品牌

上海睿津、厦门韫茂、厦门毅锐

型号

QBI-10、Mini Desktop ALD、TH-20

技术规格及参数

1.1 设备整体尺寸：590 x 470 x 470 mm；
1.2 工艺温度：正常室温到360℃之间可调；
1.3 成膜不均匀性：<1%（氧化铝）；
1.4 前驱体源：配备 4 个单管式 50ml 前驱体源，一条清扫气线；
1.5 源瓶配备5 个单管式 50ml 前驱体源，含 5个手阀；
1.6 源瓶加热器配备2 个 180℃单管加热器，精度：180±1 oC；
1.7 进样室采用抽屉式样品装载样品，可装载6寸晶圆片；
1.8 腔体需为高温真空腔体腔，温度控制精度 360 ±1 oC；
1.9 设备包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤5ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路设计采用双ALD阀门设计，可实现定量进源；
1.10 阀组采用自动化加热，最高加热温度：180 oC；
1.11 气体质量流量计： 1 个精确的载气流量控制，氩/氮气最大量程 200sccm；
1.12 真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 10torr 电容薄膜；
1.13 真空泵抽速：配备爱德华 E2M28 抽速：28m3/H；，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤10S；
1.14 设备极限真空度≤50mtorr；
1.15 需配备腔体衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落；
1.16 配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵；
1.17 需配备一体式工控机：12.1 寸，带触摸功能；
1.18 软件基本功能：行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能；
1.19 报警及安全控制 ：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统；
1.20 可集成最高浓度 10%臭氧发生器模块，替代水工艺。

质保期

1年

售后要求

1. 质保期：中标人提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务； 2. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，24小时内派员上门现场维护，并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用； 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证； 4. 技术培训：在用户所在地对用户进行为期1天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等,保证用户至少2人能熟练操作仪器和分析数据。验收后半年内组织买方相关人员2人免费参加在厂家举办的相关应用培训班。

品牌

上海睿津、厦门韫茂、厦门毅锐

型号

QBI-10、Mini Desktop ALD、TH-20

技术规格及参数

1.1 设备整体尺寸：590 x 470 x 470 mm；
1.2 工艺温度：正常室温到360℃之间可调；
1.3 成膜不均匀性：<1%（氧化铝）；
1.4 前驱体源：配备 4 个单管式 50ml 前驱体源，一条清扫气线；
1.5 源瓶配备5 个单管式 50ml 前驱体源，含 5个手阀；
1.6 源瓶加热器配备2 个 180℃单管加热器，精度：180±1 oC；
1.7 进样室采用抽屉式样品装载样品，可装载6寸晶圆片；
1.8 腔体需为高温真空腔体腔，温度控制精度 360 ±1 oC；
1.9 设备包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤5ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路设计采用双ALD阀门设计，可实现定量进源；
1.10 阀组采用自动化加热，最高加热温度：180 oC；
1.11 气体质量流量计： 1 个精确的载气流量控制，氩/氮气最大量程 200sccm；
1.12 真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 10torr 电容薄膜；
1.13 真空泵抽速：配备爱德华 E2M28 抽速：28m3/H；，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤10S；
1.14 设备极限真空度≤50mtorr；
1.15 需配备腔体衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落；
1.16 配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵；
1.17 需配备一体式工控机：12.1 寸，带触摸功能；
1.18 软件基本功能：行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能；
1.19 报警及安全控制 ：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统；
1.20 可集成最高浓度 10%臭氧发生器模块，替代水工艺。

质保期

1年

售后要求

1. 质保期：中标人提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务； 2. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，24小时内派员上门现场维护，并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用； 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证； 4. 技术培训：在用户所在地对用户进行为期1天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等,保证用户至少2人能熟练操作仪器和分析数据。验收后半年内组织买方相关人员2人免费参加在厂家举办的相关应用培训班。