中山大学绿色化学与工程研究中心超高真空磁控溅射系统采购项目（项目编号：中大招（货）[2022]501号/1210-2241YDZB5464）更正公告
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中山大学绿色化学与工程研究中心超高真空磁控溅射系统采购项目（项目编号：中大招（货）[2022]501号/1210-2241YDZB5464）更正公告
发布时间：2022-11-145
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：中大招（货）[2022]501号/1210-2241YDZB5464
原公告的采购项目名称：中山大学绿色化学与工程研究中心超高真空磁控溅射系统采购项目
首次公告日期：2022年10月28日
二、更正信息
更正事项：?采购公告?采购文件□采购结果
更正内容：
1、中国 (略) 及广东 (略) 网站发布的招标公告中项目概况“…，并于2022年11月18日15点00分（北京时间）前递交投标文件。”更正为“…，并于2022年11月30日09点30分（北京时间）前递交投标文件。”
2、招标公告和招标文件中涉及的投标截止时间（提交投标文件截止时间）和开标时间“2022年11月18日15点00分（北京时间）”统一更正为“2022年11月30日09点30分（北京时间）”。
3、招标公告和招标文件中涉及的投标文件解密时间“2022年11月18日15:00至11月18日15:30（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）”统一更正为“2022年11月30日9:30至11月30日10:00（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）”。
4、招标文件第二部分用户需求书中参数修改如下：
序号 | 技术指标及要求（修改前） | 技术指标及要求（修改后） |
1 | 1、设备包含进样室和沉积室 ▲1.1.沉积室可安装不少于8个2英寸的溅射靶实现共沉积； ▲1.2．沉积室极限真空优于5×10-6Pa； ▲1.3.进样室极限真空优于6.7×10-5Pa； 1.4.进样室可存储不少于4个4寸样品。 | 1、设备包含进样室和沉积室： ▲1.1.沉积室可安装不少于8个2英寸的溅射靶实现共沉积； ▲1.2.沉积室极限真空优于5×10-6Pa（O圈密封） ▲1.3.沉积室采用上法兰电动升降旋转打开模式来更换靶枪和清洁腔体。 ▲1.4.进样室极限真空优于6.7×10-5Pa； 1.5.进样室可存储不少于4个4寸样品。 |
2 | ▲2、样品架最高加热温度不低于 800℃，能够在水平面内实现360 度自转，转速不小于20RPM。 | ▲2、样品架最高加热温度不低于1000℃，可在氧气氛围中工作，控温精度±0.1℃,能够在水平面内实现360度自转，转速不小于20RPM，样品台带挡板。 |
3 | 3、沉积室靶枪配置 ▲3.1沉积室不少于6个2寸靶；沉积室靶枪与样品台距离的调节范围不低于10 cm；； ▲3.2沉积室至少有2个强磁靶。 | 3、沉积室靶枪配置 ▲3.1沉积室配置8个配有挡板的2寸靶枪，沉积室靶枪与样品台距离的调节范围不低于250px； ▲3.2沉积室有3个强磁靶。 |
4 | 4、溅射电源配置： ▲4.1直流电源数量2个，可同时连接≧4个靶枪，功率不小于500W； 4.2射频电源数量1个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于500W. | 4、溅射电源配置： ▲4.1直流电源数量2个，可同时连接≧4个靶枪，功率不小于500W； 4.2射频电源数量2个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于300W； |
5 | ★6、沉积的均匀性优于±2.5%(4寸范围，100nm涂层)，可用于制备巨磁阻传感器，中间3英寸区域的[Py(1.5nm)/Cu(2.3nm)]30/Py(1.5nm)]多层薄膜的GMR值优于10% | ★6、沉积的均匀性优于±2.5%(4寸范围，100nm涂层)，可用于制备巨磁阻传感器，中间3英寸区域的[Py(1.5?nm)/Cu(2.3?nm)]30/Py(1.5?nm)]多层薄膜的GMR值优于10%；供应商提供测试用的Cu靶材和Py靶材。 |
6 | ▲7、相同程序，沉积涂层的厚度误差不超过±2%； | ★7、相同程序，沉积涂层的厚度误差不超过±2%（4寸范围，100nm涂层）； |
7 | 三、配置清单 3、磁控阴极不少于6套； 4、射频电源1套； | 三、配置清单 3、磁控阴极8套； 4、射频电源2套； |
8 | 四、商务条款 1、整机保修1年，自仪器安装、调试、验收通过之日起免费保修1年，免费项目包括人工费用、检修更换的标准品、易损件以及耗材费用。 | 四、商务条款 1、整机保修3年，自仪器安装、调试、验收通过之日起免费保修3年，免费项目包括人工费用、检修更换的标准品、易损件以及耗材费用。 |
5、招标文件第四部分商务部分评分序号3修改如下：
序号 | 评分项（修改前） | 评分项（修改后） |
1 | 货物免费保修年限满足招标文件要求（1年）的得4分，每增加一年免费保修年限加2分，本项最高不超过8分。 | 货物免费保修年限满足招标文件要求（3年）的得4分，每增加一年免费保修年限加2分，本项最高不超过8分。 |
更正日期：2022年11月14日
三、其他补充事宜：
原招标公告和招标文件与更正公告有矛盾的地方，以此更正公告为准，其他内容不变。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1、采购人信息
名称：中山大学
地址： (略) 海珠 (略) 135号
联系方式：郑老师，020－*转810
2、采购代理机构信息
名称：广东 (略)
地 址： (略) (略) 626号保利中宇广场A座25楼
联系方式：邓水灵，020-*
3、项目联系方式
项目联系人：邓水灵
电 话：020-*
广东 (略)
2022年11月14日
发布时间：2022-11-145
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：中大招（货）[2022]501号/1210-2241YDZB5464
原公告的采购项目名称：中山大学绿色化学与工程研究中心超高真空磁控溅射系统采购项目
首次公告日期：2022年10月28日
二、更正信息
更正事项：?采购公告?采购文件□采购结果
更正内容：
1、中国 (略) 及广东 (略) 网站发布的招标公告中项目概况“…，并于2022年11月18日15点00分（北京时间）前递交投标文件。”更正为“…，并于2022年11月30日09点30分（北京时间）前递交投标文件。”
2、招标公告和招标文件中涉及的投标截止时间（提交投标文件截止时间）和开标时间“2022年11月18日15点00分（北京时间）”统一更正为“2022年11月30日09点30分（北京时间）”。
3、招标公告和招标文件中涉及的投标文件解密时间“2022年11月18日15:00至11月18日15:30（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）”统一更正为“2022年11月30日9:30至11月30日10:00（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）”。
4、招标文件第二部分用户需求书中参数修改如下：
序号 | 技术指标及要求（修改前） | 技术指标及要求（修改后） |
1 | 1、设备包含进样室和沉积室 ▲1.1.沉积室可安装不少于8个2英寸的溅射靶实现共沉积； ▲1.2．沉积室极限真空优于5×10-6Pa； ▲1.3.进样室极限真空优于6.7×10-5Pa； 1.4.进样室可存储不少于4个4寸样品。 | 1、设备包含进样室和沉积室： ▲1.1.沉积室可安装不少于8个2英寸的溅射靶实现共沉积； ▲1.2.沉积室极限真空优于5×10-6Pa（O圈密封） ▲1.3.沉积室采用上法兰电动升降旋转打开模式来更换靶枪和清洁腔体。 ▲1.4.进样室极限真空优于6.7×10-5Pa； 1.5.进样室可存储不少于4个4寸样品。 |
2 | ▲2、样品架最高加热温度不低于 800℃，能够在水平面内实现360 度自转，转速不小于20RPM。 | ▲2、样品架最高加热温度不低于1000℃，可在氧气氛围中工作，控温精度±0.1℃,能够在水平面内实现360度自转，转速不小于20RPM，样品台带挡板。 |
3 | 3、沉积室靶枪配置 ▲3.1沉积室不少于6个2寸靶；沉积室靶枪与样品台距离的调节范围不低于10 cm；； ▲3.2沉积室至少有2个强磁靶。 | 3、沉积室靶枪配置 ▲3.1沉积室配置8个配有挡板的2寸靶枪，沉积室靶枪与样品台距离的调节范围不低于250px； ▲3.2沉积室有3个强磁靶。 |
4 | 4、溅射电源配置： ▲4.1直流电源数量2个，可同时连接≧4个靶枪，功率不小于500W； 4.2射频电源数量1个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于500W. | 4、溅射电源配置： ▲4.1直流电源数量2个，可同时连接≧4个靶枪，功率不小于500W； 4.2射频电源数量2个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于300W； |
5 | ★6、沉积的均匀性优于±2.5%(4寸范围，100nm涂层)，可用于制备巨磁阻传感器，中间3英寸区域的[Py(1.5nm)/Cu(2.3nm)]30/Py(1.5nm)]多层薄膜的GMR值优于10% | ★6、沉积的均匀性优于±2.5%(4寸范围，100nm涂层)，可用于制备巨磁阻传感器，中间3英寸区域的[Py(1.5?nm)/Cu(2.3?nm)]30/Py(1.5?nm)]多层薄膜的GMR值优于10%；供应商提供测试用的Cu靶材和Py靶材。 |
6 | ▲7、相同程序，沉积涂层的厚度误差不超过±2%； | ★7、相同程序，沉积涂层的厚度误差不超过±2%（4寸范围，100nm涂层）； |
7 | 三、配置清单 3、磁控阴极不少于6套； 4、射频电源1套； | 三、配置清单 3、磁控阴极8套； 4、射频电源2套； |
8 | 四、商务条款 1、整机保修1年，自仪器安装、调试、验收通过之日起免费保修1年，免费项目包括人工费用、检修更换的标准品、易损件以及耗材费用。 | 四、商务条款 1、整机保修3年，自仪器安装、调试、验收通过之日起免费保修3年，免费项目包括人工费用、检修更换的标准品、易损件以及耗材费用。 |
5、招标文件第四部分商务部分评分序号3修改如下：
序号 | 评分项（修改前） | 评分项（修改后） |
1 | 货物免费保修年限满足招标文件要求（1年）的得4分，每增加一年免费保修年限加2分，本项最高不超过8分。 | 货物免费保修年限满足招标文件要求（3年）的得4分，每增加一年免费保修年限加2分，本项最高不超过8分。 |
更正日期：2022年11月14日
三、其他补充事宜：
原招标公告和招标文件与更正公告有矛盾的地方，以此更正公告为准，其他内容不变。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1、采购人信息
名称：中山大学
地址： (略) 海珠 (略) 135号
联系方式：郑老师，020－*转810
2、采购代理机构信息
名称：广东 (略)
地 址： (略) (略) 626号保利中宇广场A座25楼
联系方式：邓水灵，020-*
3、项目联系方式
项目联系人：邓水灵
电 话：020-*
广东 (略)
2022年11月14日
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