扫描式曝光机国际招标澄清或变更公告(2)-0730-224011020007/45
扫描式曝光机国际招标澄清或变更公告(2)-0730-224011020007/45
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 扫描式曝光机 | 1台 | (1)本 (略) 有曝光机设备分辨率≤1.5um。(2)每台机台内光罩储存槽,最少需有9套。(3)每台设备需配置与Mask Buffer槽位数量相同的Mask Case。 | 0730- 点击查看>> /45 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 扫描式曝光机 | 1台 | (1)本 (略) 有曝光机设备分辨率≤1.5um。(2)每台机台内光罩储存槽,最少需有9套。(3)每台设备需配置与Mask Buffer槽位数量相同的Mask Case。 | 0730- 点击查看>> /45 |
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