微纳电子器件原子层薄膜沉积系统（AHU-XNJJ20210556）废标公告

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微纳电子器件原子层薄膜沉积系统（AHU-XNJJ20210556）废标公告


项目名称微纳电子器件原子层薄膜沉积系统项目编号AHU-XNJJ 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> 公告截止日期 点击查看>>
采购单位 (略) 付款方式货到验收付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求无
预 算 点击查看>> .0
收货地址 (略) 省 (略) 市 (略) 区 * 龙路1 (略) 协同创新D楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积系统1套无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算 点击查看>> .0
技术参数及配置要求 * 、技术参数：1 原子层沉积系统设备 1 套2 设备主机规格2.1 机柜主体采用铝型材可移动框架，门板采用不锈钢拉丝，面板为不锈钢镜面2.2 主控系统为 PLC，采用 PID 温度控制方式2.3 设备本底真空为 0. * Pa2.4 设备漏率≤ 5× * - * Pa·m3/s3 反应腔3.1 反应腔：反应腔体材质为 * L，漏率≤ 5× * - * Pa·m3/s，腔体表面镜面抛光后电解。3.2 样品台尺寸 φ * mm ， 标准 4 英寸腔体。3.3 开启方式：通过界面操作自动充气，配备压差计以及开腔指示灯。3.4 样品台加热温度最高可达 * oC，采用程序 PID 控制方式，温度控制精度为±1 oC。4 前驱体源输送系统4.1 配备 3 路金属前驱体源输送管路， 常温源 1 路，加热源 2 路， 预留 1 路， 配载气管路和质量流量控制器；4.2 前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度可达 * ℃ 。配置温度传感器，温度控制精度满足±1℃ ；4.3 ALD 专用阀门（品牌 Swagelok） 为自带吹扫功能的 * 孔阀，响应时间小于 5 ms，采 (略) 器，耐温高达 * oC，阀体材料为 (略) 合的 * L VIM-VAR 不锈钢，隔膜材料为高强度和耐腐蚀的钴基超级合金。 阀体内置直径为 1/8” 加热器，外包定制柔性保温套， 最高加热温度可达 * ℃ ，温度控制精度满足±1℃4.4 每路常温源输送管路， 配备 1 个 ALD 专用阀门（品牌 Swagelok） 和 1 套常温源容器， 每套常温源容器包括 1 个 Swagelok@ DOT 钢瓶和 1 个隔膜手动阀（品牌 Swagelok）。钢瓶的容积为 * mL ，接口规格为高流量 H型 1/4” FVCR，手动阀耐温为 * oC。4.5 每路加热源输送管路， 配备 1 个 ALD 专用阀门（品牌 Swagelok）、 1 套加热源容器以及加热保温系统， 加热源容器包括 1 个 Swagelok@ DOT 钢瓶和 1 个耐高温手动阀（品牌 Swagelok），钢瓶的容积为 * mL ，接口规格为高流量 H 型 1/4” FVCR，手动阀耐温为 * oC。 加热源容器定制柔性加热保温套，最高加热温度可达 * ℃ ，温度控制精度满足±1℃ 。4.6 管路及接头均采用 * EP 级电解抛光不锈钢材料，所有气 (略) 采用金属 VCR 密封；载气管路采。用 N2 或者 Ar 气体，通过质量流量控制器控制(品牌为 Horiba，量程为 * sccm)；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数；5 真空系统：5.1 真空泵采用双级油封式真空泵(品牌为 ULVAC)，抽速不低于 * m3/h，本底真空 5* * -3Torr5.2 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围： * * * -4 Torr。5.3 真空抽气管道可以烘烤至 * ℃ ，且真空泵前级配置热阱，加热温度 * ℃ ，控制精度±1℃ ；6 控制系统6.1 控制 (略) 络通信 PLC 控制方式，控制元器件之间有足够的散热空间。设备的电气控制系统安全可靠，维护方便；6.2 界面操作界面支持历史数据、报警日志以及配方的导入导出功能；6.3 界面操作系统实时展示系统加热状态，可根据工艺要求在配方结束后以及清洗后自动关闭加热系统6.4 界面操作系统实时展示阀门开关状态、腔室压力状态、配方进展、薄膜沉积剩余时间6.5 操作界面可编辑配方，可对工艺参数沉积温度、阀门编号、前驱体源脉冲时间、清洗时间、 (略) 编辑、保存以及导入配方6.6 操作界面含独立的高级设置界面，可对 (略) PID 调试、编辑前驱体源标签、查看前驱体源使用循环次数6.7 操作界面支持多个配方交替沉积，实现单 * 和多层薄膜材料的制备6.8 (略) 有 ALD 阀门具备自动排空功能，所有管路具备自动清洗功能，可设置清洗次数，确保 ALD阀门以及腔体管路中没有前驱体源的残留6.9 系统中 ALD 阀门以及真空阀配备电磁阀，电磁阀响应时间<3 ms， 带过电压保护回路，带动作指示灯。7.提供备用配件 * 套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各 1套。 * 、报价要求供应商报价时从推荐3个品牌 (略) 大华； (略) 超凡以及 (略) 迈纳德中 (略) 报价，报 (略) 品 (略) 报品牌，不注明或者注明其他品牌的为无效报价。 * 、质保要求：1、原厂质保 * 年，软件终身免费升级。须 (略) 报品牌针对本 (略) 家提供的售后服务承诺书。2、成 (略) 上竞价确认后1个工 (略) 报品牌针对本 (略) 家提供的售后服务承诺书原件，如成交供应商没 (略) 报品牌针对本 (略) 家提供的售后服务承诺书原件则取消其成交资格，由排序第 * 的有效供应商顺延。 * 、供货时间：本项目须在 * 日前完成送货安装调试工作。 * 、付款方式：项目完成验收合格付款。 * 、质疑与答复：供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《 (略) 非政府采购项目质疑和 (略) 办法》有关规定和质疑函格式要求（ (略) (略) 查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱： * q.com 。 (略) 国有资产与 (略) （ (略) ）联系电话： 点击查看>> ，联系人：袁老师。逾期不予受理。 * 、特别提醒：1.供应商须符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件，如 (略) 授权并将授权 (略) ，否则报价无效。2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同 * 人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同 * 项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同 * 竞价项目，学校将有权视情节轻 (略) 罚之日起1- (略) 各类非政府采购活动并 (略) 供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。3.供应商如 (略) 为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻 (略) 罚之日起 1-3 (略) 各类非政府采购项目资格并 (略) 供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。（1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的；（2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的；（3）不按竞价要求或合同约定履约的；（4）其他违反法律法规和采购规定的。
售后服务公司中标后送货上门，负责安装调试；本台设备要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之 * ：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、 (略) 、售后服务机构等），具有 (略) 所及人员；3）承诺中标即设立本地化服务机构。备注：“本地”系指： (略) 市;

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项目名称微纳电子器件原子层薄膜沉积系统项目编号AHU-XNJJ 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> 公告截止日期 点击查看>>
采购单位 (略) 付款方式货到验收付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求无
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收货地址 (略) 省 (略) 市 (略) 区 * 龙路1 (略) 协同创新D楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积系统1套无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
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技术参数及配置要求 * 、技术参数：1 原子层沉积系统设备 1 套2 设备主机规格2.1 机柜主体采用铝型材可移动框架，门板采用不锈钢拉丝，面板为不锈钢镜面2.2 主控系统为 PLC，采用 PID 温度控制方式2.3 设备本底真空为 0. * Pa2.4 设备漏率≤ 5× * - * Pa·m3/s3 反应腔3.1 反应腔：反应腔体材质为 * L，漏率≤ 5× * - * Pa·m3/s，腔体表面镜面抛光后电解。3.2 样品台尺寸 φ * mm ， 标准 4 英寸腔体。3.3 开启方式：通过界面操作自动充气，配备压差计以及开腔指示灯。3.4 样品台加热温度最高可达 * oC，采用程序 PID 控制方式，温度控制精度为±1 oC。4 前驱体源输送系统4.1 配备 3 路金属前驱体源输送管路， 常温源 1 路，加热源 2 路， 预留 1 路， 配载气管路和质量流量控制器；4.2 前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度可达 * ℃ 。配置温度传感器，温度控制精度满足±1℃ ；4.3 ALD 专用阀门（品牌 Swagelok） 为自带吹扫功能的 * 孔阀，响应时间小于 5 ms，采 (略) 器，耐温高达 * oC，阀体材料为 (略) 合的 * L VIM-VAR 不锈钢，隔膜材料为高强度和耐腐蚀的钴基超级合金。 阀体内置直径为 1/8” 加热器，外包定制柔性保温套， 最高加热温度可达 * ℃ ，温度控制精度满足±1℃4.4 每路常温源输送管路， 配备 1 个 ALD 专用阀门（品牌 Swagelok） 和 1 套常温源容器， 每套常温源容器包括 1 个 Swagelok@ DOT 钢瓶和 1 个隔膜手动阀（品牌 Swagelok）。钢瓶的容积为 * mL ，接口规格为高流量 H型 1/4” FVCR，手动阀耐温为 * oC。4.5 每路加热源输送管路， 配备 1 个 ALD 专用阀门（品牌 Swagelok）、 1 套加热源容器以及加热保温系统， 加热源容器包括 1 个 Swagelok@ DOT 钢瓶和 1 个耐高温手动阀（品牌 Swagelok），钢瓶的容积为 * mL ，接口规格为高流量 H 型 1/4” FVCR，手动阀耐温为 * oC。 加热源容器定制柔性加热保温套，最高加热温度可达 * ℃ ，温度控制精度满足±1℃ 。4.6 管路及接头均采用 * EP 级电解抛光不锈钢材料，所有气 (略) 采用金属 VCR 密封；载气管路采。用 N2 或者 Ar 气体，通过质量流量控制器控制(品牌为 Horiba，量程为 * sccm)；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数；5 真空系统：5.1 真空泵采用双级油封式真空泵(品牌为 ULVAC)，抽速不低于 * m3/h，本底真空 5* * -3Torr5.2 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围： * * * -4 Torr。5.3 真空抽气管道可以烘烤至 * ℃ ，且真空泵前级配置热阱，加热温度 * ℃ ，控制精度±1℃ ；6 控制系统6.1 控制 (略) 络通信 PLC 控制方式，控制元器件之间有足够的散热空间。设备的电气控制系统安全可靠，维护方便；6.2 界面操作界面支持历史数据、报警日志以及配方的导入导出功能；6.3 界面操作系统实时展示系统加热状态，可根据工艺要求在配方结束后以及清洗后自动关闭加热系统6.4 界面操作系统实时展示阀门开关状态、腔室压力状态、配方进展、薄膜沉积剩余时间6.5 操作界面可编辑配方，可对工艺参数沉积温度、阀门编号、前驱体源脉冲时间、清洗时间、 (略) 编辑、保存以及导入配方6.6 操作界面含独立的高级设置界面，可对 (略) PID 调试、编辑前驱体源标签、查看前驱体源使用循环次数6.7 操作界面支持多个配方交替沉积，实现单 * 和多层薄膜材料的制备6.8 (略) 有 ALD 阀门具备自动排空功能，所有管路具备自动清洗功能，可设置清洗次数，确保 ALD阀门以及腔体管路中没有前驱体源的残留6.9 系统中 ALD 阀门以及真空阀配备电磁阀，电磁阀响应时间<3 ms， 带过电压保护回路，带动作指示灯。7.提供备用配件 * 套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各 1套。 * 、报价要求供应商报价时从推荐3个品牌 (略) 大华； (略) 超凡以及 (略) 迈纳德中 (略) 报价，报 (略) 品 (略) 报品牌，不注明或者注明其他品牌的为无效报价。 * 、质保要求：1、原厂质保 * 年，软件终身免费升级。须 (略) 报品牌针对本 (略) 家提供的售后服务承诺书。2、成 (略) 上竞价确认后1个工 (略) 报品牌针对本 (略) 家提供的售后服务承诺书原件，如成交供应商没 (略) 报品牌针对本 (略) 家提供的售后服务承诺书原件则取消其成交资格，由排序第 * 的有效供应商顺延。 * 、供货时间：本项目须在 * 日前完成送货安装调试工作。 * 、付款方式：项目完成验收合格付款。 * 、质疑与答复：供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《 (略) 非政府采购项目质疑和 (略) 办法》有关规定和质疑函格式要求（ (略) (略) 查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱： * q.com 。 (略) 国有资产与 (略) （ (略) ）联系电话： 点击查看>> ，联系人：袁老师。逾期不予受理。 * 、特别提醒：1.供应商须符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件，如 (略) 授权并将授权 (略) ，否则报价无效。2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同 * 人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同 * 项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同 * 竞价项目，学校将有权视情节轻 (略) 罚之日起1- (略) 各类非政府采购活动并 (略) 供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。3.供应商如 (略) 为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻 (略) 罚之日起 1-3 (略) 各类非政府采购项目资格并 (略) 供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。（1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的；（2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的；（3）不按竞价要求或合同约定履约的；（4）其他违反法律法规和采购规定的。
售后服务公司中标后送货上门，负责安装调试；本台设备要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之 * ：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、 (略) 、售后服务机构等），具有 (略) 所及人员；3）承诺中标即设立本地化服务机构。备注：“本地”系指： (略) 市;

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