序号

设备名称

技术指标

单位

数量

预算金额（万元）

1

脉冲纳秒Nd:YAG激光器

一、货物清单：

1. 脉冲泵浦光光源设备主机一台（标准1064nm，532nm输出，备有355nm的扩展功能接口），推拉出光口，一体化合金浇筑壳体（720.5mmx 150mm x 178mm），输出光用于超快光源、染料光源等的泵浦光功能。

2. 电源及内循环水二合一系统一台，为光源主机提供1000w的电功率注入及900w的冷却功率，冷却系统为内循环水风冷，电源冷却分离设计，体积小巧（574mm x 295 mm x 545mm）带滚轮把手设计，便于单人移动，配有标准航空电缆插口，快速水拔插接口，远程控制盒接口，BNC输入输出信号接口以及RS232串口通讯接口。

3. 远程控制盒一只，液晶面板触摸控制，实现对光源主机的输出频率，电压，工作开关的控制，控制盒另配有泵浦计数、温度监控、安全连锁、急停开关、连接电脑软件控制等功能。

4. 光源控制软件一套，实现计算机与电源串口通讯的控制，图形界面操作简易。

二、技术指标：

*1. 光源脉冲能量：1064nm输出单脉冲900mJ，532nm输出单脉冲480mJ；

*2. 光源脉冲宽度：＜10ns；

*3. 发散角：小于1mrad，空间全角；

4. 指向性：小于30urad；

5. Jitter值：小于1ns（RMS值）；

6. 光斑大小：约9mm；

*7. 倍频晶体有恒温炉设计，设备预留355nm倍频输出接口，二倍频晶体使 (略) 倍频；

8. 独立支撑的谐振腔，振荡级加放大级输出的设计配置；

*9. 配有液晶控制盒和计算机软件控制光源输出，实现对光源主机的输出频率，电压，工作开关的控制；

10. 保修一年，免费安装调试及培训。

套

1

23

2

高速激光介质循环器

一、货物清单：

1．高速激光介质循环器。

二、技术指标：

套

1

7.2

3

浸渍提拉镀膜机

一、货物清单：

1. 200kN主机一台（标准双空间，上拉下压），可用于金属、非金属材料的拉伸、弯曲、压缩等试验；

2. 电机及伺服系统一套(进口减速电机) 、200kN负荷传感器一只（进口）、电子引伸计一只（标距50 mm，变形量：5 mm）；

3. 拉伸夹具一套(平钳口:0-10、10-20、20-30 mm；V型钳口：φ8-φ16、φ16-φ26mm、φ26-φ36mm) 、压缩装置一套(盘径φ150mm)、弯曲装置一套(弯曲压头直径φ30mm、支辊直径φ30mm) 随机工具一套；

4. 上位机：CPU i5，21寸液晶显示器，内存4G，硬盘500G，预装win XP系统（必须与此设备配套），激光打印机，配备电脑桌椅；

二、技术指标：

*1. 提拉装置、程控系统均采用进口产品， (略) 精度及稳定性；

    提拉速度范围：1～5000 μm/s，最小分辨率1μm/s；

    速度精度：-0.02%～+0.02%

*2. 多参数全自动控制；提拉速度连续可调；

3. 一体化集成控制器，LCD显示、控制按键集成一体；

4. 高、 (略) 平稳，镀膜时液面无振动，使成膜更均匀；

5. 运行时，各项参数实时显示，更直观了解镀膜进程；

*6. 采用特殊设计的平口型夹具，两面均匀夹持样片，不会夹坏玻璃样片；

7.  (略) 程：230 mm

8. 适用基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；

*9. 浸渍时间：1～1200 s，最小分辨率1s；

10. 镀膜次数：1～100次，最少1次；

11. 每次镀膜间隔时间：1～3600 s，最小分辨率1s；

12. 电源：220V/50Hz

13. 投标 (略) 授权书和售后服务承诺书原件；

14. 保修三年，免费安装调试及培训。

套

1

1.5

4

1550nm多模光纤耦合激光器

一、货物清单：

1. 驱动电源： 自带过热、限流保护电路，可外接高速调制；

2. 激光器： 原装进口LD，寿命 >10000小时；

3. 光纤长度：100cm；

4. 光纤连接器FC/PC；

5. 光纤耦合器COL-12（4.8mm&18mrad）。

二、技术指标：

*1. 采用原装进口LD；

2. 激光波长：1550±5 nm；

3. 输出功率：0~1000 mW（功率稳定、可调节）；

4．工作方式：连续；

*5. 采用优质多模光纤耦合输出，光纤可拆卸，便于维护；

6. 光纤芯径：200 um；  

7. 数值孔径：0.22；

8. 光纤长度100 cm；       

9. 光纤连接器：FC/PC；

10. 光纤准直器：COL-12（4.8mm&18mrad）；

*11. 功率稳定性：< 3% / 4小时；

12. 激光头尺寸140 x 49 x 42 mm；

13. 激光头重量0.5 kg；

14. 驱动电源：自带过热、限流保护电路，可外接高速调制；

15. 驱动电源尺寸：150 x 110 x 56mm；

16. 驱动电源重量：0.6 kg；

17. 制冷方式：TEC；

18. 供电方式：90~240V AC；

19. 工作温度：0~40℃；

20. 保修期：3年。

套

1

1.35

5

1060nm多模光纤耦合激光器

一、货物清单：

1. 驱动电源： 自带过热、限流保护电路，可外接高速调制；

2. 激光器： 原装进口LD，寿命 >10000小时；

3. 光纤长度：100cm；

4. 光纤连接器FC/PC；

5. 光纤耦合器COL-12（4.8mm&18mrad）。

二、技术指标：

*1. 采用原装进口LD；

2. 激光波长：1060±5 nm； 

*3. 输出功率：0~1000 mW（功率稳定、可调节）；

4．工作方式：连续；

5. 采用优质多模光纤耦合输出，光纤可拆卸，便于维护；

6. 光纤芯径：200 um；   

7. 数值孔径：0.22；

8. 光纤长度100 cm；       

9. 光纤连接器：FC/PC；

10. 光纤准直器：COL-12（4.8mm&18mrad）；

*11. 功率稳定性：< 3% / 4小时；

12. 激光头尺寸140 x 49 x 42 mm；

13. 激光头重量0.5 kg；

14. 驱动电源：自带过热、限流保护电路，可外接高速调制；

15. 驱动电源尺寸：140 x 49 x 42mm；

16. 驱动电源重量：0.6 kg；

17. 制冷方式：TEC；

18. 供电方式：90~240V AC；

19. 工作温度：0~40℃；

20. 保修期：免费质保3年。

套

1

1.15

序号

设备名称

技术指标

单位

数量

预算金额（万元）

1

半导体及光学薄膜制备系统

二、货物清单：

1.   溅射真空室组件1套；

2.   磁控溅射靶组件1套；

3.   基片加热转台组件1套；

4.   工作气路1套；

5.   射频电源1套；

6.   直流电源2套；

7.   直流偏压电源1套；

8.   计算机控制系统1套；

9.   水冷系统1套。

二、技术指标：

*1. 溅射真空室组件：极限真空度≤6x10-5Pa (经烘烤除气后)，系统真空检漏率≤5.0x10-7 Pa.l/S，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接， (略) 特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；

*2. 薄膜样品的不均匀度<±5%；

*3.磁控溅射靶组件：永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；配有电动控制挡板组件；

*4. 基片加热转台组件：基片加热最高温度 600°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；基片可连续回转，转速5～10转/分；基片可以加负偏压-200V；

5. 工作气路：配有200SCCM、100SCCM质量流量控制器、充气阀RF16、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共2路；

6. 溅射电源包含射频电源、直流电源、直流偏压电源；

7. 计算机控制系统：由硬件、软件组成，控制的内容主要有靶挡板、样品自转、样品挡板、样品控温等；

8. 水冷系统：冷却循环水制冷量8kW一套 。

9. 投标时需提供制造商提供售后服务承诺书，产品生产需符合ISO9001质量体系认证。

10. 保修三年，免费安装调试及培训。

套

1

33.5