光谱椭偏仪（GY202108073）延期公告
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光谱椭偏仪（GY202108073）延期公告
| 项目名称 | 光谱椭偏仪 | 项目编号 | GY 点击查看>> |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 点击查看>> | 公告截止日期 | 点击查看>> |
| 采购单位 | (略) | 付款方式 | * %信用证，其中 * %验收合格后支付 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签订合同后4个月 |
| 预 算 | * 0.0 | ||
| 收货地址 | (略) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光谱椭偏仪 | 1 | 台 | 光学仪器 |
| 品牌 | Sentech |
|---|---|
| 型号 | SER * |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | * 0.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.1光谱范围： * nm - * nm，主要覆盖紫外和可见光段，全光谱范围内自动测量；1.2 使用功能强大的光谱椭偏测量与分析软件SpectraRay/4；1.3 光源：氘灯-卤素钨灯组合灯泡；1.4 测量光斑：直径1.5 mm ~ 3 mm，可调节；1.5 入射角范围： * ° - * °，步进值5°，精度优于0. * °；1.6 测量范围：Ψ：0- * °， Δ：0- * °；1.7 椭偏测量准确度：Ψ≤ 0. * °，Δ≤ 0. * °；1.8 测量时间: ＜ * s；1.9 样品尺寸：可测量最大6英寸直径样片，样品最大厚度8 mm；1. * 膜测量范围0.1 nm - * μm；膜厚测量精度指标：≤ 0. * nm ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）；1. * 折射率测量范围 1 - 6；折射率n测量精度指标：≤ 0. * ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）；1. * 验收指标：（1）膜厚测量准确度：测量 * SiO2/Si 标准片， 测量值均在标准片的膜厚不确定度范围以内：≤ ±0.5 nm；（2）膜厚测量精度： * 次测量的1 Sigma 标准偏差， * SiO2/Si 标准片， 拟合膜厚：≤ 0. * nm；（3）折射率测量准确度：测量 * SiO2/Si 标准片，测量值均在标准片的折射率不确定度范围以内：≤ ±0. * @ * .8 nm；（4）折射率测量精度： * 次测量的1 Sigma 标准偏差值， * SiO2/Si 标准片，同时拟合折射率和膜厚：≤ 0. * ；（5）消光系数k测量精度： * 次测量的1 Sigma标准偏差值， * nm SiO2/Si标准片，同时拟合消光系数、折射率和膜厚：≤ 0. * 起偏器和分析器（检偏器）的消光率优于5E-6；1. * 探测器：高灵敏度硅CCD阵列探测器，像素分辨率≤ 0. * nm；同时测量全光谱范围内的光强；光谱分辨率5 nm FWHM；1. * 使用步进扫描分析器（SSA）测量模式；1. * 具备计算机控制分析器和起偏器（起偏器跟踪技术）、高稳定度补偿器模块；补偿器：全光谱范围内采用宽带补偿器，消除测量死区；1. * 样品台：样品水平放置、可真空吸附，样品台直径 * mm；样品的高度和倾斜度（俯仰）可调节；1. * 大多数样品可分析膜层层数大于5层；1. * 最新配置台式计算机，显示器，键盘，鼠标，软件包含以下功能：交互式和recipe式操作模式、自动系统校准、测量Ψ和Δ、谱显示、转换和模拟数据、多种测量可选定样品的模型、拟合多个样品分别测量的结果。1. * 标准晶圆片：厚度 * nm，在6吋硅晶圆上镀稳定的SiO2膜。包括标准片和测试报告、包括膜厚值、折射率值。 |
| 售后服务 | 质保期限:1年; |
| 项目名称 | 光谱椭偏仪 | 项目编号 | GY 点击查看>> |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 点击查看>> | 公告截止日期 | 点击查看>> |
| 采购单位 | (略) | 付款方式 | * %信用证，其中 * %验收合格后支付 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签订合同后4个月 |
| 预 算 | * 0.0 | ||
| 收货地址 | (略) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光谱椭偏仪 | 1 | 台 | 光学仪器 |
| 品牌 | Sentech |
|---|---|
| 型号 | SER * |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | * 0.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.1光谱范围： * nm - * nm，主要覆盖紫外和可见光段，全光谱范围内自动测量；1.2 使用功能强大的光谱椭偏测量与分析软件SpectraRay/4；1.3 光源：氘灯-卤素钨灯组合灯泡；1.4 测量光斑：直径1.5 mm ~ 3 mm，可调节；1.5 入射角范围： * ° - * °，步进值5°，精度优于0. * °；1.6 测量范围：Ψ：0- * °， Δ：0- * °；1.7 椭偏测量准确度：Ψ≤ 0. * °，Δ≤ 0. * °；1.8 测量时间: ＜ * s；1.9 样品尺寸：可测量最大6英寸直径样片，样品最大厚度8 mm；1. * 膜测量范围0.1 nm - * μm；膜厚测量精度指标：≤ 0. * nm ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）；1. * 折射率测量范围 1 - 6；折射率n测量精度指标：≤ 0. * ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）；1. * 验收指标：（1）膜厚测量准确度：测量 * SiO2/Si 标准片， 测量值均在标准片的膜厚不确定度范围以内：≤ ±0.5 nm；（2）膜厚测量精度： * 次测量的1 Sigma 标准偏差， * SiO2/Si 标准片， 拟合膜厚：≤ 0. * nm；（3）折射率测量准确度：测量 * SiO2/Si 标准片，测量值均在标准片的折射率不确定度范围以内：≤ ±0. * @ * .8 nm；（4）折射率测量精度： * 次测量的1 Sigma 标准偏差值， * SiO2/Si 标准片，同时拟合折射率和膜厚：≤ 0. * ；（5）消光系数k测量精度： * 次测量的1 Sigma标准偏差值， * nm SiO2/Si标准片，同时拟合消光系数、折射率和膜厚：≤ 0. * 起偏器和分析器（检偏器）的消光率优于5E-6；1. * 探测器：高灵敏度硅CCD阵列探测器，像素分辨率≤ 0. * nm；同时测量全光谱范围内的光强；光谱分辨率5 nm FWHM；1. * 使用步进扫描分析器（SSA）测量模式；1. * 具备计算机控制分析器和起偏器（起偏器跟踪技术）、高稳定度补偿器模块；补偿器：全光谱范围内采用宽带补偿器，消除测量死区；1. * 样品台：样品水平放置、可真空吸附，样品台直径 * mm；样品的高度和倾斜度（俯仰）可调节；1. * 大多数样品可分析膜层层数大于5层；1. * 最新配置台式计算机，显示器，键盘，鼠标，软件包含以下功能：交互式和recipe式操作模式、自动系统校准、测量Ψ和Δ、谱显示、转换和模拟数据、多种测量可选定样品的模型、拟合多个样品分别测量的结果。1. * 标准晶圆片：厚度 * nm，在6吋硅晶圆上镀稳定的SiO2膜。包括标准片和测试报告、包括膜厚值、折射率值。 |
| 售后服务 | 质保期限:1年; |
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