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成都华微高端集成电路研发及产业基地项目精装修工程设计-施工总承包/标段补遗文件(02)号

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四川省
发布：2022-06-02

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成都华微高端集成电路研发及产业基地项目精装修工程设计-施工总承包/标段补遗文件(02)号

成都华微 (略) 研发及产业基地项目精装修工程设计-施工总承包/标段补遗文件(02)号

日期：2022-06-02

致：各潜在投标人

1、本项目3#楼检测 (略) 有所调整，对设计方案提出了新的要求（详见附件：3#楼检测大楼初步工艺规划）。

2、开标时间和投标文件递交时间变更为：2022年8月9日9:30时（北京时间）。

3、招标文件其余内容不变。

招标人： (略)

招标代理机构：四川成化 (略)

2022年06月02日

附件：

3#楼检测大楼初步工艺规划

一、 (略) 初步规划

3#楼检测大楼初步要求见下表，环境要求中需要万级净化标“万”，需要十万级净化标“十万”，需要防静电标“ESD”，需要温度控制在24±2℃标“温”，需要湿度控制在50±10%标“湿”，需要管道氮气标“氮”，需要压缩空气标“气”，需要上下水标“水”，需要排气标“风”，需要瓶装气体标“瓶”，需要废液回收标“回”，需要屏蔽防护标“防”，需要噪音防护标“噪”，需要振动屏蔽标“振”，存有危险品需防爆控制标“爆”。

序号	房间名称	环境要求	预计面积（m2）	电力估算 (KW)
第一层
1	晶圆测试室	万：ESD；温；湿；氮；气	400	三相五线
2	减薄划片室	万：ESD；温；湿；气；水；回	90	30
3	晶圆库房	万：ESD；温；湿；氮	70	30
4	测试材料室	万：ESD；温；湿；氮	47	50
5	FIB修调绑线室	ESD；温；湿；瓶；防	48	35
6	更衣间（万级）	温；风	90	5
7	机械实验室	ESD；温；湿；气；噪：振	70	80
8	环境试验室	ESD；温；湿；	70	10
9	密封试验室	ESD；温；湿；瓶；排	35	5
10	PIND室	ESD；温；湿；噪；屏	35	5
11	设备制冷	/	17
12	网络、配电	温	35	-
第二层
13	成品测试室	十万：ESD；温；湿；氮；气	900	三相五线
14	测试中转库房	十万：ESD；温；湿；氮	48	20
15	扫描电镜室	ESD；温；湿；瓶	70	20
16	风淋	/	5	1
17	设备制冷	/	17	5
18	X光检测室	ESD；温；湿；屏	70	三相五线
19	声扫试验室	ESD；温；湿；水	70	10
20	打标	ESD；温；湿	70	10
21	特殊品库房	ESD；温；湿	16	通风、防爆
22	二楼网络间、配电室	温	35	三相五线
23	动力室	/	90	三相五线
第三层
24	老炼实验室	ESD；温；湿；排；氮	700	三相五线
25	温度环境室	ESD；温；湿；气；水	280	三相五线
26	老化装配间	ESD；温；湿	70	5
27	老化板库房	ESD；温；湿	70	5
28	恒温试验室	ESD；温；湿；排；水；爆	35	10
29	盐雾室	ESD；温；湿；排；水；气	35	10
30	网络配电	温	35	三相五线
第四层
31	成品库房区	ESD；温；湿；氮	420	20
32	分析实验室	ESD；温；湿	48	50
33	元件库	ESD；温；湿	24	5
34	办公室	温	25	5
35	入厂检验室	ESD；温；湿	35	10
36	出厂检验室	ESD；温；湿	70	20
37	四楼网络、配电间	温	20	10
38	开放办公区	温	3	40
39	会议室	温	100	10
40	5间办公室	温	30*5	5
41	空调外机区域	/	500	三相五线
42	楼顶配电室	温	5	-

二、单项配套初步需求

表中排风为专设排风管道，独立于空调系统的回风；散热为超大功耗设备特别设置的排热，使用定制专用空调或其它增加专用散热方式。

房间名称	恒温恒湿	防静电	防尘	净化要求	压缩空气	氮气	给水	排水	排风	降噪	散热
晶圆测试室	√	√	√	万级	√	√	×	×	×	√	√
减薄划片室	√	√	√	万级	√	×	×	√	√	√	×
晶圆库房	√	√	√	万级	×	√	×	×	×	×	×
FIB修调绑线室	√	√	√	万级	×	√	×	×	×	√	×
更衣间（万级）	√	√	√	万级	×	×	×	×	√	×	×
机械实验室	√	√	√	×	√	×	×	×	×	√	×
环境实验室	√	√	√	×	√	√	√	√	√	√	×
密封实验室	√	√	√	×	×	×	×	√	√	×	×
PIND室	√	√	√	×	×	×	√	√	×	×	×
设备制冷	×	×	×	×	×	×	×	×	√	×	√
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
成品测试室	√	√	√	十万级	√	√	√	√	√	√	√
测试中转库房	√	√	√	十万级	√	√	×	√	×	×	×
扫描电镜室	√	√	√	十万级	√	×	×	×	×	√	×
风淋	√	√	√	十万级	×	×	×	×	×	×	×
设备制冷	×	×	×	×	×	×	×	×	√	×	√
X光实验室	√	√	√	×	√	×	×	×	×	×	×
声扫实验室	√	√	√	×	√	×	√	√	×	×	×
打标室	√	√	√	×	√	×	√	√	√	×	×
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
动力室	√	×	×	×	×	×	×	×	×	×	√
老炼实验室	√	√	√	×	√	√	√	√	√	√	√
温度环境实验室	√	√	√	×	√	×	√	√	√	×	√
老化装配间	√	√	√	×	√	×	×	×	×	×	×
老化板库房	√	√	√	×	√	×	×	×	×	×	×
盐雾室	√	√	√	×	√	×	×	√	×	×	×
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
成品库房	√	√	√	×	√	√	×	×	√	×	×
分析实验室	√	√	√	×	√	×	×	×	√	×	×
元件库	√	√	√	×	√	×	×	√	√	×	×
材料库	√	√	√	×	√	×	√	√	√	×	×
入厂检验室	√	√	√	×	√	√	×	√	×	×	×
出厂检验室	√	√	√	×	√	√	×	√	×	×	×
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
办公区	√	×	√	×	×	×	√	√	×	√	×
空压机组区域	×	×	√	×	√	√	√	√	√	√	√
空调外机区域	×	×	×	×	×	×	×	√	×	×	×
F1A～F4A一至四楼网络间	√	√	√	×	×	×	×	×	√	×	√
F1B～F5B一楼至楼顶配电室	√	√	√	×	×	×	×	×	√	×	√

三、其他要求

(略) 有地面包含过道、楼梯均不能出现水泥地面裸露，并且地面要进 (略) 理。防静电接地单独设置，与配电线零线、地线、防雷接地线等分开独立设置。

此需求为设计方案的补充，在后续设计过程中进行细化，建设方有权根据实际需求进行调整。

(略)

2022年06月02日

成都华微 (略) 研发及产业基地项目精装修工程设计-施工总承包/标段补遗文件(02)号

日期：2022-06-02

致：各潜在投标人

1、本项目3#楼检测 (略) 有所调整，对设计方案提出了新的要求（详见附件：3#楼检测大楼初步工艺规划）。

2、开标时间和投标文件递交时间变更为：2022年8月9日9:30时（北京时间）。

3、招标文件其余内容不变。

招标人： (略)

招标代理机构：四川成化 (略)

2022年06月02日

附件：

3#楼检测大楼初步工艺规划

一、 (略) 初步规划

序号	房间名称	环境要求	预计面积（m2）	电力估算 (KW)
第一层
1	晶圆测试室	万：ESD；温；湿；氮；气	400	三相五线
2	减薄划片室	万：ESD；温；湿；气；水；回	90	30
3	晶圆库房	万：ESD；温；湿；氮	70	30
4	测试材料室	万：ESD；温；湿；氮	47	50
5	FIB修调绑线室	ESD；温；湿；瓶；防	48	35
6	更衣间（万级）	温；风	90	5
7	机械实验室	ESD；温；湿；气；噪：振	70	80
8	环境试验室	ESD；温；湿；	70	10
9	密封试验室	ESD；温；湿；瓶；排	35	5
10	PIND室	ESD；温；湿；噪；屏	35	5
11	设备制冷	/	17
12	网络、配电	温	35	-
第二层
13	成品测试室	十万：ESD；温；湿；氮；气	900	三相五线
14	测试中转库房	十万：ESD；温；湿；氮	48	20
15	扫描电镜室	ESD；温；湿；瓶	70	20
16	风淋	/	5	1
17	设备制冷	/	17	5
18	X光检测室	ESD；温；湿；屏	70	三相五线
19	声扫试验室	ESD；温；湿；水	70	10
20	打标	ESD；温；湿	70	10
21	特殊品库房	ESD；温；湿	16	通风、防爆
22	二楼网络间、配电室	温	35	三相五线
23	动力室	/	90	三相五线
第三层
24	老炼实验室	ESD；温；湿；排；氮	700	三相五线
25	温度环境室	ESD；温；湿；气；水	280	三相五线
26	老化装配间	ESD；温；湿	70	5
27	老化板库房	ESD；温；湿	70	5
28	恒温试验室	ESD；温；湿；排；水；爆	35	10
29	盐雾室	ESD；温；湿；排；水；气	35	10
30	网络配电	温	35	三相五线
第四层
31	成品库房区	ESD；温；湿；氮	420	20
32	分析实验室	ESD；温；湿	48	50
33	元件库	ESD；温；湿	24	5
34	办公室	温	25	5
35	入厂检验室	ESD；温；湿	35	10
36	出厂检验室	ESD；温；湿	70	20
37	四楼网络、配电间	温	20	10
38	开放办公区	温	3	40
39	会议室	温	100	10
40	5间办公室	温	30*5	5
41	空调外机区域	/	500	三相五线
42	楼顶配电室	温	5	-

二、单项配套初步需求

表中排风为专设排风管道，独立于空调系统的回风；散热为超大功耗设备特别设置的排热，使用定制专用空调或其它增加专用散热方式。

房间名称	恒温恒湿	防静电	防尘	净化要求	压缩空气	氮气	给水	排水	排风	降噪	散热
晶圆测试室	√	√	√	万级	√	√	×	×	×	√	√
减薄划片室	√	√	√	万级	√	×	×	√	√	√	×
晶圆库房	√	√	√	万级	×	√	×	×	×	×	×
FIB修调绑线室	√	√	√	万级	×	√	×	×	×	√	×
更衣间（万级）	√	√	√	万级	×	×	×	×	√	×	×
机械实验室	√	√	√	×	√	×	×	×	×	√	×
环境实验室	√	√	√	×	√	√	√	√	√	√	×
密封实验室	√	√	√	×	×	×	×	√	√	×	×
PIND室	√	√	√	×	×	×	√	√	×	×	×
设备制冷	×	×	×	×	×	×	×	×	√	×	√
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
成品测试室	√	√	√	十万级	√	√	√	√	√	√	√
测试中转库房	√	√	√	十万级	√	√	×	√	×	×	×
扫描电镜室	√	√	√	十万级	√	×	×	×	×	√	×
风淋	√	√	√	十万级	×	×	×	×	×	×	×
设备制冷	×	×	×	×	×	×	×	×	√	×	√
X光实验室	√	√	√	×	√	×	×	×	×	×	×
声扫实验室	√	√	√	×	√	×	√	√	×	×	×
打标室	√	√	√	×	√	×	√	√	√	×	×
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
动力室	√	×	×	×	×	×	×	×	×	×	√
老炼实验室	√	√	√	×	√	√	√	√	√	√	√
温度环境实验室	√	√	√	×	√	×	√	√	√	×	√
老化装配间	√	√	√	×	√	×	×	×	×	×	×
老化板库房	√	√	√	×	√	×	×	×	×	×	×
盐雾室	√	√	√	×	√	×	×	√	×	×	×
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
成品库房	√	√	√	×	√	√	×	×	√	×	×
分析实验室	√	√	√	×	√	×	×	×	√	×	×
元件库	√	√	√	×	√	×	×	√	√	×	×
材料库	√	√	√	×	√	×	√	√	√	×	×
入厂检验室	√	√	√	×	√	√	×	√	×	×	×
出厂检验室	√	√	√	×	√	√	×	√	×	×	×
网络配电	√	×	√	×	×	×	×	×	×	×	×
办公区	√	×	√	×	×	×	√	√	×	√	×
空压机组区域	×	×	√	×	√	√	√	√	√	√	√
空调外机区域	×	×	×	×	×	×	×	√	×	×	×
F1A～F4A一至四楼网络间	√	√	√	×	×	×	×	×	√	×	√
F1B～F5B一楼至楼顶配电室	√	√	√	×	×	×	×	×	√	×	√

三、其他要求

此需求为设计方案的补充，在后续设计过程中进行细化，建设方有权根据实际需求进行调整。

(略)

2022年06月02日

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