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1

原招标文件-第三章 采购需求-（二）货物需求清单“7、手持三维扫描仪，”技术参数及要求。

详见原招标文件

7 手持三维扫描仪 1、操作模式：采用手持扫描，无须其他机械结构辅助定位，扫描数据可实时在软件视窗内查看；
2、设备扫描形式：不少于2个图像传感器与多组激光结构光发生器构成，采用不低于14束蓝色交叉线激光以及一条单线激光，蓝色交叉线激光扫描范围大速度快；单束线蓝色激光扫描可获取深孔及死角三维数据。最小点距0.05mm，高分辨率展示物体精致细节，可在软件内扫描生成点云或网格数据；
★3、扫描精度：0.02mm；
★4、体积精度：0.02+0.04mm/m；
★5、扫描速度：≥860,000点/秒，在优选配置电脑中数据重建帧率大于70FPS，高频率数据使得采样高效、流畅；
6、扫描范围：≥510mm×520mm；
7、最佳工作距离：450mm（典型值）；
8、扫描景深：300-700mm；
9、使用环境及条件要求：温度-20℃～40℃，湿度10-90%，要求可在日光灯或自然光等室外环境下工作；
10、扫描头安全保障：测头总重量≤750g，便于手持；。
11、提供重返扫描功能，如果扫描区域丢失或工程二次打开，可以从工件上已扫描结构或任何工件上已知的标志点处继续扫描；
★12、移动终端实时显示功能：在扫描过程中，借助移动终端设备，可实现扫描状态在计算机与移动终端的同步分屏显示，实时监测扫描进程，更便利地观察扫描实况；
★13、检测软件节点数量：20个，可满足日常教学要求。
14、检测软件对齐功能：
基本对齐：使用软件时只需要使用初始对齐和最佳对齐，就能自动完成对齐工作。
特征对齐：基准对齐、3-2-1对齐、RPS对齐，根据使用需求利用特征进行精确对齐。
手动对齐：变换对齐，手动调整进行粗略对齐。
15、检测软件偏差分析功能：
整体偏差：从全局分析参考数据和扫描数据之间所有对应点的偏差, 通过生成三维彩色偏差图模型来反映整个工件各部位的偏差情况可以对模型指定区域进行偏差分析，区域可包含单个或多个面片对象。
截面偏差:分析在指定截面处参考数据和扫描数据之间的偏差, 并绘制2D彩色偏差图，通过颜色来直观反映截面处零件各部位的偏差情况。
点偏差:高效计算指定位置处偏差，用户可快速识别问题位置, 评判产品质量，同时可自定义结果显示方式，精确分析偏差在各方向上的分布情况。
定义和修改偏差色谱，包括分段偏差色谱
16、检测软件辅助几何特征。
提供包括定义，拟合，点选等的多种辅助几何体创建方式可通过创建并配对的辅助几何体来实现无参考数据下的对齐、检测功能
17、检测软件GD&T全面支持ANSI/ASME Y14.5 形位公差标准，自动计算GD&T。
18、检测软件尺寸测量功能需求
提供二维及三维下线性尺寸、角度尺寸、径向尺寸的测量标注功能 。
19、检测软件生成报告功能需求
生成详细的检测报告，包含检测数据、多重视图、注释和结果自定义报告书图片,自定义视点控制和视图样式报告自动生成检测报告，包括PPT格式、PDF格式、Word格式。
20、检测软件批量重复检测功能需求
替换扫描数据功能，自动完成重复工作流程，提高设计效率检索指定路径下的文件批量导入，完成自动检测可定制客户需求实现在线自动化，实时监控样件偏差。
21、质保周期：1年。 套 1 工业

2

原招标文件-第三章 采购需求-（二）货物需求清单“9、脉冲激光沉积腔”技术参数及要求。

详见原招标文件

9 脉冲激光沉积腔 ★1、系统的主要组成及技术指标
1.1 极限真空度：≤2.0x10-8Pa (经烘烤除气后)；
1.2 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-9Pa.l/S；
1.3 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-5Pa；
1.4 激光入射口到地面的距离为1200mm；1.5 系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
2.1、溅射真空室组件
真空室采用球型真空室尺寸为Ф450mm，选用不锈钢材料制造，连接处由氩弧焊接，焊后消除应力处理，表面进行抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封。
RF200 法兰接口：1 个（靶组件）；
RF150 法兰接口：2 个（基片样品台组件、活开门组件）；
法兰接口：4 个（激光入射窗口 1 个、红外测温窗口、观察窗口、空 1 个）；
法兰接口：3 个（进气管路、充气阀、备用）；CF150 法兰接口：1 个（接分子泵）；
CF50 法兰接口：1 个（空）；
CF35 法兰接口：3 个；
CF16 法兰接口：3 个；
RF35 法兰接口：2 个(旁抽)；
ZC16 法兰接口：1 个(低真空规管)；
2.2、旋转靶台组件 1 套
每次可以装四块靶材，靶材尺寸：（i）Φ60mm 和（ii）Φ25mm；每块靶材可实现自转，转速 5～120 转/分，连续可调，由电机驱动磁力耦合机构控制；靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制；靶材屏蔽罩将 4 块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；
★2.3、抗氧化基片加热台组件（2套）
基片尺寸：可放置φ2″基片；基片加热最高温度 1200℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化材料作加热器；基片可连续回转，转速 5～120转/分，电机驱动磁耦合机构控制；基片与靶台之间距离30～150mm 可调，由腔外手动波纹管调节机构控制；手动控制样品挡板组件：1 套；样品托：4 个；
2.4、窗口及法兰接口部件 1 套
RF150 带窗活开门：1 套（其上有铰链、锁紧件、RF100 观察窗）；
RF100 石英玻璃窗口：1 块（可透过紫外 248nm 波段的 JGS1 石英玻璃，供激光入射使用）；
RF100 红外石英玻璃窗口：1 块（透过红外波段 JGS3 石英玻璃，供红外测温使用）；RF100 光学玻璃窗口：1 块；CF35 陶瓷封接引线法兰：1 个（照明及内烘烤引线）；盲法兰：RF10、CF16、CF35、CF50、RF100 各 1 个；
CF16 单芯陶瓷封接引线法兰：1 个（高压放电电极）；
室内进气法兰 RF 接管 D6：1 套（其上有 RF10 双面法兰、铜管、D6 卡套、瓷管等）。
2.5、激光束扫描控制系统 1 套，二维扫描机械平台，两套电机控制，也可手动控制；
2.6、工作气路 2 路，100SCCM 质量流量控制器、充气阀 RF16、管路、接头等：1 路（汇博隆）、充气阀 D6、管路、接头等：1 路（解除真空充氮气）
★2.7、抽气机组及阀门、管道 1 套：复合分子泵及变频控制电源：1 台（抽速 1500 升/秒，）；
直联机械泵：1 台（抽速 28 升/秒）；
KF40 电磁压差阀：1 台；
分子泵与机械泵软联接金属软管：1 套；机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40 电磁隔断阀及角阀 RF35：1 套 ；
分子泵与真空室之间的旁抽管路及角阀 KF40：1 套；
CF150-B 闸板阀：1 台（用于分子泵与真空室隔离）；
2.8、安装机台架组件 1 套：安装机台架采用方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；并配有四只脚轮安装，即可固定，又可移动；
2.9、 真空测量及电控系统 1 套：电源机柜：1 台（含总控电源，有断电保护功能）；控制电源：1 台（为机械泵、电磁阀等提供电源）；
产生氧等离子体的电离电源：1 套；
样品加热控温电源：2 套（采用进口产控温表，可实现程序控温）；
电机旋转电源：3 套；
加热烘烤及照明电源：1 套；
2.9.7、宽量程数显真空计：1 套；
测量范围：1.0x107Pa～1.0x10-7Pa。
100SCCM 质量流量显示器：1 套；
激光扫描电源：1 套；
分子泵控制电源：1 套；
2.10、配件 1 套：无氧铜密封垫圈及管路规格及数量如下：CF16：3 个；
CF35：5 个；CF50：1 个；
CF150：2 个；
￠6mm 卡套：4 套；
￠6mm 不锈钢管：6 米；
氟橡胶密封圈：￠200mm：1 个；
￠150mm：1 个；￠100mm：4 个；
烘烤带：3 条；
碘钨灯：5 个；
样品加热丝：3套；
￠100mm 光学玻璃：1 块；
小型不锈钢标件 M3、M4：各 3 个；
电器相关的保险丝：各 10 个。2.11、计算机控制系统 1 套
计算机控制系统由硬件卡、软件组成；计算机由商家提供，计算机参数：屏幕：14英寸，分辨率不低于：2240x1400, CPU主频性能不低于：2.1GHz, CPU性能不低于Intel 酷睿 i7 1260P，内存容量不小于：16GB,重量不大于：1.12Kg。控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫描等控制。 个 1 工业

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原招标文件-第三章 采购需求-（二）货物需求清单“7、手持三维扫描仪，”技术参数及要求。

详见原招标文件

7 手持三维扫描仪 1、操作模式：采用手持扫描，无须其他机械结构辅助定位，扫描数据可实时在软件视窗内查看；
2、设备扫描形式：不少于2个图像传感器与多组激光结构光发生器构成，采用不低于14束蓝色交叉线激光以及一条单线激光，蓝色交叉线激光扫描范围大速度快；单束线蓝色激光扫描可获取深孔及死角三维数据。最小点距0.05mm，高分辨率展示物体精致细节，可在软件内扫描生成点云或网格数据；
★3、扫描精度：0.02mm；
★4、体积精度：0.02+0.04mm/m；
★5、扫描速度：≥860,000点/秒，在优选配置电脑中数据重建帧率大于70FPS，高频率数据使得采样高效、流畅；
6、扫描范围：≥510mm×520mm；
7、最佳工作距离：450mm（典型值）；
8、扫描景深：300-700mm；
9、使用环境及条件要求：温度-20℃～40℃，湿度10-90%，要求可在日光灯或自然光等室外环境下工作；
10、扫描头安全保障：测头总重量≤750g，便于手持；。
11、提供重返扫描功能，如果扫描区域丢失或工程二次打开，可以从工件上已扫描结构或任何工件上已知的标志点处继续扫描；
★12、移动终端实时显示功能：在扫描过程中，借助移动终端设备，可实现扫描状态在计算机与移动终端的同步分屏显示，实时监测扫描进程，更便利地观察扫描实况；
★13、检测软件节点数量：20个，可满足日常教学要求。
14、检测软件对齐功能：
基本对齐：使用软件时只需要使用初始对齐和最佳对齐，就能自动完成对齐工作。
特征对齐：基准对齐、3-2-1对齐、RPS对齐，根据使用需求利用特征进行精确对齐。
手动对齐：变换对齐，手动调整进行粗略对齐。
15、检测软件偏差分析功能：
整体偏差：从全局分析参考数据和扫描数据之间所有对应点的偏差, 通过生成三维彩色偏差图模型来反映整个工件各部位的偏差情况可以对模型指定区域进行偏差分析，区域可包含单个或多个面片对象。
截面偏差:分析在指定截面处参考数据和扫描数据之间的偏差, 并绘制2D彩色偏差图，通过颜色来直观反映截面处零件各部位的偏差情况。
点偏差:高效计算指定位置处偏差，用户可快速识别问题位置, 评判产品质量，同时可自定义结果显示方式，精确分析偏差在各方向上的分布情况。
定义和修改偏差色谱，包括分段偏差色谱
16、检测软件辅助几何特征。
提供包括定义，拟合，点选等的多种辅助几何体创建方式可通过创建并配对的辅助几何体来实现无参考数据下的对齐、检测功能
17、检测软件GD&T全面支持ANSI/ASME Y14.5 形位公差标准，自动计算GD&T。
18、检测软件尺寸测量功能需求
提供二维及三维下线性尺寸、角度尺寸、径向尺寸的测量标注功能 。
19、检测软件生成报告功能需求
生成详细的检测报告，包含检测数据、多重视图、注释和结果自定义报告书图片,自定义视点控制和视图样式报告自动生成检测报告，包括PPT格式、PDF格式、Word格式。
20、检测软件批量重复检测功能需求
替换扫描数据功能，自动完成重复工作流程，提高设计效率检索指定路径下的文件批量导入，完成自动检测可定制客户需求实现在线自动化，实时监控样件偏差。
21、质保周期：1年。 套 1 工业

2

原招标文件-第三章 采购需求-（二）货物需求清单“9、脉冲激光沉积腔”技术参数及要求。

详见原招标文件

9 脉冲激光沉积腔 ★1、系统的主要组成及技术指标
1.1 极限真空度：≤2.0x10-8Pa (经烘烤除气后)；
1.2 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-9Pa.l/S；
1.3 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-5Pa；
1.4 激光入射口到地面的距离为1200mm；1.5 系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
2.1、溅射真空室组件
真空室采用球型真空室尺寸为Ф450mm，选用不锈钢材料制造，连接处由氩弧焊接，焊后消除应力处理，表面进行抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封。
RF200 法兰接口：1 个（靶组件）；
RF150 法兰接口：2 个（基片样品台组件、活开门组件）；
法兰接口：4 个（激光入射窗口 1 个、红外测温窗口、观察窗口、空 1 个）；
法兰接口：3 个（进气管路、充气阀、备用）；CF150 法兰接口：1 个（接分子泵）；
CF50 法兰接口：1 个（空）；
CF35 法兰接口：3 个；
CF16 法兰接口：3 个；
RF35 法兰接口：2 个(旁抽)；
ZC16 法兰接口：1 个(低真空规管)；
2.2、旋转靶台组件 1 套
每次可以装四块靶材，靶材尺寸：（i）Φ60mm 和（ii）Φ25mm；每块靶材可实现自转，转速 5～120 转/分，连续可调，由电机驱动磁力耦合机构控制；靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制；靶材屏蔽罩将 4 块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；
★2.3、抗氧化基片加热台组件（2套）
基片尺寸：可放置φ2″基片；基片加热最高温度 1200℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化材料作加热器；基片可连续回转，转速 5～120转/分，电机驱动磁耦合机构控制；基片与靶台之间距离30～150mm 可调，由腔外手动波纹管调节机构控制；手动控制样品挡板组件：1 套；样品托：4 个；
2.4、窗口及法兰接口部件 1 套
RF150 带窗活开门：1 套（其上有铰链、锁紧件、RF100 观察窗）；
RF100 石英玻璃窗口：1 块（可透过紫外 248nm 波段的 JGS1 石英玻璃，供激光入射使用）；
RF100 红外石英玻璃窗口：1 块（透过红外波段 JGS3 石英玻璃，供红外测温使用）；RF100 光学玻璃窗口：1 块；CF35 陶瓷封接引线法兰：1 个（照明及内烘烤引线）；盲法兰：RF10、CF16、CF35、CF50、RF100 各 1 个；
CF16 单芯陶瓷封接引线法兰：1 个（高压放电电极）；
室内进气法兰 RF 接管 D6：1 套（其上有 RF10 双面法兰、铜管、D6 卡套、瓷管等）。
2.5、激光束扫描控制系统 1 套，二维扫描机械平台，两套电机控制，也可手动控制；
2.6、工作气路 2 路，100SCCM 质量流量控制器、充气阀 RF16、管路、接头等：1 路（汇博隆）、充气阀 D6、管路、接头等：1 路（解除真空充氮气）
★2.7、抽气机组及阀门、管道 1 套：复合分子泵及变频控制电源：1 台（抽速 1500 升/秒，）；
直联机械泵：1 台（抽速 28 升/秒）；
KF40 电磁压差阀：1 台；
分子泵与机械泵软联接金属软管：1 套；机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40 电磁隔断阀及角阀 RF35：1 套 ；
分子泵与真空室之间的旁抽管路及角阀 KF40：1 套；
CF150-B 闸板阀：1 台（用于分子泵与真空室隔离）；
2.8、安装机台架组件 1 套：安装机台架采用方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；并配有四只脚轮安装，即可固定，又可移动；
2.9、 真空测量及电控系统 1 套：电源机柜：1 台（含总控电源，有断电保护功能）；控制电源：1 台（为机械泵、电磁阀等提供电源）；
产生氧等离子体的电离电源：1 套；
样品加热控温电源：2 套（采用进口产控温表，可实现程序控温）；
电机旋转电源：3 套；
加热烘烤及照明电源：1 套；
2.9.7、宽量程数显真空计：1 套；
测量范围：1.0x107Pa～1.0x10-7Pa。
100SCCM 质量流量显示器：1 套；
激光扫描电源：1 套；
分子泵控制电源：1 套；
2.10、配件 1 套：无氧铜密封垫圈及管路规格及数量如下：CF16：3 个；
CF35：5 个；CF50：1 个；
CF150：2 个；
￠6mm 卡套：4 套；
￠6mm 不锈钢管：6 米；
氟橡胶密封圈：￠200mm：1 个；
￠150mm：1 个；￠100mm：4 个；
烘烤带：3 条；
碘钨灯：5 个；
样品加热丝：3套；
￠100mm 光学玻璃：1 块；
小型不锈钢标件 M3、M4：各 3 个；
电器相关的保险丝：各 10 个。2.11、计算机控制系统 1 套
计算机控制系统由硬件卡、软件组成；计算机由商家提供，计算机参数：屏幕：14英寸，分辨率不低于：2240x1400, CPU主频性能不低于：2.1GHz, CPU性能不低于Intel 酷睿 i7 1260P，内存容量不小于：16GB,重量不大于：1.12Kg。控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫描等控制。 个 1 工业