一、项目名称：钨灯丝扫描电镜

二、项目编号：GXGS（GXGL）-ZB[2022]-024

三、更正事项：

1、本项目招标文件第三章采购需求变更为：

一、技术要求：

（一）设备组成

1.电镜主机：包括电子枪、镜筒、样品室、承重桌等。电镜承重桌带有减振系统，有效阻隔外界振动，样品室上有6个外接口，方便安装探测器。

2.能谱仪。

3.探测器：配置二次电子探测器进行表面微观形貌分析，背散射电子探测器成分分析，红外CCD视频监控样品移动位置。

4.样品台（载物台）：具有碰撞报警功能，并带有样品台吸收电流监测功能，电机装在样品仓内，可在真空环境下正常工作。

5.电脑及操作软件。

6.附件及耗材：样品托，离子溅射仪，磁控式喷金仪，导电胶带、灯丝等。

（二）设备主要技术参数

▲1.发生源：钨灯丝。

★2.高真空分辨率：*@*0kV（SE）；*@*0kV（BSE），低真空分辨率：*@*0kV（SE）。

▲3.加速电压范围：200V-30kV，不低于10V步进精准调整。

▲4.放大倍数：5X～*X(宝丽来相纸扫描放大倍数)，连续可调。

▲5.电子束束流：不低于0.5pA～2uA，连续可调。

▲6.电子束控制：具有分辨率模式，分析模式，景深模式，增加易用性。

▲7.具有高低真空功能，高低真空自动转换。高真空优于5×10-4pa，低真空范围10～100pa，同时配备低真空二次电子测探器。

▲8.样样品台：五轴全自动，采用样品仓内置的真空电机驱动。最大移动行程：X≥120mm,Y≥120mm,Z≥50mm,T=-10°-90°,R=360°连续可调。

▲9.电子枪结构：双阳极发射结构，阴极+栅极+中间阳极+阳极，与传统的镜筒，增加中间阳极可以增加电子的汇聚数量，提高电子束亮度，提高信噪比，从而有效的提高低压的分辨率和图像质量。

▲10.要求具备自动拼图功能，实现样品大面积拼图，对样品台即可移动到相应的位置。

▲11.探测器

a）高真空二次电子探测器。

b）高灵敏度可伸缩半导体背散射电子探测器。

c）红外CCD视频监控。

d）导航相机。

e）低真空二次电子探测器。

（三）其它性能要求

1.电子光学系统

a）发射源：钨灯丝(预对中型发叉式钨灯丝)。

b）灯丝寿命检测：自动检测灯丝使用时间及灯丝工作状态。

2.真空系统

a）真空系统：1台涡轮分子泵，240L/S；1台机械泵，200L/min(50Hz)。

b）全自动真空控制，具有真空互锁功能，有效避免误操作。

c）可放置样品大小：不少于280mm。

3.样品台

a）样品台有碰撞报警功能，同时带有样品台吸收电流监测功能。

b）配备样品台CCD光学相机导航，在光学照片上点击位置，电镜样品台即可移动到相应的位置。

4.图像显示与处理

a）显示方式：全屏显示、分屏显示。

b）扫描速度：预设四种扫描模式，扫描速度可自由配置，同时也支持感兴趣区域扫描模式。

c）测量功能：支持多种测量标记工具，如长度、角度、直径等。

d）图像注释与数据区：提供标准数据区，可在图片上显示各种电镜参数。

e）状态菜单：显示各种工作参数。

f）图像保存：最小768×512，最大为8448x5632。

g）图像存储格式：TIFF、JPG、PNG、BMP格式。

h）操作设备：键盘、鼠标。

i）自动调整功能：自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等。

j）智能辅助消像散。

k）已拍摄图片定位功能，XY坐标定位还原：通过在保存的图片中记录该位置的X、Y坐标信息，选中保存的图片，即可还原到原来的位置。

l）图像混合像（BSE+SE）：支持一键切换SE和BSE的混合成像，比列可调。

m）可进行多通道成像，分屏上可同时进行不同信号成像。

5.配套计算机系统

a）操作系统：windows7。

b）PC：专业工作站。CPU不低于I5；内存16G；硬盘≥500G；24寸显示器（专业图像显示器，分辨率1920×1200）。

6.能谱仪

a）探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积30mm2,高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。

b）能量分辨率：MnKa保证不低于129eV。

c）元素分析范围:B5～Cf98。

d）具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

e）定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。

f）定量分析：采用XPP定量修正技术，具有完备的虚拟标样库。

g）图像分辨率可达2048*2048像素；元素面分布图分辨率可达1024*1024像素。

h）线扫描分析每条线可包含8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。

7.磁控式喷金仪

a）样品腔室尺寸：Ф120×110mm耐划伤石英玻璃。

b）溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源Max.20W，Max.100mA，0-800VDC。

c）溅射时间：可程序设定。

d）操作方式：触摸屏控制。

8.UPS稳压电源：6KVA，可持续供电30分钟。

（四）技术文件

1.使用维护说明书。

2.技术说明书。

3.产品合格证。

4.其他试验必须的文件资料。

二、售后服务要求：

1.自设备验收合格之日起，设备整机质量保修期不少于12个月。

2.在质保期内，中标人负责提供设备上门保修服务（因招标人责任造成的设备损坏为有偿服务）；如产品出现质量问题，质保期内，设备出现任何问题，供方在24小时内作出反应。如果需要，供方在接到需方服务要求时，应做到4小时内响应，48小时内到达现场。

3.质保期满后，供方仍将向需方提供广泛的技术支持和优惠的备件供应。

4.供方应设有售后服务机构和专职售后服务人员。

如中标人在接到招标人通知后，未给予处理，则招标人可自行安排检修处理，所产生的费用由中标人负担。在质保期外，中标人为招标人提供设备有偿维修服务。

5.中标人提供服务的设备维修人员必须 (略) 正式员工，中标后提供保修服务人员名单及其身份证复印件、社保缴纳证明材料给招标人备案，服务期内若有变更需提前通知招标人。

三、交付使用期及地点：

1.交付时间：自合同签订之日起90天内交货完毕并安装调试合格。

2.交付地点：招标人指定地点。

四、付款方式：

1.货到现场安装调试完成，并验收合格后，凭中标人开具合同总额100%的发票支付合同总额的95%。合同总额的5%（质保金）在质保期满且无质量问题后30日内支付。

2.支付方式：银行转账/承兑汇票。

五、其他要求：

1.设备供应商应提供技术文件包括：设备清单、设备使用维护说明书、产品合格证、其它必须的文件；提供设备零部件、主要配置件及易损易耗件清单，清单中应包括零部件名称、规格、数量、制造厂商。

2.所有的验收标准和验收程序须由需方最终确认，验收费用由供方承担。

3.验收在需方现场进行。

验收项目：设备外观检查、设备主件及附件数量齐备、设备各种资料应齐全。

验收方式：设备各项性能指标应达到合同中规定的技术要求。

验收结束后，经双方验收代表在验收报告上签字后，视为设备交付。

所有验收标准和验收程序须由需方最终确认。

4.设备就位后，卖方负责免费培训3名使用方人员，技术培训内容包括设备操作、维修等，培训须保证每个人具备独立操作的能力，培训期不少于2个工作日。

5.中标人必须提供全新的、符合有关质量标准的产品。设备到货安装前，招标人现场根据招标文件要求及投标文件承诺逐条对应进行核验，核验不合格的，招标人有权终止合同执行并全部退货，由此造成招标人经济损失的由中标人负责承担全部赔偿责任。

2、本项目提交投标文件截止时间、开标时间变更为：2023年1月18日9时30分（北京时间）。

其余内容不变，特此通知。

四、联系事项：

1.采购人名称：国营长虹机械厂

地址： (略) 凯风路99号

2.采购代理机构：广西广申 (略)

地址： (略) 七星区信息产业园华业大厦一楼

项目联系人：黄琼联系电话:0773-*

采购代理机构：广西广申 (略)

2023年1月4日

一、项目名称：钨灯丝扫描电镜

二、项目编号：GXGS（GXGL）-ZB[2022]-024

三、更正事项：

1、本项目招标文件第三章采购需求变更为：

一、技术要求：

（一）设备组成

1.电镜主机：包括电子枪、镜筒、样品室、承重桌等。电镜承重桌带有减振系统，有效阻隔外界振动，样品室上有6个外接口，方便安装探测器。

2.能谱仪。

3.探测器：配置二次电子探测器进行表面微观形貌分析，背散射电子探测器成分分析，红外CCD视频监控样品移动位置。

4.样品台（载物台）：具有碰撞报警功能，并带有样品台吸收电流监测功能，电机装在样品仓内，可在真空环境下正常工作。

5.电脑及操作软件。

6.附件及耗材：样品托，离子溅射仪，磁控式喷金仪，导电胶带、灯丝等。

（二）设备主要技术参数

▲1.发生源：钨灯丝。

★2.高真空分辨率：*@*0kV（SE）；*@*0kV（BSE），低真空分辨率：*@*0kV（SE）。

▲3.加速电压范围：200V-30kV，不低于10V步进精准调整。

▲4.放大倍数：5X～*X(宝丽来相纸扫描放大倍数)，连续可调。

▲5.电子束束流：不低于0.5pA～2uA，连续可调。

▲6.电子束控制：具有分辨率模式，分析模式，景深模式，增加易用性。

▲7.具有高低真空功能，高低真空自动转换。高真空优于5×10-4pa，低真空范围10～100pa，同时配备低真空二次电子测探器。

▲8.样样品台：五轴全自动，采用样品仓内置的真空电机驱动。最大移动行程：X≥120mm,Y≥120mm,Z≥50mm,T=-10°-90°,R=360°连续可调。

▲9.电子枪结构：双阳极发射结构，阴极+栅极+中间阳极+阳极，与传统的镜筒，增加中间阳极可以增加电子的汇聚数量，提高电子束亮度，提高信噪比，从而有效的提高低压的分辨率和图像质量。

▲10.要求具备自动拼图功能，实现样品大面积拼图，对样品台即可移动到相应的位置。

▲11.探测器

a）高真空二次电子探测器。

b）高灵敏度可伸缩半导体背散射电子探测器。

c）红外CCD视频监控。

d）导航相机。

e）低真空二次电子探测器。

（三）其它性能要求

1.电子光学系统

a）发射源：钨灯丝(预对中型发叉式钨灯丝)。

b）灯丝寿命检测：自动检测灯丝使用时间及灯丝工作状态。

2.真空系统

a）真空系统：1台涡轮分子泵，240L/S；1台机械泵，200L/min(50Hz)。

b）全自动真空控制，具有真空互锁功能，有效避免误操作。

c）可放置样品大小：不少于280mm。

3.样品台

a）样品台有碰撞报警功能，同时带有样品台吸收电流监测功能。

b）配备样品台CCD光学相机导航，在光学照片上点击位置，电镜样品台即可移动到相应的位置。

4.图像显示与处理

a）显示方式：全屏显示、分屏显示。

b）扫描速度：预设四种扫描模式，扫描速度可自由配置，同时也支持感兴趣区域扫描模式。

c）测量功能：支持多种测量标记工具，如长度、角度、直径等。

d）图像注释与数据区：提供标准数据区，可在图片上显示各种电镜参数。

e）状态菜单：显示各种工作参数。

f）图像保存：最小768×512，最大为8448x5632。

g）图像存储格式：TIFF、JPG、PNG、BMP格式。

h）操作设备：键盘、鼠标。

i）自动调整功能：自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等。

j）智能辅助消像散。

k）已拍摄图片定位功能，XY坐标定位还原：通过在保存的图片中记录该位置的X、Y坐标信息，选中保存的图片，即可还原到原来的位置。

l）图像混合像（BSE+SE）：支持一键切换SE和BSE的混合成像，比列可调。

m）可进行多通道成像，分屏上可同时进行不同信号成像。

5.配套计算机系统

a）操作系统：windows7。

b）PC：专业工作站。CPU不低于I5；内存16G；硬盘≥500G；24寸显示器（专业图像显示器，分辨率1920×1200）。

6.能谱仪

a）探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积30mm2,高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。

b）能量分辨率：MnKa保证不低于129eV。

c）元素分析范围:B5～Cf98。

d）具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

e）定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。

f）定量分析：采用XPP定量修正技术，具有完备的虚拟标样库。

g）图像分辨率可达2048*2048像素；元素面分布图分辨率可达1024*1024像素。

h）线扫描分析每条线可包含8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。

7.磁控式喷金仪

a）样品腔室尺寸：Ф120×110mm耐划伤石英玻璃。

b）溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源Max.20W，Max.100mA，0-800VDC。

c）溅射时间：可程序设定。

d）操作方式：触摸屏控制。

8.UPS稳压电源：6KVA，可持续供电30分钟。

（四）技术文件

1.使用维护说明书。

2.技术说明书。

3.产品合格证。

4.其他试验必须的文件资料。

二、售后服务要求：

1.自设备验收合格之日起，设备整机质量保修期不少于12个月。

2.在质保期内，中标人负责提供设备上门保修服务（因招标人责任造成的设备损坏为有偿服务）；如产品出现质量问题，质保期内，设备出现任何问题，供方在24小时内作出反应。如果需要，供方在接到需方服务要求时，应做到4小时内响应，48小时内到达现场。

3.质保期满后，供方仍将向需方提供广泛的技术支持和优惠的备件供应。

4.供方应设有售后服务机构和专职售后服务人员。

如中标人在接到招标人通知后，未给予处理，则招标人可自行安排检修处理，所产生的费用由中标人负担。在质保期外，中标人为招标人提供设备有偿维修服务。

5.中标人提供服务的设备维修人员必须 (略) 正式员工，中标后提供保修服务人员名单及其身份证复印件、社保缴纳证明材料给招标人备案，服务期内若有变更需提前通知招标人。

三、交付使用期及地点：

1.交付时间：自合同签订之日起90天内交货完毕并安装调试合格。

2.交付地点：招标人指定地点。

四、付款方式：

1.货到现场安装调试完成，并验收合格后，凭中标人开具合同总额100%的发票支付合同总额的95%。合同总额的5%（质保金）在质保期满且无质量问题后30日内支付。

2.支付方式：银行转账/承兑汇票。

五、其他要求：

1.设备供应商应提供技术文件包括：设备清单、设备使用维护说明书、产品合格证、其它必须的文件；提供设备零部件、主要配置件及易损易耗件清单，清单中应包括零部件名称、规格、数量、制造厂商。

2.所有的验收标准和验收程序须由需方最终确认，验收费用由供方承担。

3.验收在需方现场进行。

验收项目：设备外观检查、设备主件及附件数量齐备、设备各种资料应齐全。

验收方式：设备各项性能指标应达到合同中规定的技术要求。

验收结束后，经双方验收代表在验收报告上签字后，视为设备交付。

所有验收标准和验收程序须由需方最终确认。

4.设备就位后，卖方负责免费培训3名使用方人员，技术培训内容包括设备操作、维修等，培训须保证每个人具备独立操作的能力，培训期不少于2个工作日。

5.中标人必须提供全新的、符合有关质量标准的产品。设备到货安装前，招标人现场根据招标文件要求及投标文件承诺逐条对应进行核验，核验不合格的，招标人有权终止合同执行并全部退货，由此造成招标人经济损失的由中标人负责承担全部赔偿责任。

2、本项目提交投标文件截止时间、开标时间变更为：2023年1月18日9时30分（北京时间）。

其余内容不变，特此通知。

四、联系事项：

1.采购人名称：国营长虹机械厂

地址： (略) 凯风路99号

2.采购代理机构：广西广申 (略)

地址： (略) 七星区信息产业园华业大厦一楼

项目联系人：黄琼联系电话:0773-*

采购代理机构：广西广申 (略)

2023年1月4日