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无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

一、主要技术指标
材料纳米力学测试系统可以完成微/纳米尺度上材料力学性能测试和表征。可以用于金属材料、膜材料、聚合物材料、无机非金属材料等的纳米压痕、纳米划痕、摩擦磨损和原位扫描成像等纳米特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、纳米磨损性能、粘结失效、断裂韧性等性能。硬件及软件、配置情况如下：

1 纳米压痕模块
采用三板电容传感器集力量的加载和检测、位移的加载和检测为一体，有效降低了电磁驱动线圈产生的大量的热从而造成的热漂移的影响。

1.1 可测量的物理量：硬度、弹性模量、蠕变性、应力松弛、断裂韧性、硬度和模量随深度变化等。
1.2纳米压痕技术参数
（1）★力量加载方式：静电压驱动，非电磁驱动；压头压入样品方向：沿垂直方向，自上而下压入；Z轴方向压头移动的最大范围：＞50mm；
（2）最大载荷：10 mN；
（3）载荷(力量)分辨率：≤5nN；
（4）载荷噪音背景：≤250 nN；
（5）最小接触力：＜500 nN；
（6）位移测量方式：电容传感器
（7）最大压入位移：≥5 μm；
（8）位移分辨率：≤0.01 nm；
（9）位移噪音背景：＜1 nm；
（10）热漂移(在室温条件下)：≤0.1 nm/s；

2 纳米划痕模块
设备具有微纳米尺度上划痕功能，通过二维传感器，同时测量划痕过程中纵向和横向的力量和位移，保证测试的精度和准确性，并且在进行划痕测试时，三板电容传感器通过静电驱动探针移动，从而消除了闭合回路焦耳热对热漂移数据的影响。
2.1 可获得物理量：附着力、摩擦系数、耐划伤性
☆2.2 纳米划痕技术参数
★通过一个二维传感器，加载和检测横纵向的力量和位移；
划痕测试过程中，压头移动，而非样品台移动,提高测试精度；
（3）最大横向载荷力：2 mN；
（4）★划痕测试过程中，压头移动，而非样品台移动，提高测试灵敏度与精度

3 纳米摩擦磨损功能
具有在纳米尺度上对材料进行扫描磨损测试的功能,并能够对磨损前后的形貌进行原位扫描探针成像，从而能够评价材料的磨损深度、磨损体积。
3.1 可获得物理量：耐磨性、磨损扫描、磨损深度、磨损体积。
3.2 纳米磨损技术参数
（1）通过压电陶瓷连带三板电容传感器进行磨损测试；
（2）磨损面积范围：<1 μm×1 μm-50 μm×50 μm；
（3）纵向载荷范围: 1uN – 1mN。

4 原位扫描成像及定位系统
设备使用同一个测试模块既能实现纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损测试等力学测试，同时又可获得材料表面压痕、划痕以及磨损实验前后的三维图像，并且力学测试过程中是压头在动，而非样品移动。通过对材料表面的精细成像，实现±25 nm的精准的压痕、划痕等测试的定位。

4.1 可获得物理量：3D形貌图、表面粗糙度、压痕/划痕残余深度、膜厚等。
4.2 高解析原位扫描成像及定位模块技术参数
（1）采用同一个测试模块，可以对多个样品进行连续不间断的3D原位扫描成像；
（2）★不更换样品台，可以对多个样品进行连续不间断的3D原位扫描成像；扫描过程中压头在动，而非样品台在动；
（3）扫描频率：0.01 Hz–3.0 Hz；
（4）最小成像力＜1 uN
（5）★原位扫描探针的位置控制精度：压痕、划痕±25nm的位置；
（6）可以手动或者自动化设置测试位置及压痕阵列；
（7）单幅扫描体积：50×50×4μm，图像可拼接，实现大范围的测试；
（8）位移噪声层：<0.2nm。
5 自上而下彩色光学显微镜系统
5.1光学系统技术参数
（1）光学分辨率：5 μm；
（2）具备连续变焦功能
（3）显示屏放大倍数：450-1000x

6高精密定位和数据采集平台
高精密定位平台可以精确记录样品的位置，可实现样品的自动化测试。
6.1 可实现功能：精确定位、位置记录、自动测样。
6.2 高精密定位平台技术参数
（1）★Z轴自上而下，并且可以上下移动；Z轴方向可移动范围: ≥50 mm；
（2）X-Y方向平台可移动范围:≥150 mm×150 mm；
（3）X、Y方向步长分辨率: ≤12.5nm；
（4）Z 步长分辨率: ≤8 nm;
（5）可以对多个样品进行全自动化高通量力学数据测试；
7 数据采集和控制系统
必须可以在力和位移反馈控制模式下工作，并且反馈回路频率为10kHz。

售后及质保要求

1.*方对仪器及其随机配件提供1年的保修期，该保修期自仪器验收合格之日起计算。*方在保修期内为仪器及其随机配件提供免费维护和修理。在保修期内，如仪器出现损坏和故障，*方在接到*方通知后 4小时内反馈，需要现场解决的，*方在3天内到达现场，免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。
2.在保修期满后，*方为仪器及其随机配件提供终身维修。前述保修期届满后，仪器需要更换零部件的，*方只收取零部件的成本费，不收取人工服务费用。维修项目或维修部件或调换部分的保修期从维修完成或调换完成之日起顺延 1 年。
3.提供免费调试安装调试本仪器 1 次、免费培训服务 1 次（培训为期2天）。
4.其他售后服务：*方提供原厂售后，设有备品备件库。

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一、主要技术指标
材料纳米力学测试系统可以完成微/纳米尺度上材料力学性能测试和表征。可以用于金属材料、膜材料、聚合物材料、无机非金属材料等的纳米压痕、纳米划痕、摩擦磨损和原位扫描成像等纳米特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、纳米磨损性能、粘结失效、断裂韧性等性能。硬件及软件、配置情况如下：

1 纳米压痕模块
采用三板电容传感器集力量的加载和检测、位移的加载和检测为一体，有效降低了电磁驱动线圈产生的大量的热从而造成的热漂移的影响。

1.1 可测量的物理量：硬度、弹性模量、蠕变性、应力松弛、断裂韧性、硬度和模量随深度变化等。
1.2纳米压痕技术参数
（1）★力量加载方式：静电压驱动，非电磁驱动；压头压入样品方向：沿垂直方向，自上而下压入；Z轴方向压头移动的最大范围：＞50mm；
（2）最大载荷：10 mN；
（3）载荷(力量)分辨率：≤5nN；
（4）载荷噪音背景：≤250 nN；
（5）最小接触力：＜500 nN；
（6）位移测量方式：电容传感器
（7）最大压入位移：≥5 μm；
（8）位移分辨率：≤0.01 nm；
（9）位移噪音背景：＜1 nm；
（10）热漂移(在室温条件下)：≤0.1 nm/s；

2 纳米划痕模块
设备具有微纳米尺度上划痕功能，通过二维传感器，同时测量划痕过程中纵向和横向的力量和位移，保证测试的精度和准确性，并且在进行划痕测试时，三板电容传感器通过静电驱动探针移动，从而消除了闭合回路焦耳热对热漂移数据的影响。
2.1 可获得物理量：附着力、摩擦系数、耐划伤性
☆2.2 纳米划痕技术参数
★通过一个二维传感器，加载和检测横纵向的力量和位移；
划痕测试过程中，压头移动，而非样品台移动,提高测试精度；
（3）最大横向载荷力：2 mN；
（4）★划痕测试过程中，压头移动，而非样品台移动，提高测试灵敏度与精度

3 纳米摩擦磨损功能
具有在纳米尺度上对材料进行扫描磨损测试的功能,并能够对磨损前后的形貌进行原位扫描探针成像，从而能够评价材料的磨损深度、磨损体积。
3.1 可获得物理量：耐磨性、磨损扫描、磨损深度、磨损体积。
3.2 纳米磨损技术参数
（1）通过压电陶瓷连带三板电容传感器进行磨损测试；
（2）磨损面积范围：<1 μm×1 μm-50 μm×50 μm；
（3）纵向载荷范围: 1uN – 1mN。

4 原位扫描成像及定位系统
设备使用同一个测试模块既能实现纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损测试等力学测试，同时又可获得材料表面压痕、划痕以及磨损实验前后的三维图像，并且力学测试过程中是压头在动，而非样品移动。通过对材料表面的精细成像，实现±25 nm的精准的压痕、划痕等测试的定位。

4.1 可获得物理量：3D形貌图、表面粗糙度、压痕/划痕残余深度、膜厚等。
4.2 高解析原位扫描成像及定位模块技术参数
（1）采用同一个测试模块，可以对多个样品进行连续不间断的3D原位扫描成像；
（2）★不更换样品台，可以对多个样品进行连续不间断的3D原位扫描成像；扫描过程中压头在动，而非样品台在动；
（3）扫描频率：0.01 Hz–3.0 Hz；
（4）最小成像力＜1 uN
（5）★原位扫描探针的位置控制精度：压痕、划痕±25nm的位置；
（6）可以手动或者自动化设置测试位置及压痕阵列；
（7）单幅扫描体积：50×50×4μm，图像可拼接，实现大范围的测试；
（8）位移噪声层：<0.2nm。
5 自上而下彩色光学显微镜系统
5.1光学系统技术参数
（1）光学分辨率：5 μm；
（2）具备连续变焦功能
（3）显示屏放大倍数：450-1000x

6高精密定位和数据采集平台
高精密定位平台可以精确记录样品的位置，可实现样品的自动化测试。
6.1 可实现功能：精确定位、位置记录、自动测样。
6.2 高精密定位平台技术参数
（1）★Z轴自上而下，并且可以上下移动；Z轴方向可移动范围: ≥50 mm；
（2）X-Y方向平台可移动范围:≥150 mm×150 mm；
（3）X、Y方向步长分辨率: ≤12.5nm；
（4）Z 步长分辨率: ≤8 nm;
（5）可以对多个样品进行全自动化高通量力学数据测试；
7 数据采集和控制系统
必须可以在力和位移反馈控制模式下工作，并且反馈回路频率为10kHz。

售后及质保要求

1.*方对仪器及其随机配件提供1年的保修期，该保修期自仪器验收合格之日起计算。*方在保修期内为仪器及其随机配件提供免费维护和修理。在保修期内，如仪器出现损坏和故障，*方在接到*方通知后 4小时内反馈，需要现场解决的，*方在3天内到达现场，免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。
2.在保修期满后，*方为仪器及其随机配件提供终身维修。前述保修期届满后，仪器需要更换零部件的，*方只收取零部件的成本费，不收取人工服务费用。维修项目或维修部件或调换部分的保修期从维修完成或调换完成之日起顺延 1 年。
3.提供免费调试安装调试本仪器 1 次、免费培训服务 1 次（培训为期2天）。
4.其他售后服务：*方提供原厂售后，设有备品备件库。