采购项目名称：气体压力和流量控制系统
采购单位： (略) 清华大学
付款方式：合同签订后付款50%,验收合格后一周付尾款50%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后180个工作日
交货地址： (略) 清华大学
技术参数及配置要求：气体压力和流量控制系统的主要技术指标：(1) 装置设计压力：15.0MPa，最高使用压力：12.0MPa； (2) 气体进料：2路，N2、H2，由BROOKS气体质量流量控制器控制；(3) 反应总气体量：≤1L/min，各气体质量流量控制器； (4) 控压方式：高温双级控压系统。
质保期：12个月

采购项目名称：气体压力和流量控制系统
采购单位： (略) 清华大学
付款方式：合同签订后付款50%,验收合格后一周付尾款50%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后180个工作日
交货地址： (略) 清华大学
技术参数及配置要求：气体压力和流量控制系统的主要技术指标：(1) 装置设计压力：15.0MPa，最高使用压力：12.0MPa； (2) 气体进料：2路，N2、H2，由BROOKS气体质量流量控制器控制；(3) 反应总气体量：≤1L/min，各气体质量流量控制器； (4) 控压方式：高温双级控压系统。
质保期：12个月