一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：0835-220Z*

原公告的采购项目名称：华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（二）

首次公告日期：**日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：更正包组1技术部分需求内容

原招标文件技术需求：多靶材磁控溅射AlN薄膜设备“腔体2”中“排除边缘3mm”及“腔体3”中“刻蚀速率>2.5nm/s”

更正为：“排除边缘5mm”“刻蚀速率>2.5nm/min”

更正日期：**日

三、其他补充事宜

原招标文件与更正公告有矛盾的地方，以此更正公告为准，其他内容不变。

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：华南理工大学

地址： (略) 天河区五山路381号

联系方式：文老师020-*

2.采购代理机构信息

名称：广东 (略)

地址： (略) 越秀区先烈中路102号华盛大厦北塔26楼2608室

联系方式：020-*

3.项目联系方式

项目联系人：何小姐、黄先生

电话：020-*-103

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：0835-220Z*

原公告的采购项目名称：华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（二）

首次公告日期：**日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：更正包组1技术部分需求内容

原招标文件技术需求：多靶材磁控溅射AlN薄膜设备“腔体2”中“排除边缘3mm”及“腔体3”中“刻蚀速率>2.5nm/s”

更正为：“排除边缘5mm”“刻蚀速率>2.5nm/min”

更正日期：**日

三、其他补充事宜

原招标文件与更正公告有矛盾的地方，以此更正公告为准，其他内容不变。

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：华南理工大学

地址： (略) 天河区五山路381号

联系方式：文老师020-*

2.采购代理机构信息

名称：广东 (略)

地址： (略) 越秀区先烈中路102号华盛大厦北塔26楼2608室

联系方式：020-*

3.项目联系方式

项目联系人：何小姐、黄先生

电话：020-*-103