详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)

设备名称	功能与指标
IBS光 学 镀膜机	? 用于半导体激光器端面光学镀膜的离子束溅射设备。真空系统? 真空室尺寸：不小于Φ1100 * 900 (mm)? 极限真空：<4.0e-5 Pa(12H以内)? 抽速：60分钟内达到1.1e-3 Pa (洁净，冷态）? 真空泵：冷泵? 泄漏率：< 3.0e-5 Pa m3/s离子源? 辅助离子源：PPG或Veeco 12cm射频离子源（弧面）1套，含中和器电源电压50 - 1500V电流25- 400mA? 溅射离子源：PPG或Veeco 16cm射频离子源（三焦点）1套，含中和器电源电压100 - 1500V电流100 - 600mA? 支持气体：Ar, N2, O2, Xe加热系统? 加热范围： ≤ 150℃? 加热时间： 40min 内> 120℃? 温度均匀性： > 120℃时±5℃翻转基板结构? 转速： 10-600rpm 无极可调，转轴跳动< 0.025mm? 双面镀膜： 支持自动翻面镀膜。? 基板尺寸：可搭载不少于8个50 x 45(mm) Laser Bar 治具溅射靶系统? 换位切换：支持? 定位摆动：支持小角度摆动? 位置可调：手动左右调整（±25mm）? 数量：配备3块直径14英寸靶材背板? 材 料 ： 钛 ， 铝 （ 厚 度 1/4英 寸 ） ；SiO2，五氧化二钽（厚度1/2 英寸）光控/控制系统? 光控系统：PEAKTRA透射式光学膜厚自动监控系统? 波长范围：400-700 nm (白光光控）? 控制系统：PEAKTRA
	工艺验证? AR性能验证1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.05%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.01%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率。? AR重复性验证0.01%反射率重复性验证：①每个镀膜炉次，选择2个相对位置，各放置1根巴条(FP)；每根巴条选择首尾2颗芯片，拟合AR值＜0.01%；即共计4颗芯片AR拟合值均＜0.01%；②按照上述操作，重复3个镀膜炉次；每个炉次取4颗芯片，AR拟合值均＜0.01%。? HR性能验证选择2个相对位置，放置Si/InP片均可，利用分光度计测试，波长1240~130nm范围内HR反射率93±0.5%；重复3个炉次，两个对角测试，波长1240~130nm范围内HR反射率93±0.5%。? 粘附性验证在BK7和Si片沉积AR/HR薄膜后，用划刀进行田子格测试，3M胶带粘三次无脱膜现象。? 应力验证在2寸Si基底上沉积AR膜和HR膜；AR、HR膜层进行应力测试，应力值满足＜±*@*°和90°。? 非气密性验证带有AR/HR膜层的陪片(BK7)，在沸水煮72H后，水煮前后监控片的透过率变化＜0.5%。设备高度：厂房高度2.8米，设备进厂房时，高度不能超过2.6米；交期：2024-5-15前，需交付；交付地：鹤壁。
设备名称	功能与指标
自动楔形球焊机	? 设备功能：实现球焊、楔焊功能，球焊、楔焊切换时间控制在30分钟以内。? 设备指标：有效XY工作区域尺寸200mm*200mm；Z轴行程50mm工作台可升降，加热台温度：0—300±0.5 ℃可调。? 固定方式：真空吸附&夹持? 腔深设备指标：球 焊 --标准劈刀（19mm），常规腔深≤10mm；极限腔深≤11.5mm。楔焊--标准劈刀（25mm），≤15mm。? 焊接精度：焊点对位精度自动机对位精度设备指标±*@*s,±0.1°@3s（离散度考量），考虑尾丝偏摆，断丝尾丝末端形态影响，指标可根据实际结果评估。技术中心测试以极大值不超金丝半径为标准范围内离散分布。? 键合压力：1-300g精度0.1g,在线可编程Theta旋转轴行程：楔焊-360°--360°；球焊-90°--90°? 软限位行程。? 相机视场范围：4.2mm*3.5mm? UPH:2-7线/秒? 线轴：要求2英寸标准线轴? 可键合材料：金丝? 尾丝：尾 丝 长 度 要 求 1-2倍引线直径，尾丝长度影响焊点长度最终占比，行业内尾丝要求：金丝尾丝 长 度 以 1/2-1倍引线直径，例25μm金丝按12.5~25um范围实施；铝丝尾丝长度以1-1.5倍引线直径。? 特殊线弧：具备三点两弧? 弧度：弧高弧形要求一致且外观美观。? 断尾：断尾一致，二焊点被带走部分面积占比＜6%。
	? 丝外观：外观无明现损伤，无金屑掉落。? 推拉力：球焊拉力≥6g且不能脱点，推力≥2g；楔焊拉力≥6g且不能脱点。? 上料模式：人工手动上料。? 配件：球焊劈刀20个，楔焊劈刀10个。? 配备：TO夹具、COC夹具、蝶形夹具、BOX夹具，夹具备灵活可调。? 20AC±10%@50Hz，10A。? 质保服务：要求不低于3年。? 人员培训：要求设备供方现场培训1-2人，设备功能操作及维护。

河南仕佳光子科技股份有限公司设备采购项目（二次）单一来源公告
（招标编号：ZDCG-2024-0129）
一、内容：
河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
单一来源公告
中鼎 (略) 受河南仕佳 (略) 委托，对河南仕
佳 (略) 设备采购项目进行招标，于2024年2月8日9点30分在河
南仕佳 (略) 会议室进行开标，其中1、2、5、标段响应人数不
足三家，1、2、5标段招标失败。 (略) 场上满足其标段的要求的投标人数极
少，现采用单一来源的方式进行采购。因一标段暂不具备条件，择期进行。现
将本次采购（2标段、5标段）相关信息公布如下：
一、项目基本情况
1.项目编号：ZDCG-2024-0129
2.项目名称：河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
3.采购方式：单一来源
4.采购内容：河南仕佳 (略) 设备采购（详见采购清单及要求
）
5.质保期：3年
6.交货期：合同签订后3个月内
7.资金来源：自有资金+财政配套
8、标段划分及个标段采购预算：
本项目共分为5个标段。本次采购的标段为：
序号 包号 包名称 包预算
(万元) 包最高限价
(万元)
2 2 河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
（二标段） 670 670
5 5 河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
（五标段） 139 139
采购内容：
标段 设备名称 单位 数量
二标段 IBS光学镀膜机/ECR镀膜设备 台 1
五标段 自动楔形球焊 台 1
详细参数详见附件。
二、供应商资格条件
1.满足《中华人民共和国政府采购法》 第二十二条规定：
1.1具有独立承担民事责任的能力，具备有效的三证合一营业执照；
1.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供承诺书，格式自拟) ；
1.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(提供承诺书，格式自拟) ；
1.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录(提供承诺书，格式自拟) ；
1.5参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录(提供承诺书
， 新公司以实际 成立年限为准，格式自拟) ；
1.6法律、行政法规规定的其他条件。
3.本项目的特定资格要求：
3.1财务要求：投标人须提供企业2022年度的财务审计报告（ (略)
必须提供自成立年度以来连续的财务报表），财务状况良好；
3.2根据《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[
2016]125 号) 的 规 定
，对列入“信用中国”网站(http://**.cn)
失信被执行人、重大税收违法失信主体； 中国政府采购网(http://**.cn)
政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，
拒绝参与本项目采购活动(供应商须提供承诺书，对承诺书真实性负责，
提供虚假承诺供应商承担全部责任)。
3.3本次采购不接受联合体。
三 、拟定供应商：
二标段： (略)
五标段：众望赛米控（天津） (略)
四、发布公告的媒介及招标公告期限：
本公告同时在《》、《中国电子招投标公共服务平台》网站
上发布，自本公告发布之日起5个工作日。
公告时间：2024年2月22日-2024年2月28日
五、开标日期时间：2024 年2 月 29 日 09 点 30 分（北京时间）
六、开标地点：河南仕佳 (略) 会议室
现将以上情况公示，如对此有异议，请于2024年2月28日17点30分前（公告期最
后一天），
七
、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。携带书面材料与以下联系人联系
，在改期限后提出的异议不再受理。
1.采购人信息
采购人： 河南仕佳 (略)
联系人：孔经理
联系电话：*
2.采购代理机构信息
采购代理机构： 中鼎 (略)
联系人：赵女士
联系电话： *
延期开标：2024-02-29 09:30:00
二、监督部门
本招标项目的监督部门为河南仕佳 (略) 监督科。
三、联系方式
招 标 人：河南仕佳 (略)
地 址： (略) 淇滨区延河路201号
联 系 人：孔经理
电 话：*
电子邮件：*@*q.com
招标代理机构：中鼎 (略)
地 址： (略) 金水区纬五路12号河南合作大厦B座10楼
联 系 人： 赵女士
电 话： *
电子邮件： *@*q.com
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
二标段：
设备名称
功能与指标
IBS光 学 镀
膜机
? 用于半导体激光器端面光学镀膜的离子束溅射设备。
真空系统
? 真空室尺寸：不小于Φ1100 * 900 (mm)
? 极限真空：<4.0e-5 Pa(12H以内)
? 抽速：60分钟内达到1.1e-3 Pa (洁净，冷态）
? 真空泵：冷泵
? 泄漏率：< 3.0e-5 Pa m3/s
离子源
? 辅 助 离 子 源 ： PPG或 Veeco 12cm射 频 离 子 源 （ 弧 面 ） 1
套，含中和器电源
电压50 - 1500V
电流25- 400mA
? 溅 射 离 子 源 ： PPG或 Veeco 16cm射 频 离 子 源 （ 三 焦 点 ） 1
套，含中和器电源
电压100 - 1500V
电流100 - 600mA
? 支持气体：Ar, N2, O2, Xe
加热系统
? 加热范围： ≤ 150℃
? 加热时间： 40min 内> 120℃
? 温度均匀性： > 120℃时±5℃
翻转基板结构
? 转速： 10-600rpm 无极可调，转轴跳动< 0.025mm
? 双面镀膜： 支持自动翻面镀膜。
? 基板尺寸：可搭载不少于8个50 x 45(mm) Laser Bar 治具
溅射靶系统
? 换位切换：支持
? 定位摆动：支持小角度摆动
? 位置可调：手动左右调整（±25mm）
? 数量：配备3块直径14英寸靶材背板
? 材 料 ： 钛 ， 铝 （ 厚 度 1/4英 寸 ） ；
SiO2，五氧化二钽（厚度1/2 英寸）
光控/控制系统
? 光控系统：PEAKTRA透射式光学膜厚自动监控系统
? 波长范围：400-700 nm (白光光控）
? 控制系统：PEAKTRA
工艺验证
? AR性能验证
1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；
0.1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；
0.05%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；
0.01%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率。
? AR重复性验证
0.01%反射率重复性验证：
①
每个镀膜炉次，选择2个相对位置，各放置1根巴条(FP)；每根
巴条选择首尾2颗芯片，拟合AR值＜0.01%；即共计4颗芯片AR
拟合值均＜0.01%；
②
按照上述操作，重复3个镀膜炉次；每个炉次取4颗芯片，AR拟
合值均＜0.01%。
? HR性能验证
选择2个相对位置，放置Si/InP片均可，利用分光光度计测试
，波长1240~1300nm范围内HR反射率93±0.5%；
重复3个炉次，两个对角测试，波长1240~1300nm范围内HR反射
率93±0.5%。
? 粘附性验证
在BK7和Si片沉积AR/HR薄膜后，用划刀进行田子格测试，
3M胶带粘三次无脱膜现象。
? 应力验证
在2寸Si基底上沉积AR膜和HR膜；
AR、HR膜层进行应力测试，应力值满足＜±*@*°和90°
。
? 非气密性验证
带有AR/HR膜层的陪片(BK7)，在沸水煮72H后，水煮前后监控
片的透过率变化＜0.5%。
设备高度：厂房高度2.8米，设备进厂房时，高度不能超过2.6米；
交期：2024-5-15前，需交付；
交付地：鹤壁。
其他要求：
1、供应商负责将货物按时按量送达采购人指定地点。
2、供应商提供的产品除需满足采购方招标文件中的相关要求外，其余应遵循最新版本的国
家标准。
3、设备电源接口符合中国电力标准及安全环保要求。
五标段：
设备名称
功能与指标
自 动 楔 形
球焊机
? 设备功能：实现球焊、楔焊功能，球焊、楔焊切换时间控制在
30分钟以内。
? 设备指标：有效XY工作区域尺寸200mm*200mm；Z轴行程50mm工
作台可升降，加热台温度：0—300±0.5 ℃可调。
? 固定方式：真空吸附&夹持
? 腔深设备指标：
球
焊
--
标准劈刀（19mm），常规腔深≤10mm；极限腔深≤11.5mm。
楔焊--标准劈刀（25mm），≤15mm。
? 焊接精度：
焊点对位精度自动机对位精度设备指标±*@*s,±0.1°@3
s（离散度考量），考虑尾丝偏摆，断丝尾丝末端形态影响，指标
可根据实际结果评估。
技术中心测试以极大值不超金丝半径为标准范围内离散分布。
? 键合压力：1-300g精度0.1g,在线可编程
Theta旋转轴行程：楔焊-360°--360°；球焊-90°--90°
? 软限位行程。
? 相机视场范围：4.2mm*3.5mm
? UPH:2-7线/秒
? 线轴：要求2英寸标准线轴
? 可键合材料：金丝
? 尾丝：
尾
丝
长
度
要
求
1-
2倍引线直径，尾丝长度影响焊点长度最终占比，行业内尾丝要求：金丝尾
丝
长
度
以
1/2-
1倍 引 线 直 径 ， 例 25μ m金 丝 按 12.5~25um范 围 实 施 ； 铝 丝 尾 丝 长 度 以 1-
1.5倍引线直径。
? 特殊线弧：具备三点两弧
? 弧度：弧高弧形要求一致且外观美观。
? 断尾：断尾一致，二焊点被带走部分面积占比＜6%。
? 丝外观：外观无明现损伤，无金屑掉落。
? 推拉力：球焊拉力≥6g且不能脱点，推力≥22g；楔焊拉力≥6g且不能
脱点。
? 上料模式：人工手动上料。
? 配件：球焊劈刀20个，楔焊劈刀10个。
? 配备：TO夹具、COC夹具、蝶形夹具、BOX夹具，夹具具备灵活可调。
? 220AC±10%@50Hz，10A。
? 质保服务：要求不低于3年。
? 人员培训：要求设备供方现场培训1-2人，设备功能操作及维护。
其他要求：
1、供应商负责将货物按时按量送达采购人指定地点。
2、供应商提供的产品除需满足采购方招标文件中的相关要求外，其余应遵循最新版本的国
家标准。
3、设备电源接口符合中国电力标准及安全环保要求。
三、项目要求
1、本项目投标供应商的报价为含税报价（含13%增值税专用发票）。
2、标2需要*方验厂通过后，合同生效。
3、本项目如投标设备为国产设备只允许生产商投标，进口设备可以接受代理商。各潜在
投标人参与投标时需提供相关身份证明材料，否则投标无效。

详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)

设备名称	功能与指标
IBS光 学 镀膜机	? 用于半导体激光器端面光学镀膜的离子束溅射设备。真空系统? 真空室尺寸：不小于Φ1100 * 900 (mm)? 极限真空：<4.0e-5 Pa(12H以内)? 抽速：60分钟内达到1.1e-3 Pa (洁净，冷态）? 真空泵：冷泵? 泄漏率：< 3.0e-5 Pa m3/s离子源? 辅助离子源：PPG或Veeco 12cm射频离子源（弧面）1套，含中和器电源电压50 - 1500V电流25- 400mA? 溅射离子源：PPG或Veeco 16cm射频离子源（三焦点）1套，含中和器电源电压100 - 1500V电流100 - 600mA? 支持气体：Ar, N2, O2, Xe加热系统? 加热范围： ≤ 150℃? 加热时间： 40min 内> 120℃? 温度均匀性： > 120℃时±5℃翻转基板结构? 转速： 10-600rpm 无极可调，转轴跳动< 0.025mm? 双面镀膜： 支持自动翻面镀膜。? 基板尺寸：可搭载不少于8个50 x 45(mm) Laser Bar 治具溅射靶系统? 换位切换：支持? 定位摆动：支持小角度摆动? 位置可调：手动左右调整（±25mm）? 数量：配备3块直径14英寸靶材背板? 材 料 ： 钛 ， 铝 （ 厚 度 1/4英 寸 ） ；SiO2，五氧化二钽（厚度1/2 英寸）光控/控制系统? 光控系统：PEAKTRA透射式光学膜厚自动监控系统? 波长范围：400-700 nm (白光光控）? 控制系统：PEAKTRA
	工艺验证? AR性能验证1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.05%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.01%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率。? AR重复性验证0.01%反射率重复性验证：①每个镀膜炉次，选择2个相对位置，各放置1根巴条(FP)；每根巴条选择首尾2颗芯片，拟合AR值＜0.01%；即共计4颗芯片AR拟合值均＜0.01%；②按照上述操作，重复3个镀膜炉次；每个炉次取4颗芯片，AR拟合值均＜0.01%。? HR性能验证选择2个相对位置，放置Si/InP片均可，利用分光度计测试，波长1240~130nm范围内HR反射率93±0.5%；重复3个炉次，两个对角测试，波长1240~130nm范围内HR反射率93±0.5%。? 粘附性验证在BK7和Si片沉积AR/HR薄膜后，用划刀进行田子格测试，3M胶带粘三次无脱膜现象。? 应力验证在2寸Si基底上沉积AR膜和HR膜；AR、HR膜层进行应力测试，应力值满足＜±*@*°和90°。? 非气密性验证带有AR/HR膜层的陪片(BK7)，在沸水煮72H后，水煮前后监控片的透过率变化＜0.5%。设备高度：厂房高度2.8米，设备进厂房时，高度不能超过2.6米；交期：2024-5-15前，需交付；交付地：鹤壁。
设备名称	功能与指标
自动楔形球焊机	? 设备功能：实现球焊、楔焊功能，球焊、楔焊切换时间控制在30分钟以内。? 设备指标：有效XY工作区域尺寸200mm*200mm；Z轴行程50mm工作台可升降，加热台温度：0—300±0.5 ℃可调。? 固定方式：真空吸附&夹持? 腔深设备指标：球 焊 --标准劈刀（19mm），常规腔深≤10mm；极限腔深≤11.5mm。楔焊--标准劈刀（25mm），≤15mm。? 焊接精度：焊点对位精度自动机对位精度设备指标±*@*s,±0.1°@3s（离散度考量），考虑尾丝偏摆，断丝尾丝末端形态影响，指标可根据实际结果评估。技术中心测试以极大值不超金丝半径为标准范围内离散分布。? 键合压力：1-300g精度0.1g,在线可编程Theta旋转轴行程：楔焊-360°--360°；球焊-90°--90°? 软限位行程。? 相机视场范围：4.2mm*3.5mm? UPH:2-7线/秒? 线轴：要求2英寸标准线轴? 可键合材料：金丝? 尾丝：尾 丝 长 度 要 求 1-2倍引线直径，尾丝长度影响焊点长度最终占比，行业内尾丝要求：金丝尾丝 长 度 以 1/2-1倍引线直径，例25μm金丝按12.5~25um范围实施；铝丝尾丝长度以1-1.5倍引线直径。? 特殊线弧：具备三点两弧? 弧度：弧高弧形要求一致且外观美观。? 断尾：断尾一致，二焊点被带走部分面积占比＜6%。
	? 丝外观：外观无明现损伤，无金屑掉落。? 推拉力：球焊拉力≥6g且不能脱点，推力≥2g；楔焊拉力≥6g且不能脱点。? 上料模式：人工手动上料。? 配件：球焊劈刀20个，楔焊劈刀10个。? 配备：TO夹具、COC夹具、蝶形夹具、BOX夹具，夹具备灵活可调。? 20AC±10%@50Hz，10A。? 质保服务：要求不低于3年。? 人员培训：要求设备供方现场培训1-2人，设备功能操作及维护。

河南仕佳光子科技股份有限公司设备采购项目（二次）单一来源公告
（招标编号：ZDCG-2024-0129）
一、内容：
河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
单一来源公告
中鼎 (略) 受河南仕佳 (略) 委托，对河南仕
佳 (略) 设备采购项目进行招标，于2024年2月8日9点30分在河
南仕佳 (略) 会议室进行开标，其中1、2、5、标段响应人数不
足三家，1、2、5标段招标失败。 (略) 场上满足其标段的要求的投标人数极
少，现采用单一来源的方式进行采购。因一标段暂不具备条件，择期进行。现
将本次采购（2标段、5标段）相关信息公布如下：
一、项目基本情况
1.项目编号：ZDCG-2024-0129
2.项目名称：河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
3.采购方式：单一来源
4.采购内容：河南仕佳 (略) 设备采购（详见采购清单及要求
）
5.质保期：3年
6.交货期：合同签订后3个月内
7.资金来源：自有资金+财政配套
8、标段划分及个标段采购预算：
本项目共分为5个标段。本次采购的标段为：
序号 包号 包名称 包预算
(万元) 包最高限价
(万元)
2 2 河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
（二标段） 670 670
5 5 河南仕佳 (略) 设备采购项目（二次）
（五标段） 139 139
采购内容：
标段 设备名称 单位 数量
二标段 IBS光学镀膜机/ECR镀膜设备 台 1
五标段 自动楔形球焊 台 1
详细参数详见附件。
二、供应商资格条件
1.满足《中华人民共和国政府采购法》 第二十二条规定：
1.1具有独立承担民事责任的能力，具备有效的三证合一营业执照；
1.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供承诺书，格式自拟) ；
1.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(提供承诺书，格式自拟) ；
1.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录(提供承诺书，格式自拟) ；
1.5参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录(提供承诺书
， 新公司以实际 成立年限为准，格式自拟) ；
1.6法律、行政法规规定的其他条件。
3.本项目的特定资格要求：
3.1财务要求：投标人须提供企业2022年度的财务审计报告（ (略)
必须提供自成立年度以来连续的财务报表），财务状况良好；
3.2根据《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[
2016]125 号) 的 规 定
，对列入“信用中国”网站(http://**.cn)
失信被执行人、重大税收违法失信主体； 中国政府采购网(http://**.cn)
政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，
拒绝参与本项目采购活动(供应商须提供承诺书，对承诺书真实性负责，
提供虚假承诺供应商承担全部责任)。
3.3本次采购不接受联合体。
三 、拟定供应商：
二标段： (略)
五标段：众望赛米控（天津） (略)
四、发布公告的媒介及招标公告期限：
本公告同时在《》、《中国电子招投标公共服务平台》网站
上发布，自本公告发布之日起5个工作日。
公告时间：2024年2月22日-2024年2月28日
五、开标日期时间：2024 年2 月 29 日 09 点 30 分（北京时间）
六、开标地点：河南仕佳 (略) 会议室
现将以上情况公示，如对此有异议，请于2024年2月28日17点30分前（公告期最
后一天），
七
、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。携带书面材料与以下联系人联系
，在改期限后提出的异议不再受理。
1.采购人信息
采购人： 河南仕佳 (略)
联系人：孔经理
联系电话：*
2.采购代理机构信息
采购代理机构： 中鼎 (略)
联系人：赵女士
联系电话： *
延期开标：2024-02-29 09:30:00
二、监督部门
本招标项目的监督部门为河南仕佳 (略) 监督科。
三、联系方式
招 标 人：河南仕佳 (略)
地 址： (略) 淇滨区延河路201号
联 系 人：孔经理
电 话：*
电子邮件：*@*q.com
招标代理机构：中鼎 (略)
地 址： (略) 金水区纬五路12号河南合作大厦B座10楼
联 系 人： 赵女士
电 话： *
电子邮件： *@*q.com
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
二标段：
设备名称
功能与指标
IBS光 学 镀
膜机
? 用于半导体激光器端面光学镀膜的离子束溅射设备。
真空系统
? 真空室尺寸：不小于Φ1100 * 900 (mm)
? 极限真空：<4.0e-5 Pa(12H以内)
? 抽速：60分钟内达到1.1e-3 Pa (洁净，冷态）
? 真空泵：冷泵
? 泄漏率：< 3.0e-5 Pa m3/s
离子源
? 辅 助 离 子 源 ： PPG或 Veeco 12cm射 频 离 子 源 （ 弧 面 ） 1
套，含中和器电源
电压50 - 1500V
电流25- 400mA
? 溅 射 离 子 源 ： PPG或 Veeco 16cm射 频 离 子 源 （ 三 焦 点 ） 1
套，含中和器电源
电压100 - 1500V
电流100 - 600mA
? 支持气体：Ar, N2, O2, Xe
加热系统
? 加热范围： ≤ 150℃
? 加热时间： 40min 内> 120℃
? 温度均匀性： > 120℃时±5℃
翻转基板结构
? 转速： 10-600rpm 无极可调，转轴跳动< 0.025mm
? 双面镀膜： 支持自动翻面镀膜。
? 基板尺寸：可搭载不少于8个50 x 45(mm) Laser Bar 治具
溅射靶系统
? 换位切换：支持
? 定位摆动：支持小角度摆动
? 位置可调：手动左右调整（±25mm）
? 数量：配备3块直径14英寸靶材背板
? 材 料 ： 钛 ， 铝 （ 厚 度 1/4英 寸 ） ；
SiO2，五氧化二钽（厚度1/2 英寸）
光控/控制系统
? 光控系统：PEAKTRA透射式光学膜厚自动监控系统
? 波长范围：400-700 nm (白光光控）
? 控制系统：PEAKTRA
工艺验证
? AR性能验证
1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；
0.1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；
0.05%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；
0.01%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率。
? AR重复性验证
0.01%反射率重复性验证：
①
每个镀膜炉次，选择2个相对位置，各放置1根巴条(FP)；每根
巴条选择首尾2颗芯片，拟合AR值＜0.01%；即共计4颗芯片AR
拟合值均＜0.01%；
②
按照上述操作，重复3个镀膜炉次；每个炉次取4颗芯片，AR拟
合值均＜0.01%。
? HR性能验证
选择2个相对位置，放置Si/InP片均可，利用分光光度计测试
，波长1240~1300nm范围内HR反射率93±0.5%；
重复3个炉次，两个对角测试，波长1240~1300nm范围内HR反射
率93±0.5%。
? 粘附性验证
在BK7和Si片沉积AR/HR薄膜后，用划刀进行田子格测试，
3M胶带粘三次无脱膜现象。
? 应力验证
在2寸Si基底上沉积AR膜和HR膜；
AR、HR膜层进行应力测试，应力值满足＜±*@*°和90°
。
? 非气密性验证
带有AR/HR膜层的陪片(BK7)，在沸水煮72H后，水煮前后监控
片的透过率变化＜0.5%。
设备高度：厂房高度2.8米，设备进厂房时，高度不能超过2.6米；
交期：2024-5-15前，需交付；
交付地：鹤壁。
其他要求：
1、供应商负责将货物按时按量送达采购人指定地点。
2、供应商提供的产品除需满足采购方招标文件中的相关要求外，其余应遵循最新版本的国
家标准。
3、设备电源接口符合中国电力标准及安全环保要求。
五标段：
设备名称
功能与指标
自 动 楔 形
球焊机
? 设备功能：实现球焊、楔焊功能，球焊、楔焊切换时间控制在
30分钟以内。
? 设备指标：有效XY工作区域尺寸200mm*200mm；Z轴行程50mm工
作台可升降，加热台温度：0—300±0.5 ℃可调。
? 固定方式：真空吸附&夹持
? 腔深设备指标：
球
焊
--
标准劈刀（19mm），常规腔深≤10mm；极限腔深≤11.5mm。
楔焊--标准劈刀（25mm），≤15mm。
? 焊接精度：
焊点对位精度自动机对位精度设备指标±*@*s,±0.1°@3
s（离散度考量），考虑尾丝偏摆，断丝尾丝末端形态影响，指标
可根据实际结果评估。
技术中心测试以极大值不超金丝半径为标准范围内离散分布。
? 键合压力：1-300g精度0.1g,在线可编程
Theta旋转轴行程：楔焊-360°--360°；球焊-90°--90°
? 软限位行程。
? 相机视场范围：4.2mm*3.5mm
? UPH:2-7线/秒
? 线轴：要求2英寸标准线轴
? 可键合材料：金丝
? 尾丝：
尾
丝
长
度
要
求
1-
2倍引线直径，尾丝长度影响焊点长度最终占比，行业内尾丝要求：金丝尾
丝
长
度
以
1/2-
1倍 引 线 直 径 ， 例 25μ m金 丝 按 12.5~25um范 围 实 施 ； 铝 丝 尾 丝 长 度 以 1-
1.5倍引线直径。
? 特殊线弧：具备三点两弧
? 弧度：弧高弧形要求一致且外观美观。
? 断尾：断尾一致，二焊点被带走部分面积占比＜6%。
? 丝外观：外观无明现损伤，无金屑掉落。
? 推拉力：球焊拉力≥6g且不能脱点，推力≥22g；楔焊拉力≥6g且不能
脱点。
? 上料模式：人工手动上料。
? 配件：球焊劈刀20个，楔焊劈刀10个。
? 配备：TO夹具、COC夹具、蝶形夹具、BOX夹具，夹具具备灵活可调。
? 220AC±10%@50Hz，10A。
? 质保服务：要求不低于3年。
? 人员培训：要求设备供方现场培训1-2人，设备功能操作及维护。
其他要求：
1、供应商负责将货物按时按量送达采购人指定地点。
2、供应商提供的产品除需满足采购方招标文件中的相关要求外，其余应遵循最新版本的国
家标准。
3、设备电源接口符合中国电力标准及安全环保要求。
三、项目要求
1、本项目投标供应商的报价为含税报价（含13%增值税专用发票）。
2、标2需要*方验厂通过后，合同生效。
3、本项目如投标设备为国产设备只允许生产商投标，进口设备可以接受代理商。各潜在
投标人参与投标时需提供相关身份证明材料，否则投标无效。