品牌

沈科仪、 (略) 鹏程、 (略)

型号

DZ * 、DZ * 、DZ *

技术规格及参数

1）手套箱≥ * mm，不锈钢材质，厚度≥2.5mm；
2）不锈钢制成的大舱，直径≥ * mm，长度≥ * mm，箱体右侧；
3）前窗带≥3个手套口；
4） * 基橡胶手套≥5只；
5）照明系统≥1套；
6）箱内电源接口≥1套；
7）KF * 备用接口≥4个；
8）高性能的循环风机≥ * m3/h，加装变频；
9）必须包含1套水分析仪；
* ）必须包含1套氧分析仪；
* ）必须包含1套加大有机溶剂吸附器；
* ）必须包含1套支架脚轮；
* ）必须包含1个脚踏开关 ；
* ）必须包含1套净化系统；
* ）极限真空度优于6x * -5Pa；从大气抽至：6x * -4Pa≤ * min；真空室漏率为：关机 * 小时≤ * Pa；（新设备空载，极限真空后关机）
* ）真空室为立式方形腔体，腔体尺寸≥ * mm（L）× * mm× * mm(H)。 (略) 分，下部在手套 (略) ，安装集成蒸发源的组件，上部 (略) ，安装样品台等组件。腔体采用优质冷轧 * 不锈钢材料与铝合金制造，氩弧焊接，表面特殊工艺；
* ）样品台可容纳不锈钢蒸发基片托1个，可容纳样品最大不小于 * mm x * mm；
* ）样品台到蒸发源距离调节要求：范围是 * mm－ * mm；
* ）样品台可通水冷却室温至 * ℃；样品台可由电机驱动Dg * 磁力转轴驱动，转速连续可调；转速：5～ * 转/分；样品挡板：1套；
* ）有机蒸发源组件≥2套，采用束源炉式加热蒸发结构，钽材质，单支石英坩埚容量≥ * 毫升；备用石英坩埚 * 支；温度控制系统采用程序控温表闭环反馈；加热炉加热温度范围：室温- * ℃，连续可调，带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃；有机束源炉蒸发源挡板：2套；有机蒸发电源：1套；
* ）金属蒸发源组件≥2套，蒸发水冷电极4根：组成2个蒸发舟；金属蒸发钼舟5支；蒸发电源：1台：最大输出功率1.8Kw（电压6V；电流 * A）；使用进口控温表调节电流值，可设置电流精度0.1A；蒸发源之间设有可拆卸挡板，既防止蒸发源交叉污染又方便清洗安装；
* ）分子泵及变频控制电源抽速≥ * L/S；旋片真空泵≥8L/S；气动插板阀CF * 、旁抽角阀DN * 、隔断阀DN * 、电磁压差式充气阀DN * 各1台；
* ）宽量程数显真空计： 1.0x * Pa---1.0x * -5Pa：2支（电阻规、电离规各1支）；电源机柜：1台；供电电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断水报警功能：1套；电机旋转电源：1套；断水报警系统：1套；（对泵、电极等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施，完善的逻辑程序互锁保护系统）
* ）系统采用触摸屏点动控制方式；
* ）膜厚监测仪：厚度显示范围：0-- * μ * à；厚度显示分辨率：1à；速度显示范围：0— * .9à/S；速度显示分辨率：0.1à/S；层数：0— * 层；材料名称显示： * 余种；包含石英晶振探头≥1只；
* ）冷却水循环机：1套；制冷量≥3. * KW。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保2年。（售后服务与质保由制造商提供）
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后， * 小时内响应， * 小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

品牌

沈科仪、 (略) 鹏程、 (略)

型号

DZ * 、DZ * 、DZ *

技术规格及参数

1）手套箱≥ * mm，不锈钢材质，厚度≥2.5mm；
2）不锈钢制成的大舱，直径≥ * mm，长度≥ * mm，箱体右侧；
3）前窗带≥3个手套口；
4） * 基橡胶手套≥5只；
5）照明系统≥1套；
6）箱内电源接口≥1套；
7）KF * 备用接口≥4个；
8）高性能的循环风机≥ * m3/h，加装变频；
9）必须包含1套水分析仪；
* ）必须包含1套氧分析仪；
* ）必须包含1套加大有机溶剂吸附器；
* ）必须包含1套支架脚轮；
* ）必须包含1个脚踏开关 ；
* ）必须包含1套净化系统；
* ）极限真空度优于6x * -5Pa；从大气抽至：6x * -4Pa≤ * min；真空室漏率为：关机 * 小时≤ * Pa；（新设备空载，极限真空后关机）
* ）真空室为立式方形腔体，腔体尺寸≥ * mm（L）× * mm× * mm(H)。 (略) 分，下部在手套 (略) ，安装集成蒸发源的组件，上部 (略) ，安装样品台等组件。腔体采用优质冷轧 * 不锈钢材料与铝合金制造，氩弧焊接，表面特殊工艺；
* ）样品台可容纳不锈钢蒸发基片托1个，可容纳样品最大不小于 * mm x * mm；
* ）样品台到蒸发源距离调节要求：范围是 * mm－ * mm；
* ）样品台可通水冷却室温至 * ℃；样品台可由电机驱动Dg * 磁力转轴驱动，转速连续可调；转速：5～ * 转/分；样品挡板：1套；
* ）有机蒸发源组件≥2套，采用束源炉式加热蒸发结构，钽材质，单支石英坩埚容量≥ * 毫升；备用石英坩埚 * 支；温度控制系统采用程序控温表闭环反馈；加热炉加热温度范围：室温- * ℃，连续可调，带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃；有机束源炉蒸发源挡板：2套；有机蒸发电源：1套；
* ）金属蒸发源组件≥2套，蒸发水冷电极4根：组成2个蒸发舟；金属蒸发钼舟5支；蒸发电源：1台：最大输出功率1.8Kw（电压6V；电流 * A）；使用进口控温表调节电流值，可设置电流精度0.1A；蒸发源之间设有可拆卸挡板，既防止蒸发源交叉污染又方便清洗安装；
* ）分子泵及变频控制电源抽速≥ * L/S；旋片真空泵≥8L/S；气动插板阀CF * 、旁抽角阀DN * 、隔断阀DN * 、电磁压差式充气阀DN * 各1台；
* ）宽量程数显真空计： 1.0x * Pa---1.0x * -5Pa：2支（电阻规、电离规各1支）；电源机柜：1台；供电电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断水报警功能：1套；电机旋转电源：1套；断水报警系统：1套；（对泵、电极等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施，完善的逻辑程序互锁保护系统）
* ）系统采用触摸屏点动控制方式；
* ）膜厚监测仪：厚度显示范围：0-- * μ * à；厚度显示分辨率：1à；速度显示范围：0— * .9à/S；速度显示分辨率：0.1à/S；层数：0— * 层；材料名称显示： * 余种；包含石英晶振探头≥1只；
* ）冷却水循环机：1套；制冷量≥3. * KW。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保2年。（售后服务与质保由制造商提供）
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后， * 小时内响应， * 小时内 (略) 维护，并在 * 小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。