步进式光刻机(stepper)国际招标澄清或变更公告(5)-0664-2240SUMECA26/08
步进式光刻机(stepper)国际招标澄清或变更公告(5)-0664-2240SUMECA26/08
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包1 | 高温真空烤炉 | 1 | 详见招标文件 | |
包2品目1 | 匀胶机 | 8 | 详见招标文件 | |
包2品目2 | 显影机 | 6 | 详见招标文件 | |
包3 | 曝光机 | 4 | 详见招标文件 | |
包4 | 电子束蒸镀系统 | 8 | 详见招标文件 | |
包5 | 等离子去胶机(Asher) | 2 | 详见招标文件 | |
包6 | 甩干机 | 11 | 详见招标文件 | |
包7 | 自动光学检测机(AOI) | 2 | 详见招标文件 | |
包8 | 步进式光刻机(stepper) | 1 | 详见招标文件 | |
包10 | 等离子真空镀膜系统 | 2 | 详见招标文件 | |
包11 | 快速退火炉 | 5 | 详见招标文件 | |
包12 | 光学薄膜镀膜机(DBR) | 2 | 详见招标文件 | |
包13 | 原子层沉积设备(ALD) | 2 | 详见招标文件 | |
包14品目1 | 上蜡机 | 2 | 详见招标文件 | |
包14品目2 | 研磨机 | 2 | 详见招标文件 | |
包14品目3 | 硬抛机 | 1 | 详见招标文件 | |
包14品目4 | 软抛机 | 1 | 详见招标文件 | |
包14品目5 | 厚度量测机 | 1 | 详见招标文件 | |
包15 | 全自动贴膜贴片机 | 2 | 详见招标文件 | |
包16品目1 | 隐切激光设备 | 5 | 详见招标文件 | |
包16品目2 | 隐切激光设备 | 4 | 详见招标文件 | |
包17 | 全自动裂片设备 | 18 | 详见招标文件 | |
包18 | 全自动扩张设备(铁环扩子母环) | 1 | 详见招标文件 | |
包19 | 全自动倒膜设备(划裂大圆片) | 1 | 详见招标文件 | |
包20 | 全自动扩张设备(蓝膜扩子母环) | 1 | 详见招标文件 | |
包22 | 全自动目检机COT AOI | 3 | 详见招标文件 | |
包23 | 全自动下膜贴膜标签一体机 | 3 | 详见招标文件 | |
包24 | 全自动晶粒计数器 | 1 | 详见招标文件 | |
包28 | 全自动 Mask 清洗机 | 1 | 详见招标文件 | |
包29 | 隐切激光设备 | 5 | 详见招标文件 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包1 | 高温真空烤炉 | 1 | 详见招标文件 | |
包2品目1 | 匀胶机 | 8 | 详见招标文件 | |
包2品目2 | 显影机 | 6 | 详见招标文件 | |
包3 | 曝光机 | 4 | 详见招标文件 | |
包4 | 电子束蒸镀系统 | 8 | 详见招标文件 | |
包5 | 等离子去胶机(Asher) | 2 | 详见招标文件 | |
包6 | 甩干机 | 11 | 详见招标文件 | |
包7 | 自动光学检测机(AOI) | 2 | 详见招标文件 | |
包8 | 步进式光刻机(stepper) | 1 | 详见招标文件 | |
包10 | 等离子真空镀膜系统 | 2 | 详见招标文件 | |
包11 | 快速退火炉 | 5 | 详见招标文件 | |
包12 | 光学薄膜镀膜机(DBR) | 2 | 详见招标文件 | |
包13 | 原子层沉积设备(ALD) | 2 | 详见招标文件 | |
包14品目1 | 上蜡机 | 2 | 详见招标文件 | |
包14品目2 | 研磨机 | 2 | 详见招标文件 | |
包14品目3 | 硬抛机 | 1 | 详见招标文件 | |
包14品目4 | 软抛机 | 1 | 详见招标文件 | |
包14品目5 | 厚度量测机 | 1 | 详见招标文件 | |
包15 | 全自动贴膜贴片机 | 2 | 详见招标文件 | |
包16品目1 | 隐切激光设备 | 5 | 详见招标文件 | |
包16品目2 | 隐切激光设备 | 4 | 详见招标文件 | |
包17 | 全自动裂片设备 | 18 | 详见招标文件 | |
包18 | 全自动扩张设备(铁环扩子母环) | 1 | 详见招标文件 | |
包19 | 全自动倒膜设备(划裂大圆片) | 1 | 详见招标文件 | |
包20 | 全自动扩张设备(蓝膜扩子母环) | 1 | 详见招标文件 | |
包22 | 全自动目检机COT AOI | 3 | 详见招标文件 | |
包23 | 全自动下膜贴膜标签一体机 | 3 | 详见招标文件 | |
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包29 | 隐切激光设备 | 5 | 详见招标文件 |
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