名称

技术要求

数量

用途

原

子

力

显

微

镜

1.扫描器

★1.1 X,Y,Z三轴分离;X,Y使用平板扫描器，X,Y,Z三个驱动轴严格正交，互不干扰；三方向均具有闭环控制系统。

★1.2扫描范围：X,Y方向的扫描范围不低于85μm，Z方向不低于15μm。

★1.3 X,Y轴闭环噪音<0.5nm （Adev,0.1Hz到1KHz带宽)，非线性度小于0.6%；

★1.4 Z轴闭环噪音<0.25nm (Adev,0.1Hz到1KHz测试带宽)，全行程非线性度小于0.06%。

★1.5 光学系统高度噪音<25pm (Adev,1Hz到1KHz带宽，探针未接触样品表面时，光电探测器探测到的探针本身扰动)

★1.6 系统高度噪音< 65pm (Adev,1Hz到1KHz带宽，探针接触样品表面时，光电探测器探测到的探针本身扰动)

★1.7扫描方式：为保证高分辨率测试，控制最低噪音水平，XY方向必须采用样品扫描方式，不可扫描探针。

1.8扫描器具配低相干860nm SLD激光器光源。

2.工作模式：

2.1轻敲模式带有Q控制技术 (AC mode)

2.2接触模式

2.3定量相位成像模式

2.4横向力显微镜

2. (略) 力显微镜

2.6压电力显微镜

2.7静电力显微镜

2.8表面电势显微镜

2.9动态和静态力曲线测试

2.10力阵列测量

2.11纳米刻蚀

2.12纳米操纵

★2.13双频成像模式

2.14频率调制模式

★2.15双频共振追踪模式

★2.16智能探针校准：不需要探针接触基底即可直接标定探针微悬臂弹性常数和灵敏度，避免传统方法为标定灵敏度需测试前要探针与基底先要接触一次而污染探针。

3. 防震隔音系统： 满足原子力显微镜工作的防震平台和专用隔音罩。

★4. 液体样品池：实现液体的测试环境

★5. 样品尺寸：最大直径不小于75mm，最大厚度30mm。

★6. 检测器：带宽不小于8MHz, 检测器上的参考光斑可调零。

7. 操作软件：操作软件永久免费升级。操作软件开源，不受操作系统升级影响， (略) 二次开发。

8.配置要求

8.1. 大于85微米扫描范围XY平板扫描器一个

8.2. 15微米扫描范围Z扫描器一个

8.3. 辅助光学底座一个

8.4. 全数字SPM控制器一台

8.5. 液体样品池模块一套

8.6. 预 (略) 电脑一套：满足原子力显微镜软件 (略) 理 (略) （内存不低于8G，硬盘不少于2个2T硬盘，CPU不低于Intel 四核 Ivy Bridge Xeon (3.7GHz)）。

8.7. 防震隔音系统一套

8.8. 空间扩展配件: 将可测量的最大样品厚度尺寸扩展到30mm，可以测量块材样品。

8.9. 增强侧向力（LFM），可将检测器上的参考光斑调零，将检测器带宽增加到不小于8MHz，以增强测量样品表面摩擦力和压电力效果。

备注：有带★号技术条款，为必须满足条款。投标 (略) (略) 截 (略) 站上的产品手册等证明材料来应标。如出现虚假应标者，将拒不付款，且追求法律责任。

1台

研究材料表面结构