澄清或变更简要说明：一、本项目招标产品名称变更为：立式大口径激光干涉仪；
二、本项目最高限价变更为：850万元；
三、本项目投标保证金金额变更为： 点击查看>> 元；
四、本项目交货期变更为：合同签订后12个月内；
五、本项目投标截止时间（开标时间）变更为：2022年08月03日10时30分（北京时间）
六、变更本项目的技术规格，变更后的内容详见如下：
二、技术规格
（一）设备总体要求及工作条件
1、设备结构合理、操作界面友好、易操作、安全可靠、便于维护及美观；
2、设备具备功能扩展和软件升级功能；
3、设备兼容千级及更高级别超净间；
4、投标人投标时提供设备外形尺寸、占地面积、安装条件等指标；
5、电源适用于中国制式，两相或三相，频率50/60Hz下工作。
（二）设备总体配置
设备用途：激光干涉仪是光学系统标定测试 (略) 件，运用移相干涉原理提供高精度的平面面形、平行平面的前后两个面的同时面向测量, 晶圆的平面度测量,即12寸晶圆载盘等光学精密器件的测量
设备组成：设备立式12寸系统主机, 标准透射平面标准镜,12寸载物台, (略) 分组成。
设备要求具备占地面积小、整机操作简便、具有高稳定性，能满足器件的研发和批量制造生产的要求。
（三）大口径激光干涉仪指标参数要求
*1、测试方式为斐索干涉双端口结构， (略) ，激光干涉仪利用波长调制原理测量；
*2、双通道测试，测试口径分别为≥300mm采用立式工况结构；*3、相移方式与测试波长：波长调谐相移，中心波长λ=633nm；
*4、相机探测器，分辨率：≥3K×3K，帧频≥50Hz；
5、用波长调制原理测量，可同时测量平面多个表面，具备一次测量就可实现平行平板上下两个面的面形同时检测的能力，光学厚度变化；两次测试即可得到材料均匀性，最小可测量样品光学厚度≤0.6mm；
6、同时提供精确测试经典干涉仪的表面形貌图；
7、12英寸平面透射镜头TF；300mm标准透射平面镜：镀动态自适应膜，PVr值：在立式工况下优于λ/10，可接受被测件反射率4%-90%。；
8、主机校准系统：十字线双光点快速定位；主机调整可视范围：±3o；主机光瞳调焦范围≥±2m；
*9、主机传递函数ITF>0.7 @ 8.2 cycles/mm；
*10、主机RMS重复性优于λ/1800（2σ）；
*11、主机RMS 波前重复性 λ/1200；
12立式系统要求
点击查看>> 采用一体式设计，减震平台集成在立式系统中，系统可安装测试口径≥300mm;
点击查看>> 样品台可放置4寸，6寸，8寸，12寸晶圆，载重≥30KG；
点击查看>> 样品台可进行倾斜、俯仰调整，调整角度≥±2°；
点击查看>> 系统整体总重量不能超过两吨；
13. 衍射环纹抑制技术，具有环形光源技术，可以和点光源之间一键切换；
14、具有抗震技术，可以在不使用抗震平台的情况下进行高精度测试；
15、可以测试前后表面平行的样品表面（样 (略) 理）；
16、干涉仪显示背景，条纹对比清晰、平滑、无衍射环；
17、软件功能具有输出峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、波前梯度（GRMS），等高图、X-Y剖面图、三维立体图、干涉条纹图、MTF(光学传递函数)、PSD(功率谱密度)，材料均匀性测量、平行平板面形测量、泽尔尼科多项式分析、赛德尔像差分析等；
18、12英寸扩束器可以将4英寸干涉仪主机输出的激光光束扩展为12英寸的平行光束。 (略) 采用紧凑设计，所有用到的光学组件需封闭固定，以避免污染，空气扰动以及其它原因造成光束失去准直。扩束器包括透镜系统以及平面光束转换镜， (略) 件需固定封闭在一个密闭罩中。
19、系统稳定性：24小时内6组测试，达到系统精度与重复性精度；
20、平均无故障工作时间>800小时，平均连续无故障工作时间>12小时/天；
21、测试工装提供可以夹持300mm圆形元件及200mm圆形元件工装一套；
22、气浮隔振平台隔振频率1-90Hz，1-10HZ隔振效率>90%，表面平整度每60cmX60cm面积内小于0.1mm；
23、测试软件的配套控制系统应配备不低于6核3. (略) 理器，16G DDR4内存，512G SSD 硬盘和2TB 7200RPM硬盘，8GB GDDR5显卡，24寸显示器。配备商用彩色激光打印机。
七、其余不变。
四川 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-07-08在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:01-01立式大口径激光干涉仪1套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
(略) :0687- 点击查看>>
招标项目名称:天府兴隆湖实验室大口径激光干涉仪采购项目（国际）
项目实施地点:中国四川省
招标产品列表(主要设备):

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人提交的证明其中标后能履行合同的资格证明文件应包括下列文件：
一.投标人提交的证明其中标后能履行合同的资格证明文件应包括下列文件：
1）如果投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到：
如果投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到货物制造商同意其在本次投标中提供该货物的有效授权书(参见《招标文件》第一册第四章格式Ⅳ-9-4) 或具有授权权限的代理商对投标产品的授权（且需提供该代理商具有有效授权权限的相关证明文件，证明文件需能显示货物制造商对投标产品授权链条的完整性）；认定投标人数量时，两家以上投标人的投标产品为同一家制造商或集成商生产的，按一家投标人认定。对两家以上集成商或代理商使用相同制造商产品作为其 (略) 分，且相同产品的价格总和均超过该项目包各自投标总价60%的，按一家投标人认定。
2）单位负责人授权书。
3) 投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明的原件或复印件。
二.“其他资格证明文件”是指证明 (略) 投产品符合下列资质或资格能力要求的文件：
1.若投标人为国内注册的，应提供营业执照、组织机构代码、税务登记证复印件（已执行三证合一的企业，提供合并后的营业执照复印件）；
2. 要求投标产品制造商在中国具有至少2台同类产品的销售业绩，提供销售合同复印件或验收通过证明以及真实有效的客户清单与联系方式，如后续验证业绩虚假，视为无效文件。以上证件提供复印件者必须加盖投标人的公章。投标文件中的以上资料未按上述要求提供的或不在有效期内的，都将导致投标被否决。

是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2022-06-24
招标文件领购结束时间:2022-07-01
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：在本项目招标文件获取时间内，每天9:00-17:00时（节假日除外）在 (略) (http:/ 点击查看>> )购买，具体购买流 (略) 的“在线购买流程”（招标文件售后不退）
招标文件售价:￥500/$79
其他说明:1、招标文件领购开始时间：2022年06月24日，招标文件领购结束时间：2022年07月01日，招标文件领购地点：在本项目招标文件获取时间内，每天9:00-17:00时（节假日除外）在 (略) (http:/ 点击查看>> )购买，具体购买流 (略) 的“在线购买流程”（招标文件售后不退），招标文件售价：79美元/每份或500元人民币/每份。2、投标人在投标前需在机电产品招标投标电子交易平台上（http:/ 点击查看>> ）完成注册及信息核验。评标结果将在《机电产品招标投标电子交易平台》和《中国招标投标公共服务平台》（http:/ 点击查看>> ）公示。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2022-08-03 10:30
投标文件送达地点:四川 (略) （中国（四川）自由贸易试验区成都市高新区天 (略) 1栋3层）
开标地点:四川 (略) （中国（四川）自由贸易试验区成都市高新区天 (略) 1栋3层）
6、投标人在投标前应在必联网（）或机电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:天府兴隆湖实验室
地址:天府海创园
联系人:鲜老师
联系方式:028- 点击查看>>
招标代理机构:四川 (略)
地址:中国（四川）自由贸易试验区成都市高新区天 (略) 2 (略)
联系人:孙先生
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国 (略) 成 (略)
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行成都第一支行
账号(人民币): 点击查看>> 2
账号(美元): 点击查看>> 点击查看>>

澄清或变更简要说明：一、本项目招标产品名称变更为：立式大口径激光干涉仪；
二、本项目最高限价变更为：850万元；
三、本项目投标保证金金额变更为： 点击查看>> 元；
四、本项目交货期变更为：合同签订后12个月内；
五、本项目投标截止时间（开标时间）变更为：2022年08月03日10时30分（北京时间）
六、变更本项目的技术规格，变更后的内容详见如下：
二、技术规格
（一）设备总体要求及工作条件
1、设备结构合理、操作界面友好、易操作、安全可靠、便于维护及美观；
2、设备具备功能扩展和软件升级功能；
3、设备兼容千级及更高级别超净间；
4、投标人投标时提供设备外形尺寸、占地面积、安装条件等指标；
5、电源适用于中国制式，两相或三相，频率50/60Hz下工作。
（二）设备总体配置
设备用途：激光干涉仪是光学系统标定测试 (略) 件，运用移相干涉原理提供高精度的平面面形、平行平面的前后两个面的同时面向测量, 晶圆的平面度测量,即12寸晶圆载盘等光学精密器件的测量
设备组成：设备立式12寸系统主机, 标准透射平面标准镜,12寸载物台, (略) 分组成。
设备要求具备占地面积小、整机操作简便、具有高稳定性，能满足器件的研发和批量制造生产的要求。
（三）大口径激光干涉仪指标参数要求
*1、测试方式为斐索干涉双端口结构， (略) ，激光干涉仪利用波长调制原理测量；
*2、双通道测试，测试口径分别为≥300mm采用立式工况结构；*3、相移方式与测试波长：波长调谐相移，中心波长λ=633nm；
*4、相机探测器，分辨率：≥3K×3K，帧频≥50Hz；
5、用波长调制原理测量，可同时测量平面多个表面，具备一次测量就可实现平行平板上下两个面的面形同时检测的能力，光学厚度变化；两次测试即可得到材料均匀性，最小可测量样品光学厚度≤0.6mm；
6、同时提供精确测试经典干涉仪的表面形貌图；
7、12英寸平面透射镜头TF；300mm标准透射平面镜：镀动态自适应膜，PVr值：在立式工况下优于λ/10，可接受被测件反射率4%-90%。；
8、主机校准系统：十字线双光点快速定位；主机调整可视范围：±3o；主机光瞳调焦范围≥±2m；
*9、主机传递函数ITF>0.7 @ 8.2 cycles/mm；
*10、主机RMS重复性优于λ/1800（2σ）；
*11、主机RMS 波前重复性 λ/1200；
12立式系统要求
点击查看>> 采用一体式设计，减震平台集成在立式系统中，系统可安装测试口径≥300mm;
点击查看>> 样品台可放置4寸，6寸，8寸，12寸晶圆，载重≥30KG；
点击查看>> 样品台可进行倾斜、俯仰调整，调整角度≥±2°；
点击查看>> 系统整体总重量不能超过两吨；
13. 衍射环纹抑制技术，具有环形光源技术，可以和点光源之间一键切换；
14、具有抗震技术，可以在不使用抗震平台的情况下进行高精度测试；
15、可以测试前后表面平行的样品表面（样 (略) 理）；
16、干涉仪显示背景，条纹对比清晰、平滑、无衍射环；
17、软件功能具有输出峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、波前梯度（GRMS），等高图、X-Y剖面图、三维立体图、干涉条纹图、MTF(光学传递函数)、PSD(功率谱密度)，材料均匀性测量、平行平板面形测量、泽尔尼科多项式分析、赛德尔像差分析等；
18、12英寸扩束器可以将4英寸干涉仪主机输出的激光光束扩展为12英寸的平行光束。 (略) 采用紧凑设计，所有用到的光学组件需封闭固定，以避免污染，空气扰动以及其它原因造成光束失去准直。扩束器包括透镜系统以及平面光束转换镜， (略) 件需固定封闭在一个密闭罩中。
19、系统稳定性：24小时内6组测试，达到系统精度与重复性精度；
20、平均无故障工作时间>800小时，平均连续无故障工作时间>12小时/天；
21、测试工装提供可以夹持300mm圆形元件及200mm圆形元件工装一套；
22、气浮隔振平台隔振频率1-90Hz，1-10HZ隔振效率>90%，表面平整度每60cmX60cm面积内小于0.1mm；
23、测试软件的配套控制系统应配备不低于6核3. (略) 理器，16G DDR4内存，512G SSD 硬盘和2TB 7200RPM硬盘，8GB GDDR5显卡，24寸显示器。配备商用彩色激光打印机。
七、其余不变。
四川 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-07-08在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:01-01立式大口径激光干涉仪1套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
(略) :0687- 点击查看>>
招标项目名称:天府兴隆湖实验室大口径激光干涉仪采购项目（国际）
项目实施地点:中国四川省
招标产品列表(主要设备):

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人提交的证明其中标后能履行合同的资格证明文件应包括下列文件：
一.投标人提交的证明其中标后能履行合同的资格证明文件应包括下列文件：
1）如果投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到：
如果投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到货物制造商同意其在本次投标中提供该货物的有效授权书(参见《招标文件》第一册第四章格式Ⅳ-9-4) 或具有授权权限的代理商对投标产品的授权（且需提供该代理商具有有效授权权限的相关证明文件，证明文件需能显示货物制造商对投标产品授权链条的完整性）；认定投标人数量时，两家以上投标人的投标产品为同一家制造商或集成商生产的，按一家投标人认定。对两家以上集成商或代理商使用相同制造商产品作为其 (略) 分，且相同产品的价格总和均超过该项目包各自投标总价60%的，按一家投标人认定。
2）单位负责人授权书。
3) 投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明的原件或复印件。
二.“其他资格证明文件”是指证明 (略) 投产品符合下列资质或资格能力要求的文件：
1.若投标人为国内注册的，应提供营业执照、组织机构代码、税务登记证复印件（已执行三证合一的企业，提供合并后的营业执照复印件）；
2. 要求投标产品制造商在中国具有至少2台同类产品的销售业绩，提供销售合同复印件或验收通过证明以及真实有效的客户清单与联系方式，如后续验证业绩虚假，视为无效文件。以上证件提供复印件者必须加盖投标人的公章。投标文件中的以上资料未按上述要求提供的或不在有效期内的，都将导致投标被否决。

是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2022-06-24
招标文件领购结束时间:2022-07-01
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：在本项目招标文件获取时间内，每天9:00-17:00时（节假日除外）在 (略) (http:/ 点击查看>> )购买，具体购买流 (略) 的“在线购买流程”（招标文件售后不退）
招标文件售价:￥500/$79
其他说明:1、招标文件领购开始时间：2022年06月24日，招标文件领购结束时间：2022年07月01日，招标文件领购地点：在本项目招标文件获取时间内，每天9:00-17:00时（节假日除外）在 (略) (http:/ 点击查看>> )购买，具体购买流 (略) 的“在线购买流程”（招标文件售后不退），招标文件售价：79美元/每份或500元人民币/每份。2、投标人在投标前需在机电产品招标投标电子交易平台上（http:/ 点击查看>> ）完成注册及信息核验。评标结果将在《机电产品招标投标电子交易平台》和《中国招标投标公共服务平台》（http:/ 点击查看>> ）公示。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2022-08-03 10:30
投标文件送达地点:四川 (略) （中国（四川）自由贸易试验区成都市高新区天 (略) 1栋3层）
开标地点:四川 (略) （中国（四川）自由贸易试验区成都市高新区天 (略) 1栋3层）
6、投标人在投标前应在必联网（）或机电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:天府兴隆湖实验室
地址:天府海创园
联系人:鲜老师
联系方式:028- 点击查看>>
招标代理机构:四川 (略)
地址:中国（四川）自由贸易试验区成都市高新区天 (略) 2 (略)
联系人:孙先生
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国 (略) 成 (略)
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行成都第一支行
账号(人民币): 点击查看>> 2
账号(美元): 点击查看>> 点击查看>>