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(略) (略) 系统优化升级项目采购项目十六标段：材料成型
与检测实验室场发射扫描电子显微镜设备采购(智能制造园)变更补充说明
一
招标编号：AC-ZC*

一内容：
(略) (略) 系统优化升级项目采购项目
变更补充说明一
一项目名称： (略) (略) 系统优化升级项目采购项目
二招标人： (略)
三代理机构： (略)
联系人：朱海礴 电话：0951-* *
四变更事项
4.1 原招标文件
十六标段：材料成型与检测实验室场发射扫描电子显微镜设备采购(智能制造园)
第二章供应商须知前附表第 9 款：
9 项目预算金额 * 元最高限价：* 元。
现变更为
9 项目预算金额 * 元最高限价：* 元。
4.2 原招标文件
第四章项目说明和采购需求 1技术需求
序号 设备名称 型号及描述 数量 单位
1 场发射扫描电子显微镜 一运行环境
1.1 工作温度： 可以在 25-25环境温度工作。
1.2 相对湿度：湿度小于 60%RH 时正常工作。
1.3 工作电压：在 220V10%50Hz 电压下。仪器可连续使用。
二技术参数：
1.电子光学系统
1.1 发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤自动启动SmartAlign 智能自动
电子枪对中。
1.2 分辨率：0.9 nm 15kV1.0 nm1kV 1.2 nm 500V。
1.3 电压范围：20V 30kV最小可达每档 1V 连续可调。
1.4 探针电流范围：1pA 50nA，连续可调。
1.5 物镜系统
1.5.1 几何结构：60几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热
功能。
1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率。
1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析。
1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式 (略) 。
1.7 自动调整功能：自动电子枪对中FLASH 自动聚焦消像散具有聚焦补偿动态聚焦
旋转补偿倾斜补偿功能DFCI 自动漂移补偿帧积分。
1.8 具有自加热自清洁功能的 15 孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成
本。
1.9 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后
期使用成本。
2.样品室和样品台
2.1 样品室内部空间：从左至右为 340mm 宽的大存储空间。
2.2 样品室可拓展接口数量：12 个，含能谱仪接口 3 个其中 2 个处于 180对角位置。
2.3EDS 与 EBSD 具有几何共面结构。
2.4EDS 分析工作距离：10mm满足 X-Ray 出射角 35。
2.5 样品台
2.5.1 类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台。
2.5.2 样品装配方式：抽屉式拉门。
2.5.3 移动范围：X110 mm,Y110 mm, Z65 mm,T-1590,Rn360 连续旋转。
2.5.4 样品台具有接触报警与自动停止功能。
2.5.5 多功能样品台：
1 多用途 SEM 样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座12mm。
2具有剖面样品台和三个预倾斜样品台。
2.6 最大样品尺寸：直径不低于 200mm。
2.7 样品台承重：5Kg。
3.探测器系统
3.1 样品室二次电子探测器 ETD。
3.2 镜筒内正光轴背散射电子探测器 T1。
3.3 镜筒内正光轴二次电子探测器 T2高分辨成像探测器。
3.4 样品室内 IR-CCD 红外相机观察样品台高度。
3.5 可用于图像导航的彩色光学相机 Nav-Cam。
4.真空系统
4.1 真空泵组成：2 个离子吸附泵。
1 个 250 l/s 分子涡轮泵，1 个机械泵。
4.2 离子泵专用备用电源
4.4 样品室抽真空时间：3.5min。
5.图像处理
5.1 光栅扫描：电子束驻留时间 25ns 至 25ms/像素。
5.2 智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分线积分和平均法隔行扫描漂移补偿帧积
分。
5.3 扫描方式：正常扫描缩小光栅定点线扫描扫描旋转倾斜校正。
5.4 拍摄一次获取单帧图像最大存储分辨率：最大 65k 65k 像素。
5.5 图像记录格式：TIFFBMP 或 JPEG。
6.控制系统
6.1 操作系统：Windows 10。
6.2 图像显示：24 寸 LCD 显示器，最高显示分辨率 *。
6.3 支持用户自定义的 GUI，可同时实时显示 4 幅图像。
6.4 软件支持 Undo 和 Redo 功能。
6.5User Guidance用户操作工作流提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程
指导，降低设备应用门槛。
6.6 蒙太奇图像导航
6.7Maps 软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件放大倍率信号等，软件控制 SEM
进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接。
7能谱仪：探测器有效面积不低于 40mm。
7.1 能量探测器：电制冷硅漂移探测器SDD。
7.2 探测器定位：探测器由马达控制精确定位，软件可控，能够实时监测和控制采集计数率，
保证不同样品的数据重复性和测试条件重复性的目的。
7.3 能量分辨率：Mn K 优于 127eV，C Ka 优于 50eV，F Ka 优于 60eV。
7.5 元素分析范围：至少为 Be4U92。
7.6 谱峰稳定性：分辨率变化在 1eV 以内，48 小时内峰位漂移小于 1.5eV。
7.7 计数率：输出最大计数率大于 800,000CPS，可处理最大计数率大于 1,500,000CPS。
7.8 具有轻元素定量分析和修正功能，可对 BeBCN 等进行浓度定量检测以及修正。
7.9采集界面：采用32位和64位双系统，采集界面方便简单，智能化设定参数，兼容原有 EBSD
数据，能实现能谱的采集与定量分析线扫描及全息面扫描，包含常规面分布定量面分布
和快速面分布快速智能面分布等。
7.10 定性分析：具备点线面扫描分析功能，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并
具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法，能够分析夹杂和偏析等微量元素和微
量相。
7.11 定量分析：采用最先进的修正技术和虚拟标样数据库，系统能够自动有效修正元素之
间的相互吸收，可对抛光表面或粗糙表面进行点线和面的分析，谱峰稳定，数据重现性好，
不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法，且可以得到高级的非归一化定量结
果，各元素定量误差没有相互干扰，数据格式可以和电子探针等高级分析方式的数据直接对
应。
7.12 智能软件系统：中英文任意切换的软件界面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和
控制电镜参数，完整的离线能谱分析软件，具备实时跟踪能力和智能定性，定量分析能力，
自动漂移校正。
7.13 低电压分析：在电镜低电压条件下能正常分析，3KV 下可获取轻元素的定性定量信息，
5KV 下具备虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析。
7.14 系统可靠性：采用独立的图像采集处理器和波形采集处理器，各自独立封装，防止集
成式设计存在的故障可能点多更换零部件成本高的问题。
7.15 计算机：原装工作站，CPU 四核，主频高于 3 GHz，三级缓存不小于 8M，内存 32G，硬
盘 500G2，可实时备份，24 LCD 显示器，可刻录 DVD 光驱。
7.16 配有彩色激光打印机
7.17 与电镜操作台一体化风格的原装进口实验台。
8配套设备
8.1 数据处理计算机一台，要求 CPU 主频高于 8 GHz，内存大于 12G，硬盘容量大于 500G，可
刻录 DVD 光驱，24 LCD 显示器，操作系统采用 Microsoft Windows 10 系统。
8.2 离子溅射仪
8.2.1 Cressington 108Auto 全自动离子溅射仪 1 套
8.2.2 靶材为铂金
8.2.3 可镀最大样品直径大于 60mm
8.2.4 镀金速率大于 30nm/min
8.2.5 镀金颗粒小，镀层均匀
8.3 电解抛光仪
8.3.1 进口品牌电解抛光仪 1 套
8.3.2 输出电压：0100V
8.3.3 输出电流：020A
8.3.4 温度范围：室温400，可恒温控制
8.3.5 可恒流和恒压操作，负载调解率 0.01%
8.3.6 稳定度：电压 0.02%，电压偏移 1mV，电流 0.1%
8.4 UPS 稳压保护电源 1 套，整机供电不低于 2h，电子枪系统供电不低于 200h。
8.5 备用场发射灯丝系统 1 套灯丝光阑
8.6 空气压缩机 1 台
8.7 冷却循环水机 1 台
8.8 带除湿功能的空调一部 1 套
现变更为
序号 设备名称 型号及描述 数量 单位
1 场发射扫描电子显微镜 一运行环境
1.1 工作温度： 可以在 25-25环境温度工作
1.2 相对湿度：湿度小于 60%RH 时正常工作
1.3 工作电压：在 220V10%50Hz 电压下。仪器可连续使用
二技术参数：
1.电子光学系统
1.1 发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤自动启动SmartAlign 智能自动
电子枪对中
1.2 分辨率：0.9 nm 15kV1.0 nm1kV 1.2 nm 500V
1.3 电压范围：20V 30kV最小可达每档 1V 连续可调
1.4 探针电流范围：1pA 50nA，连续可调
1.5 物镜系统
1.5.1 几何结构：60几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热
功能
1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率
1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析
1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式 (略)
1.7 自动调整功能：自动电子枪对中FLASH 自动聚焦消像散具有聚焦补偿动态聚焦
旋转补偿倾斜补偿功能DFCI 自动漂移补偿帧积分
1.8 具有自加热自清洁功能的 15 孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成
本
1.9 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后
期使用成本
2.样品室和样品台
2.1 样品室内部空间：从左至右为 340mm 宽的大存储空间
2.2 样品室可拓展接口数量：12 个，含能谱仪接口 3 个其中 2 个处于 180对角位置
2.3EDS 与 EBSD 具有几何共面结构
2.4EDS 分析工作距离：10mm满足 X-Ray 出射角 35
2.5 样品台
2.5.1 类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台
2.5.2 样品装配方式：抽屉式拉门
2.5.3 移动范围：X110 mm,Y110 mm, Z65 mm,T-1590,Rn360 连续旋转
2.5.4 样品台具有接触报警与自动停止功能
2.5.5 多功能样品台：
多用途 SEM 样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座12mm
具有剖面样品台和三个预倾斜样品台
2.6 最大样品尺寸：直径不低于 200mm
2.7 样品台承重：5Kg
3.探测器系统
3.1 样品室二次电子探测器 ETD
3.2 镜筒内正光轴背散射电子探测器 T1
3.3 镜筒内正光轴二次电子探测器 T2高分辨成像探测器
3.4 样品室内 IR-CCD 红外相机观察样品台高度
3.5 可用于图像导航的彩色光学相机 Nav-Cam
4.真空系统
4.1 真空泵组成：2 个离子吸附泵
1 个 250 l/s 分子涡轮泵
1 个机械泵
4.2 离子泵专用备用电源
4.4 样品室抽真空时间：3.5min
5.图像处理
5.1 光栅扫描：电子束驻留时间 25ns 至 25ms/像素
5.2 智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分线积分和平均法隔行扫描漂移补偿帧积
分
5.3 扫描方式：正常扫描缩小光栅定点线扫描扫描旋转倾斜校正
5.4 拍摄一次获取单帧
二监督部门
本招标项目的监督部门为 (略) 。
三联系方式
招 标 人： (略)
地 址：隆湖大道与山水大道
联 系 人：任慧生
电 话：*
电子邮件：*qq.com
招标代理机构： (略)
地 址： 贺兰县虹桥 (略) 交汇处金泰华府 C 区 9 号楼三层
联 系 人： 朱海礴
电 话： *
电子邮件： anchengnx163.com
招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人： 签名

招标人或其招标代理机构： 盖章
详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
(略) (略) 系统优化升级项目采购项目十六标段：材料成型
与检测实验室场发射扫描电子显微镜设备采购(智能制造园)变更补充说明
一
招标编号：AC-ZC*

一内容：
(略) (略) 系统优化升级项目采购项目
变更补充说明一
一项目名称： (略) (略) 系统优化升级项目采购项目
二招标人： (略)
三代理机构： (略)
联系人：朱海礴 电话：0951-* *
四变更事项
4.1 原招标文件
十六标段：材料成型与检测实验室场发射扫描电子显微镜设备采购(智能制造园)
第二章供应商须知前附表第 9 款：
9 项目预算金额 * 元最高限价：* 元。
现变更为
9 项目预算金额 * 元最高限价：* 元。
4.2 原招标文件
第四章项目说明和采购需求 1技术需求
序号 设备名称 型号及描述 数量 单位
1 场发射扫描电子显微镜 一运行环境
1.1 工作温度： 可以在 25-25环境温度工作。
1.2 相对湿度：湿度小于 60%RH 时正常工作。
1.3 工作电压：在 220V10%50Hz 电压下。仪器可连续使用。
二技术参数：
1.电子光学系统
1.1 发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤自动启动SmartAlign 智能自动
电子枪对中。
1.2 分辨率：0.9 nm 15kV1.0 nm1kV 1.2 nm 500V。
1.3 电压范围：20V 30kV最小可达每档 1V 连续可调。
1.4 探针电流范围：1pA 50nA，连续可调。
1.5 物镜系统
1.5.1 几何结构：60几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热
功能。
1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率。
1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析。
1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式 (略) 。
1.7 自动调整功能：自动电子枪对中FLASH 自动聚焦消像散具有聚焦补偿动态聚焦
旋转补偿倾斜补偿功能DFCI 自动漂移补偿帧积分。
1.8 具有自加热自清洁功能的 15 孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成
本。
1.9 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后
期使用成本。
2.样品室和样品台
2.1 样品室内部空间：从左至右为 340mm 宽的大存储空间。
2.2 样品室可拓展接口数量：12 个，含能谱仪接口 3 个其中 2 个处于 180对角位置。
2.3EDS 与 EBSD 具有几何共面结构。
2.4EDS 分析工作距离：10mm满足 X-Ray 出射角 35。
2.5 样品台
2.5.1 类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台。
2.5.2 样品装配方式：抽屉式拉门。
2.5.3 移动范围：X110 mm,Y110 mm, Z65 mm,T-1590,Rn360 连续旋转。
2.5.4 样品台具有接触报警与自动停止功能。
2.5.5 多功能样品台：
1 多用途 SEM 样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座12mm。
2具有剖面样品台和三个预倾斜样品台。
2.6 最大样品尺寸：直径不低于 200mm。
2.7 样品台承重：5Kg。
3.探测器系统
3.1 样品室二次电子探测器 ETD。
3.2 镜筒内正光轴背散射电子探测器 T1。
3.3 镜筒内正光轴二次电子探测器 T2高分辨成像探测器。
3.4 样品室内 IR-CCD 红外相机观察样品台高度。
3.5 可用于图像导航的彩色光学相机 Nav-Cam。
4.真空系统
4.1 真空泵组成：2 个离子吸附泵。
1 个 250 l/s 分子涡轮泵，1 个机械泵。
4.2 离子泵专用备用电源
4.4 样品室抽真空时间：3.5min。
5.图像处理
5.1 光栅扫描：电子束驻留时间 25ns 至 25ms/像素。
5.2 智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分线积分和平均法隔行扫描漂移补偿帧积
分。
5.3 扫描方式：正常扫描缩小光栅定点线扫描扫描旋转倾斜校正。
5.4 拍摄一次获取单帧图像最大存储分辨率：最大 65k 65k 像素。
5.5 图像记录格式：TIFFBMP 或 JPEG。
6.控制系统
6.1 操作系统：Windows 10。
6.2 图像显示：24 寸 LCD 显示器，最高显示分辨率 *。
6.3 支持用户自定义的 GUI，可同时实时显示 4 幅图像。
6.4 软件支持 Undo 和 Redo 功能。
6.5User Guidance用户操作工作流提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程
指导，降低设备应用门槛。
6.6 蒙太奇图像导航
6.7Maps 软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件放大倍率信号等，软件控制 SEM
进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接。
7能谱仪：探测器有效面积不低于 40mm。
7.1 能量探测器：电制冷硅漂移探测器SDD。
7.2 探测器定位：探测器由马达控制精确定位，软件可控，能够实时监测和控制采集计数率，
保证不同样品的数据重复性和测试条件重复性的目的。
7.3 能量分辨率：Mn K 优于 127eV，C Ka 优于 50eV，F Ka 优于 60eV。
7.5 元素分析范围：至少为 Be4U92。
7.6 谱峰稳定性：分辨率变化在 1eV 以内，48 小时内峰位漂移小于 1.5eV。
7.7 计数率：输出最大计数率大于 800,000CPS，可处理最大计数率大于 1,500,000CPS。
7.8 具有轻元素定量分析和修正功能，可对 BeBCN 等进行浓度定量检测以及修正。
7.9采集界面：采用32位和64位双系统，采集界面方便简单，智能化设定参数，兼容原有 EBSD
数据，能实现能谱的采集与定量分析线扫描及全息面扫描，包含常规面分布定量面分布
和快速面分布快速智能面分布等。
7.10 定性分析：具备点线面扫描分析功能，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并
具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法，能够分析夹杂和偏析等微量元素和微
量相。
7.11 定量分析：采用最先进的修正技术和虚拟标样数据库，系统能够自动有效修正元素之
间的相互吸收，可对抛光表面或粗糙表面进行点线和面的分析，谱峰稳定，数据重现性好，
不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法，且可以得到高级的非归一化定量结
果，各元素定量误差没有相互干扰，数据格式可以和电子探针等高级分析方式的数据直接对
应。
7.12 智能软件系统：中英文任意切换的软件界面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和
控制电镜参数，完整的离线能谱分析软件，具备实时跟踪能力和智能定性，定量分析能力，
自动漂移校正。
7.13 低电压分析：在电镜低电压条件下能正常分析，3KV 下可获取轻元素的定性定量信息，
5KV 下具备虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析。
7.14 系统可靠性：采用独立的图像采集处理器和波形采集处理器，各自独立封装，防止集
成式设计存在的故障可能点多更换零部件成本高的问题。
7.15 计算机：原装工作站，CPU 四核，主频高于 3 GHz，三级缓存不小于 8M，内存 32G，硬
盘 500G2，可实时备份，24 LCD 显示器，可刻录 DVD 光驱。
7.16 配有彩色激光打印机
7.17 与电镜操作台一体化风格的原装进口实验台。
8配套设备
8.1 数据处理计算机一台，要求 CPU 主频高于 8 GHz，内存大于 12G，硬盘容量大于 500G，可
刻录 DVD 光驱，24 LCD 显示器，操作系统采用 Microsoft Windows 10 系统。
8.2 离子溅射仪
8.2.1 Cressington 108Auto 全自动离子溅射仪 1 套
8.2.2 靶材为铂金
8.2.3 可镀最大样品直径大于 60mm
8.2.4 镀金速率大于 30nm/min
8.2.5 镀金颗粒小，镀层均匀
8.3 电解抛光仪
8.3.1 进口品牌电解抛光仪 1 套
8.3.2 输出电压：0100V
8.3.3 输出电流：020A
8.3.4 温度范围：室温400，可恒温控制
8.3.5 可恒流和恒压操作，负载调解率 0.01%
8.3.6 稳定度：电压 0.02%，电压偏移 1mV，电流 0.1%
8.4 UPS 稳压保护电源 1 套，整机供电不低于 2h，电子枪系统供电不低于 200h。
8.5 备用场发射灯丝系统 1 套灯丝光阑
8.6 空气压缩机 1 台
8.7 冷却循环水机 1 台
8.8 带除湿功能的空调一部 1 套
现变更为
序号 设备名称 型号及描述 数量 单位
1 场发射扫描电子显微镜 一运行环境
1.1 工作温度： 可以在 25-25环境温度工作
1.2 相对湿度：湿度小于 60%RH 时正常工作
1.3 工作电压：在 220V10%50Hz 电压下。仪器可连续使用
二技术参数：
1.电子光学系统
1.1 发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤自动启动SmartAlign 智能自动
电子枪对中
1.2 分辨率：0.9 nm 15kV1.0 nm1kV 1.2 nm 500V
1.3 电压范围：20V 30kV最小可达每档 1V 连续可调
1.4 探针电流范围：1pA 50nA，连续可调
1.5 物镜系统
1.5.1 几何结构：60几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热
功能
1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率
1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析
1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式 (略)
1.7 自动调整功能：自动电子枪对中FLASH 自动聚焦消像散具有聚焦补偿动态聚焦
旋转补偿倾斜补偿功能DFCI 自动漂移补偿帧积分
1.8 具有自加热自清洁功能的 15 孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成
本
1.9 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后
期使用成本
2.样品室和样品台
2.1 样品室内部空间：从左至右为 340mm 宽的大存储空间
2.2 样品室可拓展接口数量：12 个，含能谱仪接口 3 个其中 2 个处于 180对角位置
2.3EDS 与 EBSD 具有几何共面结构
2.4EDS 分析工作距离：10mm满足 X-Ray 出射角 35
2.5 样品台
2.5.1 类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台
2.5.2 样品装配方式：抽屉式拉门
2.5.3 移动范围：X110 mm,Y110 mm, Z65 mm,T-1590,Rn360 连续旋转
2.5.4 样品台具有接触报警与自动停止功能
2.5.5 多功能样品台：
多用途 SEM 样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座12mm
具有剖面样品台和三个预倾斜样品台
2.6 最大样品尺寸：直径不低于 200mm
2.7 样品台承重：5Kg
3.探测器系统
3.1 样品室二次电子探测器 ETD
3.2 镜筒内正光轴背散射电子探测器 T1
3.3 镜筒内正光轴二次电子探测器 T2高分辨成像探测器
3.4 样品室内 IR-CCD 红外相机观察样品台高度
3.5 可用于图像导航的彩色光学相机 Nav-Cam
4.真空系统
4.1 真空泵组成：2 个离子吸附泵
1 个 250 l/s 分子涡轮泵
1 个机械泵
4.2 离子泵专用备用电源
4.4 样品室抽真空时间：3.5min
5.图像处理
5.1 光栅扫描：电子束驻留时间 25ns 至 25ms/像素
5.2 智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分线积分和平均法隔行扫描漂移补偿帧积
分
5.3 扫描方式：正常扫描缩小光栅定点线扫描扫描旋转倾斜校正
5.4 拍摄一次获取单帧
二监督部门
本招标项目的监督部门为 (略) 。
三联系方式
招 标 人： (略)
地 址：隆湖大道与山水大道
联 系 人：任慧生
电 话：*
电子邮件：*qq.com
招标代理机构： (略)
地 址： 贺兰县虹桥 (略) 交汇处金泰华府 C 区 9 号楼三层
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