关于更正原子层沉积系统（ALD）采购招标文件的公告各报名投标单位：原子层沉积系统（ALD）采购招标文件（项目编号JDSB*0**0**）第三部分“招标货物及有关说明”之“四、配置及技术要求”更正为：序号配置及技术要求*反应腔系统*）样品台直径*英寸（**0mm），腔高度≥**mm。可生长*英寸及以下样品*）样品台加热温度室温至*00℃可控，控制精度±*℃*）腔体含腔壁补偿加热器，加热温度室温至*0......关于更正原子层沉积系统（ALD）采购招标文件的公告各报名投标单位：原子层沉积系统（ALD）采购招标文件（项目编号JDSB*0**0**）第三部分“招标货物及有关说明”之“四、配置及技术要求”更正为：序号配置及技术要求*反应腔系统*）样品台直径*英寸（**0mm），腔高度≥**mm。可生长*英寸及以下样品*）样品台加热温度室温至*00℃可控，控制精度±*℃*）腔体含腔壁补偿加热器，加热温度室温至*0......0