一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：XDZB2022-A-085　　　　　　

原公告的采购项目名称：厦门大学物理科 (略) 高精度电子束蒸发系统　　　　　　

首次公告日期：**日　　　　　　

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

一、第三章 招标项目说明及要求中“四、评标办法说明”：

1.原招标文件第12页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.1中第1点，现修改为：▲1.1.1方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不小于480mm宽x 520mm长x900mm高，前门采用铝材质门。满足得4分，不满足得0分。

2.原招标文件第12页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.1中第2点，现修改为：▲1.4.6电子枪到基片的距离不低于650mm，电子枪布局满足lift-off工艺要求。满足得4分，不满足得0分。

3.原招标文件第12页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.1中第4点，现修改为：▲1.10.2设备整体采用紧凑型设计，外部尺寸不得大于2.5m长X1.2m宽X2.3m高，需要提供总体设计图纸确认支撑。满足得3分；不满足得0分。

4.原招标文件第13页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.3中第1点，现修改为：1）售后服务和技术支持能力：

a）国内有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库，售后服务热线需要做到7*8小时在线响应。

b）在中国境内有3名以上专门负责的经验丰富的官方售后服务工程师（提供工程师资质文件作为证明）

c）在中国境内应有专门的技术应用支持工程师，在国内设有应用开发实验室。每满足一项得1分，全部满足得3分，均不满足得0分。

5.原招标文件第14页“四、评标办法说明”中“商务因素”2.1，现修改为：设备厂商在全国内2020年至今具有本次招标同类型产品销售业绩，每台得0.5分，最高得8分。投标人须同时提供该业绩项目的中标公告（提供相关网站中标公告的网页截图并注明网址）或中标通知书复印件。

二、第三章 招标项目说明及要求中“附件：高精度电子束蒸发系统配置与技术参数要求”：

1. 原招标文件第16页第1.1.1点，现修改为：▲1.1.1方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不小于480mm宽x 520mm长x900mm高，前门采用铝材质门。

2. 原招标文件第16页增加星号项：★1.1.2门上配有不少于1个方形观察窗，带有安装衬玻璃的插槽，并配置不少于两块相应的pyrex材质的衬玻璃。观察窗带有手动开启的观察窗挡板。

3. 原招标文件第16页增加星号项：★1.2.4冷凝泵与主腔室间配有气动三位门阀，门阀性能不得低于VAT气动门阀，阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达20万次。

4.原招标文件第17页第1.4.1点，现修改为：★1.4.1KL-8型电子枪,坩埚的数目不少于6个，坩埚的容量不低于20cc。

5.原招标文件第17页第1.4.6点，现修改为：▲1.4.6电子枪到基片的距离不低于650mm，电子枪布局满足lift-off工艺要求。

6.原招标文件第17页增加星号项：★1.4.7电子枪冷却水连接接口全部在大气侧，真空腔室内不能有冷却水连接接口，并且冷却水通路与坩埚转动位置集成到同一个轴内。

7.原招标文件第17页增加星号项：★1.5.3样品台带水冷功能，水冷与样品之间的材质为无氧铜。

8.原招标文件第17页增加星号项：★1.6.3 带有电机控制齿轮齿条样品传递臂，用于将样品在进样室和主腔室之间传递，传递过程可以程序自动控制。

9.原招标文件第18页增加：1.6.7进样室与分子泵间设有气动隔离阀，第一次维护前开启次数可达20万次，阀门性能不得低于VAT品牌门阀。

10.原招标文件第18页增加星号项：★1.8.2独立的实时控制系统来实现设备操控。独立的实时控制系统提供无间断操作，电脑死机或者程序退出不影响设备正常运行。

11.原招标文件第18页增加：1.8.5可供用户设定工艺参数的标准程序（抽真空、放气、低温泵再生、加载样品、镀膜）。

12.原招标文件第18页增加：1.8.6标准图表记录器（可以同时显示10个数据），并集成数据采集功能（生成.csv文件）。

13.原招标文件第18页增加：1.8.7程序界面提供程序选择、编辑现有程序功能，可以复制现有程序并编辑从而生成新的程序。

14.原招标文件第19页第1.10.2点，现修改为：▲1.10.2 设备整体采用紧凑型设计，外部尺寸不得大于2.5m长X1.2m宽X2.3m高，需要提供总体设计图纸确认支撑。

15.原招标文件第19页第2.3点，现修改为：▲2.3设备的本底真空优于8X10-8torr（在仅用低温泵的前提下，不允许采用烘烤或液氮冷阱等辅助手段）。

三、本项目“投标截止与开标时间”修改为：**日上午9：00

其余不变。

更正日期：**日　

三、其他补充事宜

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：厦门大学　　　　　

地址： (略) 演武路厦大西村11-13号楼二楼（兴业银行楼上）厦门大学招投标中心209室　　　　　　　　

联系方式：李老师，0592-*　　　　　　

2.项目联系方式

项目联系人：张老师

电　话：　　*

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：XDZB2022-A-085　　　　　　

原公告的采购项目名称：厦门大学物理科 (略) 高精度电子束蒸发系统　　　　　　

首次公告日期：**日　　　　　　

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

一、第三章 招标项目说明及要求中“四、评标办法说明”：

1.原招标文件第12页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.1中第1点，现修改为：▲1.1.1方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不小于480mm宽x 520mm长x900mm高，前门采用铝材质门。满足得4分，不满足得0分。

2.原招标文件第12页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.1中第2点，现修改为：▲1.4.6电子枪到基片的距离不低于650mm，电子枪布局满足lift-off工艺要求。满足得4分，不满足得0分。

3.原招标文件第12页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.1中第4点，现修改为：▲1.10.2设备整体采用紧凑型设计，外部尺寸不得大于2.5m长X1.2m宽X2.3m高，需要提供总体设计图纸确认支撑。满足得3分；不满足得0分。

4.原招标文件第13页“四、评标办法说明”中“技术因素”1.3中第1点，现修改为：1）售后服务和技术支持能力：

a）国内有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库，售后服务热线需要做到7*8小时在线响应。

b）在中国境内有3名以上专门负责的经验丰富的官方售后服务工程师（提供工程师资质文件作为证明）

c）在中国境内应有专门的技术应用支持工程师，在国内设有应用开发实验室。每满足一项得1分，全部满足得3分，均不满足得0分。

5.原招标文件第14页“四、评标办法说明”中“商务因素”2.1，现修改为：设备厂商在全国内2020年至今具有本次招标同类型产品销售业绩，每台得0.5分，最高得8分。投标人须同时提供该业绩项目的中标公告（提供相关网站中标公告的网页截图并注明网址）或中标通知书复印件。

二、第三章 招标项目说明及要求中“附件：高精度电子束蒸发系统配置与技术参数要求”：

1. 原招标文件第16页第1.1.1点，现修改为：▲1.1.1方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不小于480mm宽x 520mm长x900mm高，前门采用铝材质门。

2. 原招标文件第16页增加星号项：★1.1.2门上配有不少于1个方形观察窗，带有安装衬玻璃的插槽，并配置不少于两块相应的pyrex材质的衬玻璃。观察窗带有手动开启的观察窗挡板。

3. 原招标文件第16页增加星号项：★1.2.4冷凝泵与主腔室间配有气动三位门阀，门阀性能不得低于VAT气动门阀，阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达20万次。

4.原招标文件第17页第1.4.1点，现修改为：★1.4.1KL-8型电子枪,坩埚的数目不少于6个，坩埚的容量不低于20cc。

5.原招标文件第17页第1.4.6点，现修改为：▲1.4.6电子枪到基片的距离不低于650mm，电子枪布局满足lift-off工艺要求。

6.原招标文件第17页增加星号项：★1.4.7电子枪冷却水连接接口全部在大气侧，真空腔室内不能有冷却水连接接口，并且冷却水通路与坩埚转动位置集成到同一个轴内。

7.原招标文件第17页增加星号项：★1.5.3样品台带水冷功能，水冷与样品之间的材质为无氧铜。

8.原招标文件第17页增加星号项：★1.6.3 带有电机控制齿轮齿条样品传递臂，用于将样品在进样室和主腔室之间传递，传递过程可以程序自动控制。

9.原招标文件第18页增加：1.6.7进样室与分子泵间设有气动隔离阀，第一次维护前开启次数可达20万次，阀门性能不得低于VAT品牌门阀。

10.原招标文件第18页增加星号项：★1.8.2独立的实时控制系统来实现设备操控。独立的实时控制系统提供无间断操作，电脑死机或者程序退出不影响设备正常运行。

11.原招标文件第18页增加：1.8.5可供用户设定工艺参数的标准程序（抽真空、放气、低温泵再生、加载样品、镀膜）。

12.原招标文件第18页增加：1.8.6标准图表记录器（可以同时显示10个数据），并集成数据采集功能（生成.csv文件）。

13.原招标文件第18页增加：1.8.7程序界面提供程序选择、编辑现有程序功能，可以复制现有程序并编辑从而生成新的程序。

14.原招标文件第19页第1.10.2点，现修改为：▲1.10.2 设备整体采用紧凑型设计，外部尺寸不得大于2.5m长X1.2m宽X2.3m高，需要提供总体设计图纸确认支撑。

15.原招标文件第19页第2.3点，现修改为：▲2.3设备的本底真空优于8X10-8torr（在仅用低温泵的前提下，不允许采用烘烤或液氮冷阱等辅助手段）。

三、本项目“投标截止与开标时间”修改为：**日上午9：00

其余不变。

更正日期：**日　

三、其他补充事宜

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：厦门大学　　　　　

地址： (略) 演武路厦大西村11-13号楼二楼（兴业银行楼上）厦门大学招投标中心209室　　　　　　　　

联系方式：李老师，0592-*　　　　　　

2.项目联系方式

项目联系人：张老师

电　话：　　*