化学机械抛光测试晶圆（耗材）（清设比选20220135号）延期公告

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化学机械抛光测试晶圆（耗材）（清设比选20220135号）延期公告


采购项目名称化学机械抛光测试晶圆 （耗材）采购项目编号清设比选 点击查看>> 号
公告开始时间 点击查看>> 05:01:00公告截止时间 点击查看>> 05:01:00
采购单位 (略) 付款方式货到付款 * %
对外联系人本 (略) 联系电话本 (略)
签约时间要求成交后5个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)交货时间要求签订合同后3个工作日
最高限价未公布
交货地址 (略)
供应商特殊资质要求

无

采购清单1
物资名称采购数量计量单位
化学机械抛光测试晶圆 （耗材）50件
品牌品牌1SKW
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价￥
技术参数及配置要求 * mm Si 12寸硅基底/ 1kA PETEOS 等离子体增强正硅酸 * 酯化学气相沉积氧化硅/ 1kA PESiN 等离子体增强化学气相沉积的氮化硅/ 2kA PETEOS 等离子体增强正硅酸 * 酯化学气相沉积氧化硅/ photoresist coating and patterning with MIT * mask 通过MIT * 掩模版旋涂光刻胶/ etch down to the top surface of PESiN film layer (略) (略) 氮化硅/ * A PVD Ti 物理气相沉积钛/ * A PVD TiN 物理气相沉积氮化钛/~ 20A PVD TaN 物理气相沉积氮化钽/ ~80A PVD Co 物理气相沉积钴/ 5kA ECP Co film layer 电镀钴； * mm Si 12寸硅基底/ 1kA thermal oxide 热氧化硅/ ~20A PVD TaN 物理气相沉积氮化钽/ ~80A PVD Co 物理气相沉积钴/ 5kA ECP Co film layer 电镀钴膜。
质保期12个月

(略)

点击查看>> 05:01:00


采购项目名称化学机械抛光测试晶圆 （耗材）采购项目编号清设比选 点击查看>> 号
公告开始时间 点击查看>> 05:01:00公告截止时间 点击查看>> 05:01:00
采购单位 (略) 付款方式货到付款 * %
对外联系人本 (略) 联系电话本 (略)
签约时间要求成交后5个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)交货时间要求签订合同后3个工作日
最高限价未公布
交货地址 (略)
供应商特殊资质要求

无

采购清单1
物资名称采购数量计量单位
化学机械抛光测试晶圆 （耗材）50件
品牌品牌1SKW
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价￥
技术参数及配置要求 * mm Si 12寸硅基底/ 1kA PETEOS 等离子体增强正硅酸 * 酯化学气相沉积氧化硅/ 1kA PESiN 等离子体增强化学气相沉积的氮化硅/ 2kA PETEOS 等离子体增强正硅酸 * 酯化学气相沉积氧化硅/ photoresist coating and patterning with MIT * mask 通过MIT * 掩模版旋涂光刻胶/ etch down to the top surface of PESiN film layer (略) (略) 氮化硅/ * A PVD Ti 物理气相沉积钛/ * A PVD TiN 物理气相沉积氮化钛/~ 20A PVD TaN 物理气相沉积氮化钽/ ~80A PVD Co 物理气相沉积钴/ 5kA ECP Co film layer 电镀钴； * mm Si 12寸硅基底/ 1kA thermal oxide 热氧化硅/ ~20A PVD TaN 物理气相沉积氮化钽/ ~80A PVD Co 物理气相沉积钴/ 5kA ECP Co film layer 电镀钴膜。
质保期12个月

(略)

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