品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

功能：表面 * 维粗糙度非接触测量；表面微观 * 维结构测量； * 键式快速测量。
技术参数：
1.测量模式 PSI/VSI/明场
2. (略) * * * μm（ * X物镜）； (略) * * * μm（ * X物镜）
3.纵向扫描范围 0- * mm
4.纵向测量重复性 0.2nm （PSI 模式）
5.高度测量示值误差<3%
6. 横向光学分辨率（@ * nm）：0. * um（ * X干涉物镜）；0.5um（ * X干涉物镜）
7.测量时间＜5s （PSI模式）
8.分析功能 高度测量，尺寸测量，粗糙度分析
9.3D数据输出 3D点云数据， 灰度图像数据，订制报告
配置清单：
* 维测量显微镜主机及控制箱
改进型大框架 (略) 石框架
电动XY位移台，可旋转晶圆样品台，精调角度调整台
气浮隔振工作台（ * * * * * mm,承重 * kg）
静音无油空压机
干涉物镜 * X （ (略) : * * * μm ）
干涉物镜 * X （ (略) * * * μm）
平场显微物镜（ * X， * X， * X， * X）
(略) 台式机及显示器
测量软件：PSI/VSI-粗糙/VSI-光滑/明场 全模式

售后及质保要求

质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【6】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护， * 般 (略) 家维修后【7】工作日内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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型号

无推荐型号

技术规格及参数

功能：表面 * 维粗糙度非接触测量；表面微观 * 维结构测量； * 键式快速测量。
技术参数：
1.测量模式 PSI/VSI/明场
2. (略) * * * μm（ * X物镜）； (略) * * * μm（ * X物镜）
3.纵向扫描范围 0- * mm
4.纵向测量重复性 0.2nm （PSI 模式）
5.高度测量示值误差<3%
6. 横向光学分辨率（@ * nm）：0. * um（ * X干涉物镜）；0.5um（ * X干涉物镜）
7.测量时间＜5s （PSI模式）
8.分析功能 高度测量，尺寸测量，粗糙度分析
9.3D数据输出 3D点云数据， 灰度图像数据，订制报告
配置清单：
* 维测量显微镜主机及控制箱
改进型大框架 (略) 石框架
电动XY位移台，可旋转晶圆样品台，精调角度调整台
气浮隔振工作台（ * * * * * mm,承重 * kg）
静音无油空压机
干涉物镜 * X （ (略) : * * * μm ）
干涉物镜 * X （ (略) * * * μm）
平场显微物镜（ * X， * X， * X， * X）
(略) 台式机及显示器
测量软件：PSI/VSI-粗糙/VSI-光滑/明场 全模式

售后及质保要求

质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【6】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护， * 般 (略) 家维修后【7】工作日内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。