品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、用途：采用等离子体辅助技术，用原子层沉积的方法制备薄膜。
2、电力供应：市电 * V，设备总功率不高于 * kW。
3、工作环境：设备置于室内，气温 * ～ * ℃、相对湿度0～ * %，已有0.3～0.5MPa的压缩空气、0.3～0.5MPa的冲洗气体（氮气或氩气），室内无其它易燃易爆腐蚀性气体。
4、主要技术参数要求：
4.1薄膜沉积腔：采用管式结构，石英材质，管外径 * ±0.2mm，管长 * ～ * mm，薄膜沉积区域长度不低于 * mm。管内配不锈钢材质的基片台，基片台有效尺寸不小于Φ * × * 。配开启式管式加热炉1台，调温范围不小于 * ℃～ * ℃，加热区宽度≥ * mm，控温精度优于±2℃。进样端口采用宽口快开式不锈钢法兰，便于取放样。
4.2真空系统：配机械式直联真空泵1台，抽气速率≥3L/sec，极限压力≤0.5Pa。配数字真空计，测量范围不低于 * Pa，在1～ * Pa范围内的读数准确度优于读数数值± * %。配气动充气阀，用于将真空腔快速充空气至大气压。配气动挡板阀，用于真空阀门的开关与系统抽气。
4.3气路系统：主体管路采用 * L不锈钢， (略) 理，接口采用VCR卡套密封结构。配气体质量流量控制器1台，量程 * sccm，控制精度优于±3%。核心气路配高速Swagelok ALD专用气动阀门，最短吸合时间≤ * ms，适用于 * ℃高温环境。辅助气路配ALD专用气动阀门，最短吸合时间≤ * ms，适用于 * ℃高温环境。其它气路配Swagelok ALD专用手动阀门，适用于 * ℃高温环境。配测温热电偶与加热带， (略) 分连接管路的辅助保温。
4.4物料系统：配单体瓶不少于3个，单体瓶容积 * ± * mL， * L不锈钢材质，接口采用VCR金属密封结构，配有载气携带通道。配电热鼓风干燥箱1台，用于单体瓶与主体进气气路的加热与保温，加热温度范围为室温至 * ℃，控温精度优于±2℃。
4.5等离子体放电系统：配等离子体专用电源1台，输出电压范围不低于 * V～ * kV，中心频率 * ±2kHz,频率可调范围 * ％，功率不低于 * W。放电电极采用ICP结构，配4匝Φ * 线圈1套。石英管内的放电区域，长度不低于 * mm。
4.6控制系统：采用PLC触摸屏控制，预装自动工艺控制软件，具备工艺参数实时监控显示功能，有系统互锁和设备急停功能。
5、整套设备的主要组件：管式加热炉沉积腔系统1套，鼓风干燥箱1台，真空 (略) 件1套，气路及物料系统1套，等离子体放电系统1套，PLC触摸屏自动控制系统1套。
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

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技术规格及参数

1、用途：采用等离子体辅助技术，用原子层沉积的方法制备薄膜。
2、电力供应：市电 * V，设备总功率不高于 * kW。
3、工作环境：设备置于室内，气温 * ～ * ℃、相对湿度0～ * %，已有0.3～0.5MPa的压缩空气、0.3～0.5MPa的冲洗气体（氮气或氩气），室内无其它易燃易爆腐蚀性气体。
4、主要技术参数要求：
4.1薄膜沉积腔：采用管式结构，石英材质，管外径 * ±0.2mm，管长 * ～ * mm，薄膜沉积区域长度不低于 * mm。管内配不锈钢材质的基片台，基片台有效尺寸不小于Φ * × * 。配开启式管式加热炉1台，调温范围不小于 * ℃～ * ℃，加热区宽度≥ * mm，控温精度优于±2℃。进样端口采用宽口快开式不锈钢法兰，便于取放样。
4.2真空系统：配机械式直联真空泵1台，抽气速率≥3L/sec，极限压力≤0.5Pa。配数字真空计，测量范围不低于 * Pa，在1～ * Pa范围内的读数准确度优于读数数值± * %。配气动充气阀，用于将真空腔快速充空气至大气压。配气动挡板阀，用于真空阀门的开关与系统抽气。
4.3气路系统：主体管路采用 * L不锈钢， (略) 理，接口采用VCR卡套密封结构。配气体质量流量控制器1台，量程 * sccm，控制精度优于±3%。核心气路配高速Swagelok ALD专用气动阀门，最短吸合时间≤ * ms，适用于 * ℃高温环境。辅助气路配ALD专用气动阀门，最短吸合时间≤ * ms，适用于 * ℃高温环境。其它气路配Swagelok ALD专用手动阀门，适用于 * ℃高温环境。配测温热电偶与加热带， (略) 分连接管路的辅助保温。
4.4物料系统：配单体瓶不少于3个，单体瓶容积 * ± * mL， * L不锈钢材质，接口采用VCR金属密封结构，配有载气携带通道。配电热鼓风干燥箱1台，用于单体瓶与主体进气气路的加热与保温，加热温度范围为室温至 * ℃，控温精度优于±2℃。
4.5等离子体放电系统：配等离子体专用电源1台，输出电压范围不低于 * V～ * kV，中心频率 * ±2kHz,频率可调范围 * ％，功率不低于 * W。放电电极采用ICP结构，配4匝Φ * 线圈1套。石英管内的放电区域，长度不低于 * mm。
4.6控制系统：采用PLC触摸屏控制，预装自动工艺控制软件，具备工艺参数实时监控显示功能，有系统互锁和设备急停功能。
5、整套设备的主要组件：管式加热炉沉积腔系统1套，鼓风干燥箱1台，真空 (略) 件1套，气路及物料系统1套，等离子体放电系统1套，PLC触摸屏自动控制系统1套。
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。