品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、铝型材机架+防指纹拉丝不锈钢面板，触摸屏人机操作；
2、样品台尺寸：最大可放置4英寸样品，兼容4inch及以下样品尺寸；
3、样品加热温度： * ℃，控制精度±0.5℃；样品台表面设置有阳极氧化铝片托，方便清洗和维护保养；
4、本底真空：配置高性能双极旋片真空泵，抽速不小于 * m3/h，满足对本底真空和原子层沉积工艺的要求；
5、真空计：薄膜真空计，检测范围 * -5至 * Torr和1Torr；
6、反应腔室：沉积腔室下腔室为 * 不 (略) 理，上腔盖为 * 铝材阳极氧化。腔室内有可拆卸阳极氧化铝内衬，方便清洗；
7、独立前驱体源：配置2路加热金属前驱体源和1路水前驱体源，金属前驱体源和水前驱体源采用两个独立的进气口输运到真空反应腔室，每个进气口配置独立的吹扫流量计和管道；在未进入反应腔室前不能混合，避免前驱体源在输运管道到发生交叉污染；
8、每路加热前驱体源系统的最大加热温度可达到 * ℃，温度控制精度±0.5℃。配Swagelok高温ALD专用阀门，高温手动隔膜阀， * mL不锈钢源瓶；
9、 (略) 理装置：外热式不锈钢真空 (略) 理器，最高加热温度 * ℃，控制精度±1.0℃；
* 、吹扫流量计：2路模拟量质量流量计，控制精度为满量程的1%；
* 、电源： * - * Hz，功率5KW， * V交流电源；
* 、控制方式：PLC+工控机+悬停触摸屏操作；
* 、沉积非均匀性：4英寸内沉积 * cycle氧化铝非均匀性 * 、维修工具1套、说明书及其它技术资料；
* 、配套工艺：提供沉积氧化铝、氧化铪、氧化钛、氧化锌、氧化锆等材料的标准沉积工艺。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后， * 分钟内响应，指导客户维护，如确需上门服务， * 小时内 (略) 维护，并在3天内提供解决方案，如在规定时间内不能解决设备故障，应推荐相同档次、 (略) 人代用。

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1、铝型材机架+防指纹拉丝不锈钢面板，触摸屏人机操作；
2、样品台尺寸：最大可放置4英寸样品，兼容4inch及以下样品尺寸；
3、样品加热温度： * ℃，控制精度±0.5℃；样品台表面设置有阳极氧化铝片托，方便清洗和维护保养；
4、本底真空：配置高性能双极旋片真空泵，抽速不小于 * m3/h，满足对本底真空和原子层沉积工艺的要求；
5、真空计：薄膜真空计，检测范围 * -5至 * Torr和1Torr；
6、反应腔室：沉积腔室下腔室为 * 不 (略) 理，上腔盖为 * 铝材阳极氧化。腔室内有可拆卸阳极氧化铝内衬，方便清洗；
7、独立前驱体源：配置2路加热金属前驱体源和1路水前驱体源，金属前驱体源和水前驱体源采用两个独立的进气口输运到真空反应腔室，每个进气口配置独立的吹扫流量计和管道；在未进入反应腔室前不能混合，避免前驱体源在输运管道到发生交叉污染；
8、每路加热前驱体源系统的最大加热温度可达到 * ℃，温度控制精度±0.5℃。配Swagelok高温ALD专用阀门，高温手动隔膜阀， * mL不锈钢源瓶；
9、 (略) 理装置：外热式不锈钢真空 (略) 理器，最高加热温度 * ℃，控制精度±1.0℃；
* 、吹扫流量计：2路模拟量质量流量计，控制精度为满量程的1%；
* 、电源： * - * Hz，功率5KW， * V交流电源；
* 、控制方式：PLC+工控机+悬停触摸屏操作；
* 、沉积非均匀性：4英寸内沉积 * cycle氧化铝非均匀性 * 、维修工具1套、说明书及其它技术资料；
* 、配套工艺：提供沉积氧化铝、氧化铪、氧化钛、氧化锌、氧化锆等材料的标准沉积工艺。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后， * 分钟内响应，指导客户维护，如确需上门服务， * 小时内 (略) 维护，并在3天内提供解决方案，如在规定时间内不能解决设备故障，应推荐相同档次、 (略) 人代用。