京东方重庆第6代AMOLED(柔性)生产线项目国际招标澄清或变更公告(2)-4197-214BOECQ0001/189
京东方重庆第6代AMOLED(柔性)生产线项目国际招标澄清或变更公告(2)-4197-214BOECQ0001/189
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-214BOECQ0001/189 | 干法刻蚀机 | 1套 | 设备用途及基本要求本系统主要用于G6 Half (2 IN 1)玻璃面板的柔性AMOLED干法刻蚀工艺,干法刻蚀机的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、射频发生器、气体质量流量控制器、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY*/USD1650 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-214BOECQ0001/189 | 干法刻蚀机 | 1套 | 设备用途及基本要求本系统主要用于G6 Half (2 IN 1)玻璃面板的柔性AMOLED干法刻蚀工艺,干法刻蚀机的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、射频发生器、气体质量流量控制器、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY*/USD1650 |
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