氮化钛、钽、铝溅射设备国际招标澄清或变更公告(2)-0705-214020603469
氮化钛、钽、铝溅射设备国际招标澄清或变更公告(2)-0705-214020603469
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 氮化钛、钽、铝溅射设备 | 1台 | 用于 * 英寸集成电路生产企业的氮化钛、钽、铝溅射设备/Ta(N)/Cu seed Sputter,满足 * nm或 * nm以下产品量产及研发需求。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 氮化钛、钽、铝溅射设备 | 1台 | 用于 * 英寸集成电路生产企业的氮化钛、钽、铝溅射设备/Ta(N)/Cu seed Sputter,满足 * nm或 * nm以下产品量产及研发需求。 |
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