CMP供液装置国际招标澄清或变更公告(2)-0613-224022120934
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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | Slurry 供液装置 | 2 | 详见第八章技术规格 | |
2 | CDS 供液装置 | 3 | 详见第八章技术规格 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | Slurry 供液装置 | 2 | 详见第八章技术规格 | |
2 | CDS 供液装置 | 3 | 详见第八章技术规格 |
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