详情见附件
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沈阳仪 (略) 6 寸氧化炉设备采购 项目
重新 招标公告
招标编号： XDZH-2023YBHW-08
1. 招标条件
本招标项目为 6 寸氧化炉设备采购项目 ，招标人为 沈阳仪 (略) 有限
公司 ， 资金来源为 企业自筹 。该项目已具备招标条件，现对 6 寸氧化炉设备采购
项目 进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容： 6 寸氧化炉 1 套 ，最高限价 410 万元 。
2.2 设备主要用途：
通过精确稳定的工艺参数控制，实现在硅表面均匀生长二氧化硅的目的。
2.3 系统组成：
整机由五个部分构成，即扩散炉主体含 316L 排毒箱加热炉体气源
柜净化工作台送料装置。
2.4 主要技术参数 ：
2.4.1 具有 profile 串级控温功能，避免定期拉炉温
2.4.2 样品运动方式 ： 采用进口碳化硅浆放石英晶舟的方式配合电机进行自
动送样 /取样，人工上下片。
1 送料装置重复定位精度 1mm
2 送料装置最大承载能力： 17Kg
3 推拉舟平稳运行：进出时无抖动
2.4.3 氧化不均匀性：片内 0.5%，片间 0.5%，批间 0.5% 2.2um 厚度下
氢氧合成步 10 小时，点火泡单独设计
2.4.4 氧化炉体相关参数要求
1 工作温度范围： 800 1150
2 炉管层间影响上下炉管降温保养时： SPIKE 控温炉管 PROFILE 热偶
温度波动 1
3 恒温区长度及精度 800 1200： 800mm / 1
4 单点温度稳定性 800 1200： 1 /24h
5 升温时间 :(从室温升至 1200 )： 90min
6 最大可控升温速度 (600 1200 )： 10 /min
7 最大可控降温速度 (1200 900 ) ： 3 /min
8 热电偶： S 型进口偶丝
9 两台 3 管设备，其中 4 管氧化， 1 管合金， 1 管 H2 退火
合金和退火要求如下
恒温区长度及精度：包含 400 800： 800mm / 1
单点温度稳定性 400 800： 1 /24h
升温过冲： 5
最大可控升温速度 (600 1200 )： 10 /min
最大可控降温速度 (1200 900 ) ： 5 /min
2.4.5 要求每台设备配备 PROT-MA6 简易倒片装置或同类产品。
2.5 交货期： 合同签订后 6 个月内 。
2.6 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 投标单位必须是制造商且 应具有相关产品的生产经验
3.3 投标单位 2020 年至今 销售 同类设备业绩大于 50 台
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间： 2023 年 7 月 13 日至 2023 年 7 月 19 日，每天上午 9:00 至
11:30 时，下午 13:30 至 16: 00 时北京时间，节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。
4.3 招标文件购买 方式 ： 在发售时间内， 于 (略) 皇姑区昆山中路万众商务
大厦 1705室 现场领购或 通过电子邮件 xdgjybyyeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 8 月 3 日 9 时 30 分 前 现场 递交至
北京兴电 (略) 会议室地址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号 万众
商务大厦 。
5.2 逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站 http://**
上发布，因轻信其他组织个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人： 沈阳仪 (略)
地 址： (略) 大东区北海街 242 号
联 系 人： 潘浩
电 话： 024-*

招标代理机构：北京兴电 (略)
地 址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人： 尹洪伟付云鹏
联系电话： *
电子邮箱： xdgjybyyeah.net


招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人： 签名
招标人或其招标代理机构： 盖章
2023 年 7 月 12 日
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沈阳仪 (略) 6 寸氧化炉设备采购 项目
重新 招标公告
招标编号： XDZH-2023YBHW-08
1. 招标条件
本招标项目为 6 寸氧化炉设备采购项目 ，招标人为 沈阳仪 (略) 有限
公司 ， 资金来源为 企业自筹 。该项目已具备招标条件，现对 6 寸氧化炉设备采购
项目 进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容： 6 寸氧化炉 1 套 ，最高限价 410 万元 。
2.2 设备主要用途：
通过精确稳定的工艺参数控制，实现在硅表面均匀生长二氧化硅的目的。
2.3 系统组成：
整机由五个部分构成，即扩散炉主体含 316L 排毒箱加热炉体气源
柜净化工作台送料装置。
2.4 主要技术参数 ：
2.4.1 具有 profile 串级控温功能，避免定期拉炉温
2.4.2 样品运动方式 ： 采用进口碳化硅浆放石英晶舟的方式配合电机进行自
动送样 /取样，人工上下片。
1 送料装置重复定位精度 1mm
2 送料装置最大承载能力： 17Kg
3 推拉舟平稳运行：进出时无抖动
2.4.3 氧化不均匀性：片内 0.5%，片间 0.5%，批间 0.5% 2.2um 厚度下
氢氧合成步 10 小时，点火泡单独设计
2.4.4 氧化炉体相关参数要求
1 工作温度范围： 800 1150
2 炉管层间影响上下炉管降温保养时： SPIKE 控温炉管 PROFILE 热偶
温度波动 1
3 恒温区长度及精度 800 1200： 800mm / 1
4 单点温度稳定性 800 1200： 1 /24h
5 升温时间 :(从室温升至 1200 )： 90min
6 最大可控升温速度 (600 1200 )： 10 /min
7 最大可控降温速度 (1200 900 ) ： 3 /min
8 热电偶： S 型进口偶丝
9 两台 3 管设备，其中 4 管氧化， 1 管合金， 1 管 H2 退火
合金和退火要求如下
恒温区长度及精度：包含 400 800： 800mm / 1
单点温度稳定性 400 800： 1 /24h
升温过冲： 5
最大可控升温速度 (600 1200 )： 10 /min
最大可控降温速度 (1200 900 ) ： 5 /min
2.4.5 要求每台设备配备 PROT-MA6 简易倒片装置或同类产品。
2.5 交货期： 合同签订后 6 个月内 。
2.6 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 投标单位必须是制造商且 应具有相关产品的生产经验
3.3 投标单位 2020 年至今 销售 同类设备业绩大于 50 台
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间： 2023 年 7 月 13 日至 2023 年 7 月 19 日，每天上午 9:00 至
11:30 时，下午 13:30 至 16: 00 时北京时间，节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。
4.3 招标文件购买 方式 ： 在发售时间内， 于 (略) 皇姑区昆山中路万众商务
大厦 1705室 现场领购或 通过电子邮件 xdgjybyyeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 8 月 3 日 9 时 30 分 前 现场 递交至
北京兴电 (略) 会议室地址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号 万众
商务大厦 。
5.2 逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
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上发布，因轻信其他组织个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人： 沈阳仪 (略)
地 址： (略) 大东区北海街 242 号
联 系 人： 潘浩
电 话： 024-*

招标代理机构：北京兴电 (略)
地 址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人： 尹洪伟付云鹏
联系电话： *
电子邮箱： xdgjybyyeah.net


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招标人或其招标代理机构： 盖章
2023 年 7 月 12 日
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