一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：FJLYCGCS*

原公告的采购项目名称：年产*片二氧化硅复合衬底技改项目PECVD设备采购项目

二、更正信息

更正事项：

1、（一）基本指标及配置要求?1、的☆（5）载台温度范围：RT~400℃?修改为：载台温度范围：RT~350℃；
????2、（一）基本指标及配置要求★3、气体系统：供应工艺气体，包括 MFC、过滤器、气动阀等?Gas3 PN2 流量3000-5000sccm?修改为?：3000-*sccm；
???其余要求不变

三、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系

???1、采购单位： (略) ，联系办法：

联系人：孔先生 电话：0597-*

地址： (略) 永定区高陂镇高新园区邮编：*

???2、招标代理机构： (略) 公物 (略)

地址： (略) 新罗区龙岩大道388号万宝广场B地 (略) (略) 8层（浦发银行楼上）

联系人及电话：李先生0597-*

3.项目联系方式

项目联系人：李先生

电　 话：0597-*

(略) 公物 (略)

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：FJLYCGCS*

原公告的采购项目名称：年产*片二氧化硅复合衬底技改项目PECVD设备采购项目

二、更正信息

更正事项：

1、（一）基本指标及配置要求?1、的☆（5）载台温度范围：RT~400℃?修改为：载台温度范围：RT~350℃；
????2、（一）基本指标及配置要求★3、气体系统：供应工艺气体，包括 MFC、过滤器、气动阀等?Gas3 PN2 流量3000-5000sccm?修改为?：3000-*sccm；
???其余要求不变

三、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系

???1、采购单位： (略) ，联系办法：

联系人：孔先生 电话：0597-*

地址： (略) 永定区高陂镇高新园区邮编：*

???2、招标代理机构： (略) 公物 (略)

地址： (略) 新罗区龙岩大道388号万宝广场B地 (略) (略) 8层（浦发银行楼上）

联系人及电话：李先生0597-*

3.项目联系方式

项目联系人：李先生

电　 话：0597-*

(略) 公物 (略)