合肥芯碁微 (略) 气浮高精度运动平台采购项目（三次）招标文件答疑澄清1

（ (略) ：GN2022-04-4266）

招标文件澄清内容：

招标文件“第五章 供货要求—三、主要技术参数要求”中：

“5、X位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.5μm；

6、Y位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.75μm；

7、7、X重复定位精度（工作区域内）±0.1μm；

8、8、 Y重复定位精度（工作区域内） ±0.2μm”

修改为：

“5、X位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.3μm；

6、Y位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.5μm；

7、X重复定位精度（工作区域内） ±0.08μm；

8、Y重复定位精度（工作区域内） ±0.1μm”

凡招标文件与本答疑澄清公告不一致者以本答疑澄清公告为准，其他未涉及修改的内容均以原招标文件为准。

招标人名称：合肥芯碁微 (略)

地 址：安徽省合肥市高新区长宁 (略)

联 系 人：吴经理

电 话： 点击查看>>

招标代理机构： (略) (略)

地 址：安徽省合肥市包河 (略)

联 系 人：孙工

电 话：0551- 点击查看>> （ 点击查看>> ）

2022年8月24日

合肥芯碁微 (略) 气浮高精度运动平台采购项目（三次）招标文件答疑澄清1

（ (略) ：GN2022-04-4266）

招标文件澄清内容：

招标文件“第五章 供货要求—三、主要技术参数要求”中：

“5、X位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.5μm；

6、Y位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.75μm；

7、7、X重复定位精度（工作区域内）±0.1μm；

8、8、 Y重复定位精度（工作区域内） ±0.2μm”

修改为：

“5、X位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.3μm；

6、Y位置精度（工作区域内）（补偿后） ±0.5μm；

7、X重复定位精度（工作区域内） ±0.08μm；

8、Y重复定位精度（工作区域内） ±0.1μm”

凡招标文件与本答疑澄清公告不一致者以本答疑澄清公告为准，其他未涉及修改的内容均以原招标文件为准。

招标人名称：合肥芯碁微 (略)

地 址：安徽省合肥市高新区长宁 (略)

联 系 人：吴经理

电 话： 点击查看>>

招标代理机构： (略) (略)

地 址：安徽省合肥市包河 (略)

联 系 人：孙工

电 话：0551- 点击查看>> （ 点击查看>> ）

2022年8月24日