[B2022042601]物质转移平台网上废标公告
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终止信息
终止理由 | 报价供应商数量不符合要求 |
采购项目信息
项目名称 | 物质转移平台 | (略) | B 点击查看>> |
开始时间 | 2022-04-26 15:29:18 | 截止时间 | 2022-05-01 15:29:18 |
供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额(元) | 点击查看>> .0 |
采购货物信息列表
序号 | 货物(服务)名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
1 | 物质转移平台 | 1 | 台 | 点击查看>> .00 | |||
技术参数 | 1.载物台 1.1 载物台尺寸4"( 点击查看>> mm),材质为不锈钢,平整度<5μm; 2.载物台移动基座 2.1载物台X-Y轴的移动范围:2"*2"( 点击查看>> mm* 点击查看>> mm),精度:10μm; *2.2 采用X-Y轴同轴控制,够快速精准定位。配备X-Y轴阻尼调节装置,可调节X-Y移动的手感轻重; 3.平台板和底座 3.1 平台板表 (略) 理工艺,兼容磁力和真空吸附探针座底座; 3.2 可供四个CM50探针座同时操作; 4.显微镜 4.1物镜倍率:5X 变倍范围: 0.58~7X;调焦行程:50mm,包含粗细调功能,细调精度:1μm; 4.2显微镜移动基座 显微镜移动基座X-Y轴行程50mm*50mm,Z 轴调焦行程50mm,精度1μm; 5. 加热载物台 5.1样品台直径2英寸,真空孔位设计可以吸附载玻片和碎晶圆; 5.2样品台温控范围室温~200℃,温度分辨率0.1℃。采用PID温控器进行温度控制Xy方向行程50x50mm,分辨率≤10umR轴可360°旋转,配置精细调节模式在±9°的范围里完成0.001°的角度调节分辨率; *5.3样品台平面度调节范围ΘX≥±5°,ΘY≥±5°,调节分辨率≤0.001° 6. 物质转移夹具 MTS-1000 6.1三轴行程X-Y-Z: 点击查看>> mm* 点击查看>> mm* 点击查看>> mm; 6.2行程精度:±1μm; 6.3平面度调节:⊕X=±5°, ⊕Y=±5°; 6.4调节精度:±0.1°; *6.5载玻片固定方式:真空吸附; 6.6磁力开关底座固定。 7. 物质转移夹具 MTS-1200 7.1三轴行程xyz:13mmx13mmx13mm; 7.2行程控制精度±1um; *7.3平面度调节范围ΘX≥±3°,ΘY≥±3°,调节分辨率≤0.01°配置柔性支撑结构可以降低平面对齐操作要求; 7.4载玻片装载台角度调节范围±90°,调节分辨率≤0.01°可整体旋转角度100°,用于快速装夹样品。 | ||||||
相关材料 | 物质转移平台技术参数_1__1_.docx |
(略) 采购与 (略)
2022-05-01 18:00:08
终止信息
终止理由 | 报价供应商数量不符合要求 |
采购项目信息
项目名称 | 物质转移平台 | (略) | B 点击查看>> |
开始时间 | 2022-04-26 15:29:18 | 截止时间 | 2022-05-01 15:29:18 |
供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额(元) | 点击查看>> .0 |
采购货物信息列表
序号 | 货物(服务)名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | |||
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1 | 物质转移平台 | 1 | 台 | 点击查看>> .00 | |||
技术参数 | 1.载物台 1.1 载物台尺寸4"( 点击查看>> mm),材质为不锈钢,平整度<5μm; 2.载物台移动基座 2.1载物台X-Y轴的移动范围:2"*2"( 点击查看>> mm* 点击查看>> mm),精度:10μm; *2.2 采用X-Y轴同轴控制,够快速精准定位。配备X-Y轴阻尼调节装置,可调节X-Y移动的手感轻重; 3.平台板和底座 3.1 平台板表 (略) 理工艺,兼容磁力和真空吸附探针座底座; 3.2 可供四个CM50探针座同时操作; 4.显微镜 4.1物镜倍率:5X 变倍范围: 0.58~7X;调焦行程:50mm,包含粗细调功能,细调精度:1μm; 4.2显微镜移动基座 显微镜移动基座X-Y轴行程50mm*50mm,Z 轴调焦行程50mm,精度1μm; 5. 加热载物台 5.1样品台直径2英寸,真空孔位设计可以吸附载玻片和碎晶圆; 5.2样品台温控范围室温~200℃,温度分辨率0.1℃。采用PID温控器进行温度控制Xy方向行程50x50mm,分辨率≤10umR轴可360°旋转,配置精细调节模式在±9°的范围里完成0.001°的角度调节分辨率; *5.3样品台平面度调节范围ΘX≥±5°,ΘY≥±5°,调节分辨率≤0.001° 6. 物质转移夹具 MTS-1000 6.1三轴行程X-Y-Z: 点击查看>> mm* 点击查看>> mm* 点击查看>> mm; 6.2行程精度:±1μm; 6.3平面度调节:⊕X=±5°, ⊕Y=±5°; 6.4调节精度:±0.1°; *6.5载玻片固定方式:真空吸附; 6.6磁力开关底座固定。 7. 物质转移夹具 MTS-1200 7.1三轴行程xyz:13mmx13mmx13mm; 7.2行程控制精度±1um; *7.3平面度调节范围ΘX≥±3°,ΘY≥±3°,调节分辨率≤0.01°配置柔性支撑结构可以降低平面对齐操作要求; 7.4载玻片装载台角度调节范围±90°,调节分辨率≤0.01°可整体旋转角度100°,用于快速装夹样品。 | ||||||
相关材料 | 物质转移平台技术参数_1__1_.docx |
(略) 采购与 (略)
2022-05-01 18:00:08
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