招标项目编号：

C*6001

招标项目名称：

离子束刻蚀机、小束流离子注入机、阵列式MOEMS滤光模块晶圆级动态测试系统

标段（包）名称/编号：

离子束刻蚀机/C**

终止原因：

该标段（包）因购买招标文件的潜在投标人不足三家，不满足法定开标条件，导致终止。

投诉/异议受理:

标段（包）名称/编号：

小束流离子注入机/C**

终止原因：

该标段（包）因购买招标文件的潜在投标人不足三家，不满足法定开标条件，导致终止。

投诉/异议受理:

标段（包）名称/编号：

阵列式MOEMS滤光模块晶圆级动态测试系统/C**

终止原因：

该标段（包）因购买招标文件的潜在投标人不足三家，不满足法定开标条件，导致终止。

投诉/异议受理:

招标项目编号：

C*6001

招标项目名称：

离子束刻蚀机、小束流离子注入机、阵列式MOEMS滤光模块晶圆级动态测试系统

标段（包）名称/编号：

离子束刻蚀机/C**

终止原因：

该标段（包）因购买招标文件的潜在投标人不足三家，不满足法定开标条件，导致终止。

投诉/异议受理:

标段（包）名称/编号：

小束流离子注入机/C**

终止原因：

该标段（包）因购买招标文件的潜在投标人不足三家，不满足法定开标条件，导致终止。

投诉/异议受理:

标段（包）名称/编号：

阵列式MOEMS滤光模块晶圆级动态测试系统/C**

终止原因：

该标段（包）因购买招标文件的潜在投标人不足三家，不满足法定开标条件，导致终止。

投诉/异议受理: