光刻机（XF-WSBX-2200449）延期公告招标变更
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光刻机（XF-WSBX-2200449）延期公告招标变更
| 项目名称 | 光刻机 | 项目编号 | XF-WSBX-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2022-10-09 16:50:20 | 公告截止日期 | 2022-10-12 18:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款。境内供货的，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由*方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。* (略) 在*方到货验收后15日内 (略) 一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后4天 | 到货时间要求 | 成交后5天 |
| 预算总价 | ￥* | ||
| 收货地址 | 浙江大学西溪校区西七楼439 | ||
| 供应商资质要求77 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2022-10-12 18:00 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光刻机 | 1 | 台 | 电工器材 |
| 品牌 | (略) 光电技术研究所 |
|---|---|
| 型号 | URE-2000/17 |
| 预算单价 | ￥* |
| 技术参数及配置要求 | 1、设备现货，灯源采用200W进口直流汞灯，曝光波长使用365nm，分辨率1μm，对准精度1μm，均匀性±5%，曝光面积ф100mm，曝光能量密度10mW/cm2。 2、对准采用双目双视场对准显微镜，对准显微镜有三对目镜和三对物镜可以互换，组合后最大倍数400倍。对准物镜轴距可在20mm-63mm之间变化。在目镜中可单独观察到一个视场的像，也可同时观测到两个视场的像。 3、机器由单片机系统控制，通过主机上的控制面板进行操作。 4、工件台可带动掩模样片一起X、Y整体运动（关掉工件台真空），也可把X、Y整体运动锁紧（打开工件台真空）。样片相对于掩模可做X、Y、Z、θx、θy、θz六维运动，其中X、Y、Z、θz通过手轮调节，θx、θy分别通过球气浮调节。 5、含控制系统汞灯电源的控制柜。 6、配备有2.5英寸，3英寸，4英寸，5英寸四种掩模吸盘。 7、配备真空泵，22英寸的液晶监视器。 8、承片台含ф15mm、2.5英寸，3英寸，4英寸四种规格。 9、对提供产品实行*年质保期和永久的跟踪维护服务。 10、设备技术响应时间在2小时内，现场技术支持响应时间在24小时内，72小时内排除设备故障。 |
| 售后服务 | (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2022-10-09 16:50:20
| 项目名称 | 光刻机 | 项目编号 | XF-WSBX-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2022-10-09 16:50:20 | 公告截止日期 | 2022-10-12 18:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款。境内供货的，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由*方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。* (略) 在*方到货验收后15日内 (略) 一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后4天 | 到货时间要求 | 成交后5天 |
| 预算总价 | ￥* | ||
| 收货地址 | 浙江大学西溪校区西七楼439 | ||
| 供应商资质要求77 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2022-10-12 18:00 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光刻机 | 1 | 台 | 电工器材 |
| 品牌 | (略) 光电技术研究所 |
|---|---|
| 型号 | URE-2000/17 |
| 预算单价 | ￥* |
| 技术参数及配置要求 | 1、设备现货，灯源采用200W进口直流汞灯，曝光波长使用365nm，分辨率1μm，对准精度1μm，均匀性±5%，曝光面积ф100mm，曝光能量密度10mW/cm2。 2、对准采用双目双视场对准显微镜，对准显微镜有三对目镜和三对物镜可以互换，组合后最大倍数400倍。对准物镜轴距可在20mm-63mm之间变化。在目镜中可单独观察到一个视场的像，也可同时观测到两个视场的像。 3、机器由单片机系统控制，通过主机上的控制面板进行操作。 4、工件台可带动掩模样片一起X、Y整体运动（关掉工件台真空），也可把X、Y整体运动锁紧（打开工件台真空）。样片相对于掩模可做X、Y、Z、θx、θy、θz六维运动，其中X、Y、Z、θz通过手轮调节，θx、θy分别通过球气浮调节。 5、含控制系统汞灯电源的控制柜。 6、配备有2.5英寸，3英寸，4英寸，5英寸四种掩模吸盘。 7、配备真空泵，22英寸的液晶监视器。 8、承片台含ф15mm、2.5英寸，3英寸，4英寸四种规格。 9、对提供产品实行*年质保期和永久的跟踪维护服务。 10、设备技术响应时间在2小时内，现场技术支持响应时间在24小时内，72小时内排除设备故障。 |
| 售后服务 | (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2022-10-09 16:50:20
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