燕东科技12吋化学气相沉积设备采购国际招标澄清或变更公告2
燕东科技12吋化学气相沉积设备采购国际招标澄清或变更公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 燕东科技12吋化学气相沉积设备采购 | 1批 | 1 等离子体化学气相沉积设备 1台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“BPTEOS的工艺 2 高密度等离子化学气相沉积设备 1台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“USG”的工艺 3 高密度等离子化学气相沉积设备 1台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“FSG ”的工艺 | 招标编号:0610-2340IH* |
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1 | 燕东科技12吋化学气相沉积设备采购 | 1批 | 1 等离子体化学气相沉积设备 1台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“BPTEOS的工艺 2 高密度等离子化学气相沉积设备 1台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“USG”的工艺 3 高密度等离子化学气相沉积设备 1台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“FSG ”的工艺 | 招标编号:0610-2340IH* |
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