | 2 | 1.满足焊锡膏点胶,芯片和铜片装片。 | / |
3 | 功率模块测试分选机 | 1 | 配置Tube上料→ISO Test→高温Test→常温Test→Vision→TapeReel/Tube下料 | / |
4 | 低压多晶硅掺氧生长机/ 氮化硅生长机 | 2 | 通过SIH4 和O2 掺杂生成掺氧多晶硅 通过DCS 和NH3 反应生成氮化硅膜 | / |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 真空焊接炉(焊膏) | 1 | 1.配置3个预热区,1个恒温区,1个高温区,4个冷却区2.配置1个真空腔体及真空泵3.加热降温温度监控及产品温度监控4.配置助焊剂回收过滤系统 | / |
2 | Clip 装片机 | 2 | 1.满足焊锡膏点胶,芯片和铜片装片。 | / |
3 | 功率模块测试分选机 | 1 | 配置Tube上料→ISO Test→高温Test→常温Test→Vision→TapeReel/Tube下料 | / |
4 | 低压多晶硅掺氧生长机/ 氮化硅生长机 | 2 | 通过SIH4 和O2 掺杂生成掺氧多晶硅 通过DCS 和NH3 反应生成氮化硅膜 | / |
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