品牌

LAURELL、SPS、Ramgraber

型号

WS-650Hz-8NPPB、SPIN200i、M-Spin200

技术规格及参数

1． 系统概述1.1智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；1.3 *设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4通信接口，蓝牙连接1.5双向马达，可正反转2． 处理腔体2.1处理腔体内径不小于12.5英寸 (318毫米)；2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-200mm直径的材料，方片175x175mm，无需更换片托；2.3腔体具有易清洁的NPP天然聚*烯材质；3． 旋转马达3.1转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；4． 控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；4.2配有高精度PLC可编程的控制器 4.3可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；4.4带自动晶圆去边装置；5． 配套泵浦5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；6． 系统附件6.1 免费赠送基于Windows的操作软件；6.2原装进口水平测试仪；6.3两袋密封圈；6.4 配有两套可更换的废液接收单元；6.5带晶圆中心对准工具适合直径100/125/150/200mm圆片居中6.6配备适合2/4/6/8英寸超薄或软性基底的定制型蜂窝托盘

售后及质保要求

1.交货期的要求：签订合同后【60】天内，具体时间根据学校要求提前天【7】通知送货。
2.质保期：合格代理商免费质保【*】年。
3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【4】小时内响应，【72】小时内派员上门现场维护，并在【96】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

品牌

LAURELL、SPS、Ramgraber

型号

WS-650Hz-8NPPB、SPIN200i、M-Spin200

技术规格及参数

1． 系统概述1.1智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；1.3 *设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4通信接口，蓝牙连接1.5双向马达，可正反转2． 处理腔体2.1处理腔体内径不小于12.5英寸 (318毫米)；2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-200mm直径的材料，方片175x175mm，无需更换片托；2.3腔体具有易清洁的NPP天然聚*烯材质；3． 旋转马达3.1转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；4． 控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；4.2配有高精度PLC可编程的控制器 4.3可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；4.4带自动晶圆去边装置；5． 配套泵浦5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；6． 系统附件6.1 免费赠送基于Windows的操作软件；6.2原装进口水平测试仪；6.3两袋密封圈；6.4 配有两套可更换的废液接收单元；6.5带晶圆中心对准工具适合直径100/125/150/200mm圆片居中6.6配备适合2/4/6/8英寸超薄或软性基底的定制型蜂窝托盘

售后及质保要求

1.交货期的要求：签订合同后【60】天内，具体时间根据学校要求提前天【7】通知送货。
2.质保期：合格代理商免费质保【*】年。
3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【4】小时内响应，【72】小时内派员上门现场维护，并在【96】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。