DK原子层沉积装置招标变更

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DK原子层沉积装置招标变更



DK原子层沉积装置（JJ2023002333）延期公告
发布时间：2023-09-20 10:13:08阅读量：8 次

延期信息
延期理由：由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2023-09-21 11:00


项目名称DK原子层沉积装置项目编号JJ*
公告开始日期2023-09-20 10:13:08公告截止日期2023-09-21 11:00:00
采购单位南开大学付款方式供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求合同签定生效后30个工作日内
预算总价未公布
发票要求
收货地址南开大学八里台校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2023-09-21 11:00



采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
DK原子层沉积装置1台无

品牌诺图
型号D100-4882
技术参数及配置要求一、设备组成
(一) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件；
(二) 样品基片尺寸：4英寸；
(三) 反应器加热温度：室温~400℃
(四) 4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国Swagelok）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门，4个加热套，可对管路和3路源进行加热（室温～200℃）
(五) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口；配备4个VCR接口不锈钢源瓶2个VCR接口大口径隔膜阀和2个直通耐高温球阀；
(六) 采用8通道阀岛（德国进口）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）；
(七) 采用8通道高精度PID温控系统；
(八) 载气和臭氧：采用数字流量计程序控制；
(九) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路；
(十) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵。
(十一) 臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制；数字流量计控制流量，控制精度可达到±0.3 sccm
(十二) 预装Windows笔记本电脑；
(十三) 集成整合界面自动控制软件 程序控制两种工作模式（Flow type和Close type）可选。
二、技术指标：
基片尺寸：4英寸及以下
基片加热温度：室温～400℃，控制精度0.1℃
前驱体输运系统：4路前驱体管路，可根据客户需要进行选配
前驱体管路温度：室温～200℃，控制精度0.1℃
源瓶加热温度：室温～200℃，控制精度0.1℃
ALD阀门 ：美国进口世伟洛克Swagelok快速高温ALD专用阀门
真空系统：抽速3 L/s，极限压力可达到6 × 10-3 mbar 配备油雾过滤器
载气系统：采用8通道阀岛（德国进口）集成气动控制系统，并采用不锈钢管路，所用载气为高纯N2/Ar
反应气体系统：配置不锈钢气体管路和七星华创数字流量计，控制精度可达到±0.3 sccm
生长模式：Flow type和Close type两种可选
控制系统：操作界面统一整合到笔记本电脑进行控制
电源：220V/10A交流电源
沉积非均匀性：非均匀性＜± 1%
设备尺寸：700mm x 680mm x 990mm
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

南开大学

2023-09-20 10:13:08







DK原子层沉积装置（JJ2023002333）延期公告
发布时间：2023-09-20 10:13:08阅读量：8 次

延期信息
延期理由：由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2023-09-21 11:00


项目名称DK原子层沉积装置项目编号JJ*
公告开始日期2023-09-20 10:13:08公告截止日期2023-09-21 11:00:00
采购单位南开大学付款方式供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求合同签定生效后30个工作日内
预算总价未公布
发票要求
收货地址南开大学八里台校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2023-09-21 11:00



采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
DK原子层沉积装置1台无

品牌诺图
型号D100-4882
技术参数及配置要求一、设备组成
(一) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件；
(二) 样品基片尺寸：4英寸；
(三) 反应器加热温度：室温~400℃
(四) 4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国Swagelok）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门，4个加热套，可对管路和3路源进行加热（室温～200℃）
(五) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口；配备4个VCR接口不锈钢源瓶2个VCR接口大口径隔膜阀和2个直通耐高温球阀；
(六) 采用8通道阀岛（德国进口）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）；
(七) 采用8通道高精度PID温控系统；
(八) 载气和臭氧：采用数字流量计程序控制；
(九) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路；
(十) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵。
(十一) 臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制；数字流量计控制流量，控制精度可达到±0.3 sccm
(十二) 预装Windows笔记本电脑；
(十三) 集成整合界面自动控制软件 程序控制两种工作模式（Flow type和Close type）可选。
二、技术指标：
基片尺寸：4英寸及以下
基片加热温度：室温～400℃，控制精度0.1℃
前驱体输运系统：4路前驱体管路，可根据客户需要进行选配
前驱体管路温度：室温～200℃，控制精度0.1℃
源瓶加热温度：室温～200℃，控制精度0.1℃
ALD阀门 ：美国进口世伟洛克Swagelok快速高温ALD专用阀门
真空系统：抽速3 L/s，极限压力可达到6 × 10-3 mbar 配备油雾过滤器
载气系统：采用8通道阀岛（德国进口）集成气动控制系统，并采用不锈钢管路，所用载气为高纯N2/Ar
反应气体系统：配置不锈钢气体管路和七星华创数字流量计，控制精度可达到±0.3 sccm
生长模式：Flow type和Close type两种可选
控制系统：操作界面统一整合到笔记本电脑进行控制
电源：220V/10A交流电源
沉积非均匀性：非均匀性＜± 1%
设备尺寸：700mm x 680mm x 990mm
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

南开大学

2023-09-20 10:13:08





    
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