基本功能、参数及使用要求*.分辨率（二次电子像）:≤*.0nm（*0kV），≤*nm(*kV)，越小越好。背散射电子像分辨率≤*.*nm(*0KV)。*.放大倍数:*~*0万倍连续可调，范围越大越好。*.加速电压:0.*KV~*0KV连续可调，范围越宽越好。*.电子枪:W(钨),预对中灯丝，束流*pA～*µA，范围越宽越好。*.图像：电位移：+/点击查看>>*0µm(WD:*0mm)......基本功能、参数及使用要求*.分辨率（二次电子像）:≤*.0nm（*0kV），≤*nm(*kV)，越小越好。背散射电子像分辨率≤*.*nm(*0KV)。*.放大倍数:*~*0万倍连续可调，范围越大越好。*.加速电压:0.*KV~*0KV连续可调，范围越宽越好。*.电子枪:W(钨),预对中灯丝，束流*pA～*µA，范围越宽越好。*.图像：电位移：+/点击查看>>*0µm(WD:*0mm)......0