气体在线分析仪招标变更

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气体在线分析仪招标变更



中国 (略) 澄清公告2


澄清公告内容如下：
中国 (略) 关于中硅高科电子信息转型升级项目气体分析仪设备供货及相关服务（ (略) ：987-4. 点击查看>> )的招标文件澄清内容。
关于中硅高科技电子信息材料转型升级项目工艺专业提的气体在线分析仪MR文件有如下修改：
1.987-404-E381-19气体在线分析仪MR文件

序号
原条款内容描述
修改为

1
4.2.2工艺技术要求
1、9N氢气（高纯氢气系统）在线检测
（1）在线水分仪
3）检测限：250ppt LDL(H2O)。
9N氢气水分仪
3）检测限：400ppt LDL(H2O)。

2
4.2.2工艺技术要求
1、9N氮气在线检测
（1）在线水分仪
3）检测限：250ppt LDL(H2O)。
9N氮气水分仪
3）检测限：400ppt LDL(H2O)。

3
4.2.2工艺技术要求
1、8N氩气在线检测
（1）在线水分仪
3）检测限：250ppt LDL(H2O)。
8N氩气水分仪
3）检测限：400ppt LDL(H2O)。

3
防爆分析柜：要求仪器校准不开机柜门。
集成式防爆分析柜，要求其中一台仪器校准时，不影响分析柜内其他仪器的正常运行。（可考虑分格式防爆柜布置）

4
在线取样面板， (略) 用点使用。

5
在线取样面板的自动控制，H2面板采用自动控制；N2，AR面板可采用自动控制或手动控制。

6
分析柜周边有工艺尾气管道，分析仪VENT管道可排入尾气管道，尾气管道内可能会存在氯硅烷介质，需要 点击查看>> 方考虑如何接入；N2，AR也可以直排，H2不能直排。

7
点击查看>> 方负责范围包括气体取样预留点、尾气管道的组装。

中国 (略)
2022年3月28日



中国 (略) 澄清公告2


澄清公告内容如下：
中国 (略) 关于中硅高科电子信息转型升级项目气体分析仪设备供货及相关服务（ (略) ：987-4. 点击查看>> )的招标文件澄清内容。
关于中硅高科技电子信息材料转型升级项目工艺专业提的气体在线分析仪MR文件有如下修改：
1.987-404-E381-19气体在线分析仪MR文件

序号
原条款内容描述
修改为

1
4.2.2工艺技术要求
1、9N氢气（高纯氢气系统）在线检测
（1）在线水分仪
3）检测限：250ppt LDL(H2O)。
9N氢气水分仪
3）检测限：400ppt LDL(H2O)。

2
4.2.2工艺技术要求
1、9N氮气在线检测
（1）在线水分仪
3）检测限：250ppt LDL(H2O)。
9N氮气水分仪
3）检测限：400ppt LDL(H2O)。

3
4.2.2工艺技术要求
1、8N氩气在线检测
（1）在线水分仪
3）检测限：250ppt LDL(H2O)。
8N氩气水分仪
3）检测限：400ppt LDL(H2O)。

3
防爆分析柜：要求仪器校准不开机柜门。
集成式防爆分析柜，要求其中一台仪器校准时，不影响分析柜内其他仪器的正常运行。（可考虑分格式防爆柜布置）

4
在线取样面板， (略) 用点使用。

5
在线取样面板的自动控制，H2面板采用自动控制；N2，AR面板可采用自动控制或手动控制。

6
分析柜周边有工艺尾气管道，分析仪VENT管道可排入尾气管道，尾气管道内可能会存在氯硅烷介质，需要 点击查看>> 方考虑如何接入；N2，AR也可以直排，H2不能直排。

7
点击查看>> 方负责范围包括气体取样预留点、尾气管道的组装。

中国 (略)
2022年3月28日

    
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