光子器件代加工（ZJLAB-FS-BX20220423）延期公告
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光子器件代加工（ZJLAB-FS-BX20220423）延期公告
| 项目名称 | 光子器件代加工 | (略) | ZJLAB-FS-BX 点击查看>> |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 点击查看>> | 公告截止日期 | 点击查看>> |
| 采购单位 | 之江实验室 | 付款方式 | 预付全款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | 点击查看>> .0 | ||
| 收货地址 | 无 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光子芯片代加工 | 1 | 项 | 其他服务行业 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 点击查看>> .0 |
| 技术参数及配置要求 | 点击查看>> 方按照 点击查看>> 方需求进行光子器件的加工，要求器件实际加工尺寸误差<20 nm；提供最大写场面积大于300*300um2，写场拼场误差<20 nm；器件最小线宽可以达到<80 nm；提供可选择性套刻需求，套刻误差<80 nm；o波段光栅性能，单刻蚀均匀光栅单端损耗<-5 dB。其中 点击查看>> 方使用的电子束光刻机机时数不少于500小时，提供可供选择的光刻胶(正胶/负胶)，感应耦合等离子体刻蚀机时不少于50小时。 点击查看>> 方使用电子束光刻机及等离子体刻蚀机制备的硅波导侧壁需较为光滑，条波导损耗低于2.5dB/cm，脊波导损耗低于1.5dB/cm。 点击查看>> 方利用扫描电子显微镜，台阶仪等 (略) 加工器件进行表征，扫描电子显微镜精度小于10nm，可用于图形线宽和图形位移测量，并提供相关测试报告。项目联系人：刘老师，联系方式： 点击查看>> |
| 售后服务 | 无 |
| 项目名称 | 光子器件代加工 | (略) | ZJLAB-FS-BX 点击查看>> |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 点击查看>> | 公告截止日期 | 点击查看>> |
| 采购单位 | 之江实验室 | 付款方式 | 预付全款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | 点击查看>> .0 | ||
| 收货地址 | 无 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光子芯片代加工 | 1 | 项 | 其他服务行业 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 点击查看>> .0 |
| 技术参数及配置要求 | 点击查看>> 方按照 点击查看>> 方需求进行光子器件的加工，要求器件实际加工尺寸误差<20 nm；提供最大写场面积大于300*300um2，写场拼场误差<20 nm；器件最小线宽可以达到<80 nm；提供可选择性套刻需求，套刻误差<80 nm；o波段光栅性能，单刻蚀均匀光栅单端损耗<-5 dB。其中 点击查看>> 方使用的电子束光刻机机时数不少于500小时，提供可供选择的光刻胶(正胶/负胶)，感应耦合等离子体刻蚀机时不少于50小时。 点击查看>> 方使用电子束光刻机及等离子体刻蚀机制备的硅波导侧壁需较为光滑，条波导损耗低于2.5dB/cm，脊波导损耗低于1.5dB/cm。 点击查看>> 方利用扫描电子显微镜，台阶仪等 (略) 加工器件进行表征，扫描电子显微镜精度小于10nm，可用于图形线宽和图形位移测量，并提供相关测试报告。项目联系人：刘老师，联系方式： 点击查看>> |
| 售后服务 | 无 |
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