有机-金属热蒸镀系统（ZBZXHB2023006）延期公告

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有机-金属热蒸镀系统（ZBZXHB2023006）延期公告

项目名称有机-金属热蒸 镀系统项目编号ZBZXHB*
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位四川大学付款方式请查看比选文件
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求成交后15个工作日内
预 算*.0
收货地址一环路南一段24号四川大学望江校区第一理科楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
有机-金属热蒸 镀系统1台真空应用设备
品牌-
型号-
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算*.0
技术参数及配置要求1、整体性能1）蒸镀机能够同时蒸镀4个器件，并且1轮蒸镀（1个run）可实现4种不同器件结构的制备；2）采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质进口铝型材搭建；3）机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定设备。4）具有等离子体清洗基片功能。2、样品台1）可安装4个尺寸20mm*20mm的基片托盘，可真空状态下更换掩膜板，具体12面掩膜图案结构图形根据要求定制，图案可更改；2）基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-60转/分可调；3）提供一套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm；4）样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性；5）挡板采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制。3、蒸发源1）共12组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板；2）配3套蒸发电源，一套功率1.4KW及以上，两套功率0.6KW以上，用于蒸发金属和有机材料，可切换到12组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率；3）有机和金属蒸发源均带有水冷功能。4、膜厚测量系统1）采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；2）膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度优于1A；频率分辨率0.01Hz，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率；膜厚仪可以实现4源共蒸。3）石英晶振探头4个，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。5、蒸发腔体1）腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸约为380×380×570mm；2）腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理；3）腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕；4）腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。6、蒸镀真空系统1）极限真空优于：3.5×10-7torr；2）主泵抽速不低于700L/S，采用分子泵；3）前级泵抽速不低于15 m3/h；4）气动高真空插板阀，通径大于等于150mm；5）带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；6）腔体充氮气，从大气抽至3*10-6torr的时间要求小于15分钟。7）提供腔体RGA分析报告。7、蒸镀软件控制系统1）采用PLC+触摸屏控制模式；2）真空系统的控制分为手动和自动二种模式。自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭；3）带有膜厚测量控制屏，可通过膜厚仪触摸屏的相关操作；4）带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温，也可手动输入控制数据；5）带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制；可完成更换掩膜板的操作。8、验收、培训及服务1）负责镀膜系统与惰性气体环境系统的对接和调试；2）提供设备的操作培训；3）提供设备的常见问题处理培训，日常维护保养培训；4）提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训，包括有蒸镀技巧，共蒸发注意事项，掺杂蒸发技巧，常见有机材料选用注意事项等，并提供设备样机试用时的有机及金属材料，同时对各项指标进行验收，若不能满足用户实验需求，用户可退货；同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。设备验收时采用的试机器件结构：HAT-CN(10 nm)/NPB(60 nm)/Alq(60 nm)/Liq(2 nm)/Al(120 nm)需要达到最低器件性能：@电流密度5 mA/cm2，电压3V，3.6 cd/A，2.4 lm/W，色坐标（0.35,0.53），波峰532 nm。9、其他伴随服务1）提供备用配件一套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各1套。2）质保期不少于3年，腔体内衬板免费清洗每年2次，软件终身免费升级。
售后服务服务年限:12月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

报价地址：http://**
项目名称有机-金属热蒸 镀系统项目编号ZBZXHB*
公告开始日期*公告截止日期*
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技术参数及配置要求1、整体性能1）蒸镀机能够同时蒸镀4个器件，并且1轮蒸镀（1个run）可实现4种不同器件结构的制备；2）采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质进口铝型材搭建；3）机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定设备。4）具有等离子体清洗基片功能。2、样品台1）可安装4个尺寸20mm*20mm的基片托盘，可真空状态下更换掩膜板，具体12面掩膜图案结构图形根据要求定制，图案可更改；2）基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-60转/分可调；3）提供一套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm；4）样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性；5）挡板采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制。3、蒸发源1）共12组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板；2）配3套蒸发电源，一套功率1.4KW及以上，两套功率0.6KW以上，用于蒸发金属和有机材料，可切换到12组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率；3）有机和金属蒸发源均带有水冷功能。4、膜厚测量系统1）采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；2）膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度优于1A；频率分辨率0.01Hz，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率；膜厚仪可以实现4源共蒸。3）石英晶振探头4个，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。5、蒸发腔体1）腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸约为380×380×570mm；2）腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理；3）腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕；4）腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。6、蒸镀真空系统1）极限真空优于：3.5×10-7torr；2）主泵抽速不低于700L/S，采用分子泵；3）前级泵抽速不低于15 m3/h；4）气动高真空插板阀，通径大于等于150mm；5）带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；6）腔体充氮气，从大气抽至3*10-6torr的时间要求小于15分钟。7）提供腔体RGA分析报告。7、蒸镀软件控制系统1）采用PLC+触摸屏控制模式；2）真空系统的控制分为手动和自动二种模式。自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭；3）带有膜厚测量控制屏，可通过膜厚仪触摸屏的相关操作；4）带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温，也可手动输入控制数据；5）带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制；可完成更换掩膜板的操作。8、验收、培训及服务1）负责镀膜系统与惰性气体环境系统的对接和调试；2）提供设备的操作培训；3）提供设备的常见问题处理培训，日常维护保养培训；4）提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训，包括有蒸镀技巧，共蒸发注意事项，掺杂蒸发技巧，常见有机材料选用注意事项等，并提供设备样机试用时的有机及金属材料，同时对各项指标进行验收，若不能满足用户实验需求，用户可退货；同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。设备验收时采用的试机器件结构：HAT-CN(10 nm)/NPB(60 nm)/Alq(60 nm)/Liq(2 nm)/Al(120 nm)需要达到最低器件性能：@电流密度5 mA/cm2，电压3V，3.6 cd/A，2.4 lm/W，色坐标（0.35,0.53），波峰532 nm。9、其他伴随服务1）提供备用配件一套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各1套。2）质保期不少于3年，腔体内衬板免费清洗每年2次，软件终身免费升级。
售后服务服务年限:12月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

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