紫外光刻机（JJ2023000056）延期公告
发送至邮箱
紫外光刻机（JJ2023000056）延期公告
| 项目名称 | 紫外光刻机 | 项目编号 | JJ* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
| 采购单位 | 福州大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 内贸：合同签订后5个工作日内 |
| 预 算 | *.0 | ||
| 收货地址 | 福大晋江科教园 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 紫外光刻机 | 1 | 台 | 其他电气设备 |
| 品牌 | (略) 光电技术研究所 |
|---|---|
| 型号 | URE-2000/35A |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | *.0 |
| 技术参数及配置要求 | 曝光面积6 英寸曝光波长365nm分辨力1-1.2μm（胶厚2μm 的正胶)对准精度±0.8 μm掩模样片整体运动范围X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸样片尺寸：直径 φ15mm-- φ 150mm （各种不规则片)厚度0.1mm-6mm具备真空接触曝×S硬接触曝×S压力接触曝×Wr及接近式曝×四种功能照明a均匀性Y 6%（φ150mm范围)双目双视场对准显微镜；既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物镜三对：4倍、10倍、20倍目镜三对：10倍、16倍、20倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口，也具备接近模块接口掩模相对样片运动行程：X: ±5mm;Y: ±5mm;θ :±6o最大焦厚350μm （SU8胶，用户提供检测条件)光源平行性：3.5 o曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 o单层曝光一键完成采用球气浮自动找平汞灯功率350W（直流，进口) |
| 售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算一年; |
| 项目名称 | 紫外光刻机 | 项目编号 | JJ* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
| 采购单位 | 福州大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 内贸：合同签订后5个工作日内 |
| 预 算 | *.0 | ||
| 收货地址 | 福大晋江科教园 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 紫外光刻机 | 1 | 台 | 其他电气设备 |
| 品牌 | (略) 光电技术研究所 |
|---|---|
| 型号 | URE-2000/35A |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | *.0 |
| 技术参数及配置要求 | 曝光面积6 英寸曝光波长365nm分辨力1-1.2μm（胶厚2μm 的正胶)对准精度±0.8 μm掩模样片整体运动范围X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸样片尺寸：直径 φ15mm-- φ 150mm （各种不规则片)厚度0.1mm-6mm具备真空接触曝×S硬接触曝×S压力接触曝×Wr及接近式曝×四种功能照明a均匀性Y 6%（φ150mm范围)双目双视场对准显微镜；既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物镜三对：4倍、10倍、20倍目镜三对：10倍、16倍、20倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口，也具备接近模块接口掩模相对样片运动行程：X: ±5mm;Y: ±5mm;θ :±6o最大焦厚350μm （SU8胶，用户提供检测条件)光源平行性：3.5 o曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 o单层曝光一键完成采用球气浮自动找平汞灯功率350W（直流，进口) |
| 售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算一年; |
福建
福建
福建
福建
福建
福建
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
