超声波扫描显微镜国际招标澄清或变更公告(1)-0679-2240CAGFN025
超声波扫描显微镜国际招标澄清或变更公告(1)-0679-2240CAGFN025
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 超声波扫描显微镜 | 1套 | 5.3主要技术要求5.3.1机械结构*5.3.1.1 XY轴重复定位精度±0.1um5.3.1.2 扫描范围X-Y方向最大≥ * × * mm*5.3.1.3 X轴平均可用扫描速度 * mm/s,最大扫描速度 * mm/s。X,Y两轴均为线性马达5.3.1.4 (略) 程≥ * mm5.3.1.7 Z轴自动对焦功能,包含表面自动对 (略) 自动对焦,提供自动对焦功能的软件设置菜单5.3.1.8 探头具备防撞功能…… |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 超声波扫描显微镜 | 1套 | 5.3主要技术要求5.3.1机械结构*5.3.1.1 XY轴重复定位精度±0.1um5.3.1.2 扫描范围X-Y方向最大≥ * × * mm*5.3.1.3 X轴平均可用扫描速度 * mm/s,最大扫描速度 * mm/s。X,Y两轴均为线性马达5.3.1.4 (略) 程≥ * mm5.3.1.7 Z轴自动对焦功能,包含表面自动对 (略) 自动对焦,提供自动对焦功能的软件设置菜单5.3.1.8 探头具备防撞功能…… |
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