薄膜应力测量仪废标公告

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薄膜应力测量仪废标公告

项目名称薄膜应力测量仪项目编号XHGD-CG-*
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位西湖大 (略) 付款方式合同签订后预付30%，验收合格后支付70%
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求签约后90个自然日
预 算*.0
收货地址 (略) 西湖区三墩镇云创镓谷
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
薄膜应力测量仪1台无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算*.0
技术参数及配置要求1.基本原理：曲率法Stoney公式；2.主要方法：采用双波长激光对样品进行扫描测量；635nm/670nm波长，功率≥5mW；3.主要功能：自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；4.薄膜应力测试范围：1 MPa-10 GPa；5.曲率半径测试范围：2-*m；6.曲率半径重复精度：≤±1 % （1σ；曲率半径≤20m），≤±2.5 %（1σ；曲率半径≤200m）；7.样品最大尺寸：≤8英寸，向下兼容6、4、3、2、1英寸；8.扫描最小步长：0.1mm；9.样品台：电动旋转+水平位移；10. 操作软件：可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；视窗界面/适用于Windows 10 系统；11.大气等离子清洗样品模块：空气气氛，无需外部气源气瓶；手持按钮控制，即插即用；12.工作温度：室温；13.操作电脑：标配台式一体机；
售后服务质保期:一年;
项目名称薄膜应力测量仪项目编号XHGD-CG-*
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位西湖大 (略) 付款方式合同签订后预付30%，验收合格后支付70%
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求签约后90个自然日
预 算*.0
收货地址 (略) 西湖区三墩镇云创镓谷
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
薄膜应力测量仪1台无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算*.0
技术参数及配置要求1.基本原理：曲率法Stoney公式；2.主要方法：采用双波长激光对样品进行扫描测量；635nm/670nm波长，功率≥5mW；3.主要功能：自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；4.薄膜应力测试范围：1 MPa-10 GPa；5.曲率半径测试范围：2-*m；6.曲率半径重复精度：≤±1 % （1σ；曲率半径≤20m），≤±2.5 %（1σ；曲率半径≤200m）；7.样品最大尺寸：≤8英寸，向下兼容6、4、3、2、1英寸；8.扫描最小步长：0.1mm；9.样品台：电动旋转+水平位移；10. 操作软件：可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布；视窗界面/适用于Windows 10 系统；11.大气等离子清洗样品模块：空气气氛，无需外部气源气瓶；手持按钮控制，即插即用；12.工作温度：室温；13.操作电脑：标配台式一体机；
售后服务质保期:一年;
    
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