物理系外延薄膜生长系统采购项目更正公告

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物理系外延薄膜生长系统采购项目更正公告


公告概要:
公告信息:
采购项目名称物理系外延薄膜生长系统采购项目
品目

货物/其他货物/其他不另分类的物品

采购单位 (略)
行政区域 (略) 市公告时间 * 日 * : *
首次公告日期 * 日更正日期 * 日
更正事项采购文件
联系人及联系方式:
项目联系人常工 樊工
项目联系电话 点击查看>>点击查看>>
采购单位 (略)
采购单位地址 (略) 市 (略) 区西丽学苑大道 * 号
采购单位联系方式颜老师 , 点击查看>>
代理机构名称 (略) 有限公司
代理机构地址 (略) 市 (略) 区留仙大道 * 号 (略) A座 * 楼 * 号
代理机构联系方式常工 樊工, 点击查看>>点击查看>>

* 、项目基本情况

原公告的采购项目编号: * -DHNS * (SZDL 点击查看>> )      

原公告的采购项目名称:物理系外延薄膜生长系统采购项目      

首次公告日期: * 日      

* 、更正信息

更正事项:采购文件

更正内容:

序号

货物名称

原招标技术要求

现招标技术要求

1

外延薄膜生长系统

( * )PLD腔室

▲7.1配备激光加热装置,使用工业级红外激光器,功率≥ * W,样品加热温度≥ * °C以上, * Pa臭氧环境中可以加热≥ * ℃; * * * mm样品区域;

▲7.1配备激光加热装置,使用工业级红外激光器,功率≥ * W,样品加热温度≥ * °C以上, * Pa臭氧环境中可以加热≥ * ℃; * mm* * mm样品区域; * mm x * mm大小样品的温度不均匀度2% (提供温度均匀性的测试数据);

▲8.2.靶台可以公转(用于选靶),靶台可以自转,同时在X方向上线性扫描,公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下,使激光相对扫过整个靶材表面,从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变;

▲8.2.靶台可以公转(用于选靶),靶台可以自转,同时在X方向上线性扫描,公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下,使激光相对扫过整个靶材表面,从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变;(提供产品彩页)。

8.5. 靶台配有水冷;

8.5. 靶台配有水冷;(提供产品彩页)

( * )MBE腔室

▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式,温度≥ * ℃;低温样品台通过液氮实现 * K-RT的变温;

▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式,温度≥ * ℃;低温样品台通过液氮实现 * K-RT的变温;(提供产品彩页)

更正日期: * 日 

* 、其他补充事宜

1.采购文件如涉及上述内容的亦作相应修改,本通知与原采购 (略) ,以本通知为准。

2.投标人有义务在采购活动期 (略) 站,在网上公布的与本次采购项目有关的信息视为已送达各投标人。

3.招标文件已重新上传, (略) 文件, (略) 文件制作投标文件加密并上传。

* 、 (略) 内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称: (略)      

地址: (略) 市 (略) 区西丽学苑大道 * 号        

联系方式:颜老师 , 点击查看>>       

2.采购代理机构信息

名 称: (略) 有限公司            

地 址: (略) 市 (略) 区留仙大道 * 号 (略) A座 * 楼 * 号            

联系方式:常工 樊工, 点击查看>>点击查看>>             

3.项目联系方式

项目联系人:常工 樊工

电 话:   点击查看>>点击查看>>

 

公告概要:
公告信息:
采购项目名称物理系外延薄膜生长系统采购项目
品目

货物/其他货物/其他不另分类的物品

采购单位 (略)
行政区域 (略) 市公告时间 * 日 * : *
首次公告日期 * 日更正日期 * 日
更正事项采购文件
联系人及联系方式:
项目联系人常工 樊工
项目联系电话 点击查看>>点击查看>>
采购单位 (略)
采购单位地址 (略) 市 (略) 区西丽学苑大道 * 号
采购单位联系方式颜老师 , 点击查看>>
代理机构名称 (略) 有限公司
代理机构地址 (略) 市 (略) 区留仙大道 * 号 (略) A座 * 楼 * 号
代理机构联系方式常工 樊工, 点击查看>>点击查看>>

* 、项目基本情况

原公告的采购项目编号: * -DHNS * (SZDL 点击查看>> )      

原公告的采购项目名称:物理系外延薄膜生长系统采购项目      

首次公告日期: * 日      

* 、更正信息

更正事项:采购文件

更正内容:

序号

货物名称

原招标技术要求

现招标技术要求

1

外延薄膜生长系统

( * )PLD腔室

▲7.1配备激光加热装置,使用工业级红外激光器,功率≥ * W,样品加热温度≥ * °C以上, * Pa臭氧环境中可以加热≥ * ℃; * * * mm样品区域;

▲7.1配备激光加热装置,使用工业级红外激光器,功率≥ * W,样品加热温度≥ * °C以上, * Pa臭氧环境中可以加热≥ * ℃; * mm* * mm样品区域; * mm x * mm大小样品的温度不均匀度2% (提供温度均匀性的测试数据);

▲8.2.靶台可以公转(用于选靶),靶台可以自转,同时在X方向上线性扫描,公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下,使激光相对扫过整个靶材表面,从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变;

▲8.2.靶台可以公转(用于选靶),靶台可以自转,同时在X方向上线性扫描,公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下,使激光相对扫过整个靶材表面,从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变;(提供产品彩页)。

8.5. 靶台配有水冷;

8.5. 靶台配有水冷;(提供产品彩页)

( * )MBE腔室

▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式,温度≥ * ℃;低温样品台通过液氮实现 * K-RT的变温;

▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式,温度≥ * ℃;低温样品台通过液氮实现 * K-RT的变温;(提供产品彩页)

更正日期: * 日 

* 、其他补充事宜

1.采购文件如涉及上述内容的亦作相应修改,本通知与原采购 (略) ,以本通知为准。

2.投标人有义务在采购活动期 (略) 站,在网上公布的与本次采购项目有关的信息视为已送达各投标人。

3.招标文件已重新上传, (略) 文件, (略) 文件制作投标文件加密并上传。

* 、 (略) 内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称: (略)      

地址: (略) 市 (略) 区西丽学苑大道 * 号        

联系方式:颜老师 , 点击查看>>       

2.采购代理机构信息

名 称: (略) 有限公司            

地 址: (略) 市 (略) 区留仙大道 * 号 (略) A座 * 楼 * 号            

联系方式:常工 樊工, 点击查看>>点击查看>>             

3.项目联系方式

项目联系人:常工 樊工

电 话:   点击查看>>点击查看>>

 
    
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