品牌

埃德万斯、金盛微纳、创世威纳

型号

IBE- * 、IBE- * B、MIBE- * A

技术规格及参数

1.LKJ-系列型离子源口径：Ф * mm
2.离子能量可调范围：0～ * eV;
3.推荐实用离子能量：0～ * eV;
4.束流峰值：≥ * mA
5.推荐使用束流：0～ * mA
6.直接水冷刻蚀工件台性能
LKJ-刻蚀工件台面为Ti合金材料，耐长期离子束轰击可保持极好低粗糙度和低溅射污染；该工件台装于真空室门板可转出室外，便于器件装载和卸载，其它性能包括：工件台面直径：Ф * mm。
7.水冷台面温度：-5℃～ * ℃；
8.自转转速：9RPM
9.刻蚀工作室功能
不锈钢箱式真空室，;配装直接插入离子源的水冷 * ℃的离子源室，装于门板的刻蚀工件台可旋入或旋出工作室。
* .真空室壁温度：≤ * ℃
* .真空系统主要构成组件、性能要求及主要技术指标
前级真空泵：直联泵抽速：≥ * L/s；
配装油雾消除器；
主泵： * C高性能分子泵及电源
抽速：> * L/s；
电气动高真空主阀通导≥ * L/s；
主要技术指标（环境温度≤ * ℃，湿度≤ * %）：
系统极限压强：PLim≤8.5× * -5Pa(无冷阱、不烘烤)；
刻蚀工作前系统本底压强：Pb≤5× * -4Pa；
系统从 * Pa抽至5× * -4Pa周期：≤ * min;
Ar+离子束工作压强范围：Pop=1.2× * -2Pa～3.0× * -2Pa
标准Ar气工作压强：Psop=2× * -2Pa;
* .系统压强测量技术要求：
ZDF-1-LED型复合真空仪配置ZJ- * 热偶规和ZJ- * 抗氧化电离规；
系统压强测量量程： * Pa～8.5× * -6Pa；
测量误差：≤±5%；
正常使用规管寿命：＞3年；
量程切换： * -1Pa～ * -6Pa自动切换；
* .流量控制技术要求：
1路流量控制系统由S * * /MT 和DJ2BV-UG6 (DC * V)抗腐截止阀构成；
MFC量程：0～ * sccm;
流量精度：±2%（F.S）；
压强控制范围： * -3Pa～5× * -1Pa（本底压强5× * -4Pa）；
* .恒温水循环系统：
配置双套LX- * 型恒温水自循环分系统， * 套用于冷却分子泵轴承和离子源室，标准使用温度 * ℃；另 * 套用于冷却工件台面；恒温水自循环分系统技术要求：
水温控制范围：5℃～ * ℃；
水温控制精度：±1℃；
循环水流量：～5L/min;
出水口压力：≥0. * MPa;
* .主阴极和浸没式中和阴极规格
主阴极材料：Ф0. * mm Ta或W丝；
主阴极使用寿命：＞ * h；（阳极电压Varc= * V）;
中和阴极材料：Ф0. * mm Ta或W丝；
中和极使用寿命：＞ * h（离子能量Ei≤ * eV,束流≤ * mA）
* .离子源电 (略) 控制系统
Advanced 离子源电源按独特电源多系统方案设计，其先进性在于电源输出外特性与离子源动态负载特性具有优良匹配， (略) 于高效率、稳 (略) 状态；
在Ei= * eV, * mA束流峰值工作条件下：
离子源功耗：≤ * W（相当于国际同口径离子源功率1/3以下）；
离子能量稳定度：RMS值≤±2%/h;
离子束流稳定度：RMS值≤±2%/h;
电源系统总体设计可靠性：≥ * %；

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内， * 旦发生质量问题，投标人保证在接到通知 * 小 (略) 进行修理或更换，保修期间维修及零件 (略) 家负担， (略) 家免费提供1年保修及更换成本。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应， * 小时内 (略) 维护。

品牌

埃德万斯、金盛微纳、创世威纳

型号

IBE- * 、IBE- * B、MIBE- * A

技术规格及参数

1.LKJ-系列型离子源口径：Ф * mm
2.离子能量可调范围：0～ * eV;
3.推荐实用离子能量：0～ * eV;
4.束流峰值：≥ * mA
5.推荐使用束流：0～ * mA
6.直接水冷刻蚀工件台性能
LKJ-刻蚀工件台面为Ti合金材料，耐长期离子束轰击可保持极好低粗糙度和低溅射污染；该工件台装于真空室门板可转出室外，便于器件装载和卸载，其它性能包括：工件台面直径：Ф * mm。
7.水冷台面温度：-5℃～ * ℃；
8.自转转速：9RPM
9.刻蚀工作室功能
不锈钢箱式真空室，;配装直接插入离子源的水冷 * ℃的离子源室，装于门板的刻蚀工件台可旋入或旋出工作室。
* .真空室壁温度：≤ * ℃
* .真空系统主要构成组件、性能要求及主要技术指标
前级真空泵：直联泵抽速：≥ * L/s；
配装油雾消除器；
主泵： * C高性能分子泵及电源
抽速：> * L/s；
电气动高真空主阀通导≥ * L/s；
主要技术指标（环境温度≤ * ℃，湿度≤ * %）：
系统极限压强：PLim≤8.5× * -5Pa(无冷阱、不烘烤)；
刻蚀工作前系统本底压强：Pb≤5× * -4Pa；
系统从 * Pa抽至5× * -4Pa周期：≤ * min;
Ar+离子束工作压强范围：Pop=1.2× * -2Pa～3.0× * -2Pa
标准Ar气工作压强：Psop=2× * -2Pa;
* .系统压强测量技术要求：
ZDF-1-LED型复合真空仪配置ZJ- * 热偶规和ZJ- * 抗氧化电离规；
系统压强测量量程： * Pa～8.5× * -6Pa；
测量误差：≤±5%；
正常使用规管寿命：＞3年；
量程切换： * -1Pa～ * -6Pa自动切换；
* .流量控制技术要求：
1路流量控制系统由S * * /MT 和DJ2BV-UG6 (DC * V)抗腐截止阀构成；
MFC量程：0～ * sccm;
流量精度：±2%（F.S）；
压强控制范围： * -3Pa～5× * -1Pa（本底压强5× * -4Pa）；
* .恒温水循环系统：
配置双套LX- * 型恒温水自循环分系统， * 套用于冷却分子泵轴承和离子源室，标准使用温度 * ℃；另 * 套用于冷却工件台面；恒温水自循环分系统技术要求：
水温控制范围：5℃～ * ℃；
水温控制精度：±1℃；
循环水流量：～5L/min;
出水口压力：≥0. * MPa;
* .主阴极和浸没式中和阴极规格
主阴极材料：Ф0. * mm Ta或W丝；
主阴极使用寿命：＞ * h；（阳极电压Varc= * V）;
中和阴极材料：Ф0. * mm Ta或W丝；
中和极使用寿命：＞ * h（离子能量Ei≤ * eV,束流≤ * mA）
* .离子源电 (略) 控制系统
Advanced 离子源电源按独特电源多系统方案设计，其先进性在于电源输出外特性与离子源动态负载特性具有优良匹配， (略) 于高效率、稳 (略) 状态；
在Ei= * eV, * mA束流峰值工作条件下：
离子源功耗：≤ * W（相当于国际同口径离子源功率1/3以下）；
离子能量稳定度：RMS值≤±2%/h;
离子束流稳定度：RMS值≤±2%/h;
电源系统总体设计可靠性：≥ * %；

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内， * 旦发生质量问题，投标人保证在接到通知 * 小 (略) 进行修理或更换，保修期间维修及零件 (略) 家负担， (略) 家免费提供1年保修及更换成本。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应， * 小时内 (略) 维护。