详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
沈阳仪 (略) 等离子体去胶机设备采购项目
重新公开招标公告
招标编号：XDZH-2023YBHW-17
公告发布时间：2023 年 11 月 9 日
1. 招标条件
本招标项目为等离子体去胶机设备采购项目，招标人为沈阳仪 (略)
有限公司，为高精度传感器项目专项资金。该项目已具备招标条件，现对等离子
体去胶机设备采购项目进行重新公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容：等离子体去胶机设备 1 台，最高限价 80 万元。
2.2 主要技术要求：
2.2.1 激发源为微波，频率2.45GH Z
2.2.2 电源功率不低于 900W
2.2.3 可以一次性加工25 片6 寸片，手动放片，自动运行工艺
2.2.4 支持 3 路气路，并配备 MFC，MFC 为 horiba 或者经过其他半导体产
线验证过的平替品牌
2.2.5 配备爱德华真空泵
2.2.6 本底真空度：50mtorr 或更佳，抽本底真空时间不高于 1min
2.3 交货期：6 个月内。
2.4 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上
相关产品的销售经验
3.4 同类产品业绩不低于 10 台业绩
3.5 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 11 月 10 日 9:00 时至 2023 年 11 月 16 日 16: 00
时（北京时间），节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 300 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内， (略) 皇姑区昆山中路万众商务
大厦1705室现场领购或通过电子邮件xdgj yby yeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明 法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 12 月 1 日 9 时 30 分前现场
递交至北京兴电 (略) 会议室（地址： (略) 皇姑区昆山中路 2
号万众商务大厦）。
5.2 逾期送达的 未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站（http://**）
上发布，因轻信其他组织 个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人 招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人：沈阳仪 (略)
地 址： (略) 大东区北海街 242 号
联 系 人：潘浩
电 话：024-*
招标代理机构：北京兴电 (略)
地 址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：尹洪伟 付云鹏
联系电话：*
电子邮箱：xdgj yby yeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
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沈阳仪 (略) 等离子体去胶机设备采购项目
重新公开招标公告
招标编号：XDZH-2023YBHW-17
公告发布时间：2023 年 11 月 9 日
1. 招标条件
本招标项目为等离子体去胶机设备采购项目，招标人为沈阳仪 (略)
有限公司，为高精度传感器项目专项资金。该项目已具备招标条件，现对等离子
体去胶机设备采购项目进行重新公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容：等离子体去胶机设备 1 台，最高限价 80 万元。
2.2 主要技术要求：
2.2.1 激发源为微波，频率2.45GH Z
2.2.2 电源功率不低于 900W
2.2.3 可以一次性加工25 片6 寸片，手动放片，自动运行工艺
2.2.4 支持 3 路气路，并配备 MFC，MFC 为 horiba 或者经过其他半导体产
线验证过的平替品牌
2.2.5 配备爱德华真空泵
2.2.6 本底真空度：50mtorr 或更佳，抽本底真空时间不高于 1min
2.3 交货期：6 个月内。
2.4 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上
相关产品的销售经验
3.4 同类产品业绩不低于 10 台业绩
3.5 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 11 月 10 日 9:00 时至 2023 年 11 月 16 日 16: 00
时（北京时间），节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 300 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内， (略) 皇姑区昆山中路万众商务
大厦1705室现场领购或通过电子邮件xdgj yby yeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明 法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 12 月 1 日 9 时 30 分前现场
递交至北京兴电 (略) 会议室（地址： (略) 皇姑区昆山中路 2
号万众商务大厦）。
5.2 逾期送达的 未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站（http://**）
上发布，因轻信其他组织 个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人 招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人：沈阳仪 (略)
地 址： (略) 大东区北海街 242 号
联 系 人：潘浩
电 话：024-*
招标代理机构：北京兴电 (略)
地 址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：尹洪伟 付云鹏
联系电话：*
电子邮箱：xdgj yby yeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
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