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1

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：1、 * 坐标测量仪

（1）测量范围：

a)        X轴= * mm；

b)        Y轴= * mm；

c)        Z轴= * mm

（1）测量范围：

a)        X轴≥ * mm；

b)        Y轴≥ * mm；

c)        Z轴≥ * mm

（2）测量精度（环境温度 * - * 摄氏度，梯度为：1k/d，0.5k/h，0.5k/m，湿度 * ~ * %）：

a)长度测量最大允许示值误差(见ISO1 * * )：E0/E * (1.2+L/ * )μm   L单位mm

b)形状（圆度）误差（见ISO * 1）：RONT1.2μm

c)单探针形状探测精度(见ISO1 * * )：PFTU1.2 μm

E0 重复性范围（见ISO1 * * ）1.2μm

（2）★测量精度（环境温度 * - * 摄氏度，梯度为：1k/d，0.5k/h，0.5k/m，湿度 * ~ * %）：

a)长度测量最大允许示值误差(ISO1 * * )：E0/E * ≤(1.2+L/ * )μm，L单位为mm

b)形状（圆度）误差（见ISO * 1）：RONT≤1.2μm

c)单探针形状探测精度(见ISO1 * * )：PFTU≤1.2 μm

E0 重复性范围（见ISO1 * * ）≤1.2μm

（3）扫描误差/检测时间（见ISO 1 * * ）：THP2.0 (μm) / * s

（3）扫描误差/检测时间（见ISO 1 * * ）：THP≥2.0 (μm) / * s

（4）

a)最大扫描速度：= * mm/s；

b)最大空间运动速度：= * mm/s；

c)最大空间运动加速度：= * mm/s2；

（4）

a)最大扫描速度：≥ * mm/s；

b)最大空间运动速度：≥ * mm/s；

最大空间运动加速度：≥ * mm/s2；

7.丰富的CAD模型直接导入接口：IGS 2D/3D、VDA 2D/3D、STEP 3D、DXF 2D、ParaSolid、JT；

7.★丰富的CAD模型直接导入接口：IGS 2D/3D、VDA 2D/3D、STEP 3D、DXF 2D、ParaSolid、JT；

2

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：2、粗糙度轮廓仪：1）粗糙度测量主要技术指标

（1）测量长度: = * mm  立柱= * mm

（1）测量长度: ≥ * mm  立柱≥ * mm

（2）测针系统垂直测量范围：= * μm(标准单倍测针)，通过加长测针配置，范围不小于 * μm

（2）★测针系统垂直测量范围：≥ * μm(标准单倍测针)，通过加长测针配置，范围不小于 * μm

（5）直线度误差: =0.4/ * mm （在 * mm长度范围内，直线度的重复性误差=0.4μm）

（5）直线度误差:≤0.4/ * mm （在 * mm长度范围内，直线度的重复性误差=0.4μm）

（6）优于ISO标准1级精度(=2%)

（6）★优于ISO标准1级精度(≤2%)

（7）水平方向分辨率= * nm

（7）★水平方向分辨率≤ * nm

（8）Rz残值：= * n，Vt=0.1mm/s

（8）Rz残值≤ * nm，Vt=0.1mm/s

（9）具备可测量的粗糙度参数（包括但不限于）：

执行标准：DIN/ISO/JIS/ASME/MOTIF

a)        Ra，Rq，Rz（Ry根据JIS符合Rz）；

b)        Rmax，Rpc，Rz-JIS，Rt，Rp（Rpm根据ASME符合Rp）；

c)        Rv，R3z，RSm，Rs（Rs根据JIS符合S）；

d)        Rsk，Rku，Rdq，Rlq，Rdc，RHSC，Rmr(tp)；

e)        Rk，Rpk，Rvk，Rpkx，Rvkx，Mr1，Mr2，A1，A2，Vo

f)        P轮廓参数：Pa，Pq，Pt，Pp，Pv，PSm，Psk，Pku，Pdq，Plq，Pdc，PHSC，PPc，PMr；

g)        W波度轮廓参数：Wa，Wq，Wt，Wp，Wv，WSm，Wsk，Wku，Wdg，Wdc，WMr；

h)        Motif参数：R，Ar，W，Aw，Rx，Wx，Wte，Nr，Ncrx，Nw，Cpm，CR，CF，CL；

ISO * 的参数:Pt(ISO * )，D参数列：Rz-L，Rp-L，R3z-L，Rdc-L，RMr-L，Pdc-L，PMr-L。

（9）★具备可测量的粗糙度参数（包括但不限于）：

执行标准：DIN/ISO/JIS/ASME/MOTIF

a)        Ra，Rq，Rz（Ry根据JIS符合Rz）；

b)        Rmax，Rpc，Rz-JIS，Rt，Rp（Rpm根据ASME符合Rp）；

c)        Rv，R3z，RSm，Rs（Rs根据JIS符合S）；

d)        Rsk，Rku，Rdq，Rlq，Rdc，RHSC，Rmr(tp)；

e)        Rk，Rpk，Rvk，Rpkx，Rvkx，Mr1，Mr2，A1，A2，Vo

f)        P轮廓参数：Pa，Pq，Pt，Pp，Pv，PSm，Psk，Pku，Pdq，Plq，Pdc，PHSC，PPc，PMr；

g)        W波度轮廓参数：Wa，Wq，Wt，Wp，Wv，WSm，Wsk，Wku，Wdg，Wdc，WMr；

h)        Motif参数：R，Ar，W，Aw，Rx，Wx，Wte，Nr，Ncrx，Nw，Cpm，CR，CF，CL；

ISO * 的参数:Pt(ISO * )，D参数列：Rz-L，Rp-L，R3z-L，Rdc-L，RMr-L，Pdc-L，PMr-L。

3

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：2、粗糙度轮廓仪：2）轮廓测量主要技术指标

（1）测量长度: = * mm  立柱= * m

（1）★测量长度: ≥ * mm  立柱≥ * m

（2）测针系统垂直测量范围：= * mm

（2）★测针系统垂直测量范围：≥ * mm

（5）直线度误差: =0.4μm/ * mm（在 * mm长度范围内，直线度的重复性误差=0.4μm）

（5）直线度误差: ≤0.4μm/ * mm（在 * mm长度范围内，直线度的重复性误差≤0.4μm）

（6）系统分辨率：=8nm

（6）★系统分辨率：≤8nm

（7）Rz 残值：= * nm，Vt=0.1mm/s （在速度为0.1毫米/秒的条件下，Rz=0时的测量丢失值≤ * 纳米）

（7）Rz 残值：≤ * nm，Vt=0.1mm/s （在速度为0.1毫米/秒的条件下，Rz=0时的测量丢失值≤ * 纳米）

（8）圆弧测量误差：

(R * mm)2 μm

( * mm < R = * mm)=（0.4 + R/6) μm

(R > * mm)  =(3 + R/5) μm

（8）★圆弧测量误差：

(R≤ * mm)时，误差≤2μm

( * mm < R≤ * mm)时，误差≤(0.4 + R/6)μm

(R > * mm)时，误差≤(-3 + R/5)μm

（9）X方向测量不确定度：=± (0.5 + L/ * ) μm

水平方向测量误差：± (0.5 + L/ * ) μm；L单位=mm

（9）★X方向测量不确定度：≤± (0.5 + L/ * ) μm

水平方向测量误差：± (0.5 + L/ * ) μm；L单位=mm

4

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：2、粗糙度轮廓仪：3）设备需要配置的硬件结构指标

（1）电动立柱；高度= * mm

（1）★电动立柱；高度≥ * mm

（2）立柱为CNC控制，可实现CNC编程自动定位和编程控制

（2）★立柱为CNC控制，可实现CNC编程自动定位和编程控制

（3）X/Z方向均为CNC控制，即驱动器X方向为CNC编程控制

（3）★X方向为CNC编程自动定位和编程控制

5

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：2、粗糙度轮廓仪： * 、功能要求

1. 轮廓度测量功能：

* )  以 DXF 文档输 (略) 理论和实际测量的比较；

* )  带有专利的测量臂，在更换测臂时不需要工具，不 (略) 校准；

1. 轮廓度测量功能：

* )★以 DXF 文档输 (略) 理论和实际测量的比较；

* )★采用磁性吸盘连接方式的测针，在更换测臂时不需要工具，不 (略) 校准；

2. 粗糙度测量功能：

3)监察 (略) 有数据；

5)自动选取标准截止波长和扫瞄长度功能 (专利编号DE1YY * K1PA1)；

8)可选择不同的配置方式；

9)可设置不同用户层次，通过密码保护，避免操作者错误操作或改动设定，并可确保未有权限人员不能使用；

2. 粗糙度测量功能：

3)可设置报警公差范围，当测量公差超过设置范围时及时报警，并统计相关数据；

5)★自动选取标准截止波长和扫描长度功能；

8)可设置不同用户层次，通过密码保护，避免操作者错误操作或改动设定，并可确保未有权限人员不能使用；

6

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：3、圆柱度仪：1）圆柱度仪主机主要技术指标

（2）测量能力

a)         (略) 测量高度：= * mm

b)        最大工件重量：= * kg

c)        最大工件直径：= * mm

d)        最大测量直径：= * mm

（2）★测量能力

a) (略) 测量高度：≥ * mm

b)最大工件重量：≥ * kg

c)最大工件直径：≥ * mm

d）最大测量直径：≥ * mm

（3）主轴（回转台）：

a)        主轴构造：主轴应采用高精度密珠轴承

b)        ★主轴精度：径向误差 ± (0. * μm＋0. * 5μm/mm×测量高度)；轴向误差 ± (0. * μm＋0. * μm/mm×测量半径)

c)        可顺时针和逆时针回转，可测量螺旋线

d)        主轴速度连续可调，可调范围不小于：1- * rpm

e)        调心调平方式：全自动调心调平

f)        调中心范围：= ±2 mm

g)        调水平范围：= ±0.5°

h)        工作台直径：= * mm

（3）主轴（回转台）：

a)★主轴构造：主轴应采用高精度密珠轴承

b)★主轴精度：径向误差≤±(0. * μm＋0. * 5μm/mm×测量高度)；轴向误差≤± (0. * μm＋0. * μm/mm×测量半径)

c)可顺时针和逆时针回转，可测量螺旋线

d)★主轴速度连续可调，可调范围不小于：1- * rpm

e)★调心调平方式：全自动调心调平

f)调中心范围：≥±2 mm

g)调水平范围：≥±0.5°

h）★工作台直径：≥ * mm

（4）立柱（竖直轴）

a)★ (略) 程：= * mm

b)全程直线度误差： 0.4μm/ * mm（全行程 * mm范围内，直线度误差≤0.4μm）

c)任意 * mm直线度误差： 0. *  μm/ * mm

d)立柱 (略) 度: = 1μm/ * mm（全行程 * mm范围内，立柱 (略) 度误差≤1μm）

（4）立柱（竖直轴）

a)★ (略) 程：≥ * mm

b)全程直线度误差：≤0.4μm/ * mm（全行程 * mm范围内，直线度误差≤0.4μm）

c)任意 * mm直线度误差：≤0. *  μm/ * mm

立柱 (略) 度: ≤1μm/ * mm（全行程 * mm范围内，立柱 (略) 度误差≤1μm）

（5）横臂（水平轴）

a) (略) 程：= * mm

b)线性分辨率： 0. * μm

c)直线度误差: = 0.4μm/ * mm（横臂（水平轴） * mm范围内，直线度误差≤0.4μm）

d)定位速度: 0.5- * mm/s

（5）横臂（水平轴）

a)★ (略) 程：≥ * mm

b)线性分辨率：≤0. * μm

c)直线度误差: ≤ 0.4μm/ * mm（横臂（水平轴） * mm范围内，直线度误差≤0.4μm）

定位速度: 0.5- * mm/s

（6）传感器

a)传感器：全自动测头，测针可实现 * °CNC自动旋转，步进分度应能精确到1°

b)传感器旋转角度范围： * °

c)传感器类型：高灵敏度电感传感器

d)测量范围：± * μm

e)步进分度应能精确到1°

f)测量的力度：利用软件可依据测力要求在0. * N-0. * N调整

g)零位置测头， (略) 内外圆检测切换

h)具有软硬件自动防撞保护功能，报警、急停功能，防止测头及 (略) 位与工件发生碰撞

i)★具有测头自动跟踪功能，能够实现复杂圆柱面的自动调心调平及测量要求（ (略) 程序，设备自动完成调心调平工作，同时 (略) 设置，调心调平完成后开始自动测量）

j)测头采用吸盘式或拔插式装夹方式，带防撞保护，换针后无需重校准（驱动器与测针的连接方式为磁吸连接或者是插拔式连接，具备误撞击后保护功能；设备可以自动识别测针的长宽高等基本尺寸，更换不同的测头，不需要对测 (略) 校准）

（6）传感器

a)★传感器：全自动测头，测针可实现 * °CNC自动旋转，步进分度应能精确到1°

b)★传感器旋转角度范围： * °

c)传感器类型：高灵敏度电感传感器

d)测量范围：± * μm

e)步进分度应能精确到1°

f)测量的力度：利用软件可依据测力要求在0. * N-0. * N调整

g)★零位置测头， (略) 内外圆检测切换

h)具有软硬件自动防撞保护功能，报警、急停功能，防止测头及 (略) 位与工件发生碰撞

i)★具有测头自动跟踪功能，能够实现复杂圆柱面的自动调心调平及测量要求（ (略) 程序，设备自动完成调心调平工作，同时 (略) 设置，调心调平完成后开始自动测量）

j)★测头采用吸盘式，带防撞保护，换针后无需重校准（驱动器与测针的连接方式为磁吸连接，具备误撞击后保护功能；设备可以自动识别测针的长宽高等基本尺寸，更换不同的测头，不需要对测 (略) 校准）

（7）测量软件

测量软件包需包括自学编程功能，换针后无需重新校验，即可直接测量编程。

可分析模块（包括但不限于）：圆度、圆柱度、垂直度、直线度、同心度、同轴度、全跳动、平面度、偏心度、跳动、平行度、部分圆弧圆度测量、部分圆弧平面度测量等。

软件功能：软件采用系统平台（Marwin3版本或同等以上），控制、测量功能采用图形终端；测量结果直接保存或用户自定义形式保存；软件界面及结果输出具有中文支持；具有傅立叶分析软件分析，软件系统可以在品牌平台下，自由升级到最新版本。

滤波波段选择：1- * upr, 1- * upr, 1- * upr, 1- * upr以及用户任意设定。

具备软件补偿功能（通过校准程 (略) 软件补偿，如测头直径误差，6mm直径测头，实测5. * mm，软件可以依据实际尺寸 (略) 补偿，得出实际测量尺寸）

（7）测量软件

测量软件包需包括自学编程功能，换针后无需重新校验，即可直接测量编程。

可分析模块（包括但不限于）：圆度、圆柱度、垂直度、直线度、同心度、同轴度、全跳动、平面度、偏心度、跳动、平行度、部分圆弧圆度测量、部分圆弧平面度测量等。

★软件功能：控制、测量功能采用图形终端；测量结果直接保存或用户自定义形式保存；软件界面及结果输出具有中文支持；具有傅立叶分析软件功能，软件系统可以在品牌平台下，自由升级到最新版本。

滤波波段选择：1- * upr, 1- * upr, 1- * upr, 1- * upr以及用户任意设定。

具备软件自动补偿功能（通过校准程 (略) 软件补偿，如测头直径误差，6mm直径测头，实测5. * mm，软件可以依据实际尺寸 (略) 补偿，得出实际测量尺寸，不需要人为干预，以提高测量效率）

7

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：3、圆柱度仪： * 、功能要求

依照ISO * 的 (略) 评定，评定软件经过 PTB 认证

依照ISO * 的 (略) 评定，评定软件经过国际权威计量机构或国家级计量机构认证。

8

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：4、影像测量仪：2.详细技术指标要求（“★”为关键技术指标）

（1）★测量范围：

a)X轴= * mm；

b)Y轴= * mm；

c)Z轴= * mm

（1）★测量范围：

a)X轴≥ * mm；

b)Y轴≥ * mm；

c)Z轴≥ * mm

（2）★测量精度：

a)Ex、Ey (1.6+L/ * )μm

b)Exy (1.8+L/ * )μm

（2）★测量精度：

a)Ex、Ey≤(1.6+L/ * )μm

b)Exy≤(1.8+L/ * )μm

（6）控制系统：控制系统可扩展支持非接触式影像测头、非接触白光扫描测头、自动旋转转台，且支持升级扩展自动化联机方案以及影像识别系统

（6）★控制系统：控制系统可扩展支持非接触式影像测头、非接触白光扫描测头、自动旋转转台，且支持升级扩展自动化联机方案以及影像识别系统

（7）测量系统配置要求：

a)设备必须预留多种传感器安装接口，可拓展接触式和激光、转台。且各种测量模块均可在同 * (略) ，并且在同 * 坐标系下实现测量。

b)光学CCD影像采用多种光源照明：绿色透射光；同轴光源，白色可调6环8区环形光（可分段编程控制）

c)采用6.5:1自动无级变焦系统。

d)采用高分辨率CCD，总像素数不低于 * 万像素。

e)测量软件必须为以下主流软件：PC-DMIS、QUNDOS、METROLOGIC、Metus，证评定 (略) 理方法应符合ISO标准（依据ISO * 0-7）。

f)测量 (略) 有 (略) 测量和评定：包括但不限于点、线、面、圆、槽、椭圆、圆柱、圆锥等，能够对各种形位公差评定：包括但不限于直线度、同心度、平面度、圆度、垂直度、倾斜度、位置度、对称度、轮廓度等特性，测量软件的操作界面和CCD影像界面均为在 * 个界面显示，切换方便，操作灵活，具有中文版软件.

g)输出报告具有excel、TXT、PDF、CVS等格式；

h)具备CAD数模的导入、编程和测量功能；

i)★具备CAD数模的导出功能.

j)支持图形文本输出及定制化的Excel报告；

k)提供ISO及ANSI标准的公差评判能力，并兼容 GD&T * 版的最新功能；软件轮廓度评价功能，需具有ISO和ASME标准.

（7）测量系统配置要求：

a)设备必须预留多种传感器安装接口，可拓展接触式和激光、转台。且各种测量模块均可在同 * (略) ，并且在同 * 坐标系下实现测量。

b)光学CCD影像采用多种光源照明：绿色透射光；同轴光源，白色可调6环8区环形光（可分段编程控制）

c)★采用6.5:1自动无级变焦系统。

d)★采用高分辨率CCD，总像素数不低于 * 万像素。

e)★测量软件必须为以下主流软件：PC-DMIS、QUNDOS、METROLOGIC、Metus，证评定 (略) 理方法应符合ISO标准（依据ISO * 0-7）。

f)★测量 (略) 有 (略) 测量和评定：包括但不限于点、线、面、圆、槽、椭圆、圆柱、圆锥等，能够对各种形位公差评定：包括但不限于直线度、同心度、平面度、圆度、垂直度、倾斜度、位置度、对称度、轮廓度等特性，测量软件的操作界面和CCD影像界面均为在 * 个界面显示，切换方便，操作灵活，具有中文版软件.

g)输出报告具有excel、TXT、PDF、CVS等格式；

h)★具备IGES, STL, STEP, DXF, DWG, VDAFS, DES, XYZ, XML等多种文件格式的CAD数模的导入、编程和测量功能；

i)★具备IGES, STL, STEP, DXF, DWG, VDAFS, DES, XYZ, XML等多种文件格式的CAD数模的导出功能；

j)支持图形文本输出及定制化的Excel报告；

k)★提供ISO及ANSI标准的公差评判能力，并兼容 GD&T * 版的最新功能；软件轮廓度评价功能，需具有ISO和ASME标准.

（9）测量软件应为制造商自主知识产权

（9）★测量软件应为制造商自主知识产权

（ * ）★测量软件评定 (略) 理方法应符合ISO标准（依据ISO * 0-7），须经过德国PTB算法认证

（ * ）★测量软件评定 (略) 理方法应符合ISO标准（依据ISO * 0-7），须经过德国PTB算法认证

（ * ）安装环境要求：

c)电源：1kVA， * V± * %、 * - * Hz，具有稳压装置、漏电保护、断电保护。

d)环境温度要求： * ±2，温度梯度不高于1/h，2/ * h，1/m

e)相对湿度： * - * %

（ * ）安装环境要求：

c)电源：1kVA， * V± * %、 * - * Hz，具有稳压装置、漏电保护、断电保护。

d)环境温度要求： * ℃±2℃，温度梯度不高于1℃/h，2℃/ * h，1℃/m

相对湿度： * - * %

9

第 * 章用户需求书， * 、技术要求：4、影像测量仪： * 、功能要求：

1.通过光学成像完成非接触测量，适合于冲压件，塑料件，注塑件和丝膜印刷， (略) 业的测量要求；

2.采用花岗岩基座，高精度线性导轨，轻质高强度特种铝合金框架，玻璃工作台；

3.计算机控制照 (略) 源系统，同轴光（上光），背光（透射光）及LED环形照 (略) ；

4.采用高分辨率（ * 像素）工业级彩色 CCD 相机，放大倍率 * ~ * 倍；

5.测量图形可显示于CAD图形视窗中，并在这个视窗里可以创建尺寸；

6.通过直观和多功能的测量结果视窗，可以快速浏览测量结果，增加或移除测量尺寸，并可将测量结果实时地导出到指定的Excel报告模板中；

7.测量特征包括：点、线、圆、弧、面和轮廓。通过多目标获取工具（多段线，扇形圆），能对 (略) (略) 测量。所有的测量环境参数如灯光、坐标位置、 (略) 理（抓边方式、极性、密度）等都可以记录在程序中 (略) 修改编辑。

8.构造特征包括：点、线、圆、面和R角。构造特征可在任意测量程序步骤之间移动或插入；

可设置抓边方式、棱边极性、方向、密度、强度和毛刺过滤值。

1.通过光学成像完成非接触测量，适合于冲压件，塑料件，注塑件和丝膜印刷， (略) 业的测量要求；

2.▲采用花岗岩基座，高精度线性导轨，轻质高强度特种铝合金框架，玻璃工作台；

3.计算机控制照 (略) 源系统，同轴光（上光），背光（透射光）及LED环形照 (略) ；

4.▲采用高分辨率（ * 像素）工业级彩色 CCD 相机，放大倍率 * ~ * 倍；

5.测量图形可显示于CAD图形视窗中，并在这个视窗里可以创建尺寸；

6.▲通过直观和多功能的测量结果视窗，可以快速浏览测量结果，增加或移除测量尺寸，并可将测量结果实时地导出到指定的Excel报告模板中；

7.测量特征包括：点、线、圆、弧、面和轮廓。通过多目标获取工具（多段线，扇形圆），能对 (略) (略) 测量。所有的测量环境参数如灯光、坐标位置、 (略) 理（抓边方式、极性、密度）等都可以记录在程序中 (略) 修改编辑。

8.★构造特征包括：点、线、圆、面和R角。构造特征可在任意测量程序步骤之间移动或插入；

可设置抓边方式、棱边极性、方向、密度、强度和毛刺过滤值。

*

第 * 章 评标办法：1. (略) 分（ * 分）供应商管理体系

供应商具有质量管理体系认证证书的得3分。（提供在有效期内的证书复印件）

供应商或制造商具有质量管理体系认证证书的得3分。（提供在有效期内的证书复印件）

*

截止时间

* 年 * 月8日 * 点 * 分（ (略) 时间）

* 年 * 月 * 日 * 点 * 分（ (略) 时间）