薄膜应力测量仪废标公告
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薄膜应力测量仪废标公告
| 项目名称 | 薄膜应力测量仪 | 项目编号 | XHGD-CG-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
| 采购单位 | 西湖大 (略) | 付款方式 | 合同签订后预付30%，验收合格后支付70% |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后90个自然日 |
| 预 算 | *.0 | ||
| 收货地址 | (略) 西湖区三墩镇云创镓谷 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 薄膜应力测量仪 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | *.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.基本原理：曲率法Stoney公式；2.主要方法：采用双波长激光对样品进行扫描测量；635nm/670nm波长，功率≥5mW；3.主要功能：自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；4.薄膜应力测试范围：1 MPa-10 GPa；5.曲率半径测试范围：2-20000m；6.曲率半径重复精度：≤±1 % （1σ；曲率半径≤20m），≤±2.5 %（1σ；曲率半径≤200m）；7.样品最大尺寸：≤8英寸，向下兼容6、4、3、2、1英寸；8.扫描最小步长：0.1mm；9.样品台：电动旋转+水平位移；10. 操作软件：可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；视窗界面/适用于Windows 10 系统；11.大气等离子清洗样品模块：空气气氛，无需外部气源气瓶；手持按钮控制，即插即用；12.工作温度：室温；13.操作电脑：标配台式一体机； |
| 售后服务 | 质保期:一年; |
| 项目名称 | 薄膜应力测量仪 | 项目编号 | XHGD-CG-* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
| 采购单位 | 西湖大 (略) | 付款方式 | 合同签订后预付30%，验收合格后支付70% |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后90个自然日 |
| 预 算 | *.0 | ||
| 收货地址 | (略) 西湖区三墩镇云创镓谷 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 薄膜应力测量仪 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
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| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | *.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.基本原理：曲率法Stoney公式；2.主要方法：采用双波长激光对样品进行扫描测量；635nm/670nm波长，功率≥5mW；3.主要功能：自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；4.薄膜应力测试范围：1 MPa-10 GPa；5.曲率半径测试范围：2-20000m；6.曲率半径重复精度：≤±1 % （1σ；曲率半径≤20m），≤±2.5 %（1σ；曲率半径≤200m）；7.样品最大尺寸：≤8英寸，向下兼容6、4、3、2、1英寸；8.扫描最小步长：0.1mm；9.样品台：电动旋转+水平位移；10. 操作软件：可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；视窗界面/适用于Windows 10 系统；11.大气等离子清洗样品模块：空气气氛，无需外部气源气瓶；手持按钮控制，即插即用；12.工作温度：室温；13.操作电脑：标配台式一体机； |
| 售后服务 | 质保期:一年; |
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