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南昌实验室晶圆热压键合机采购项目竞争性磋商变更公告
（招标编号：*-0403）
一、内容：
1、项目基本情况
原公告的采购项目编号：*-0403 　　　　　　
原公告的采购项目名称：南昌实验室晶圆热压键合机采购项目　　　　　　
首次公告日期：2024 年 04 月 15 日　　　　　　
2、更正信息
更正事项：采购公告、采购文件
更正内容：
2.1、原竞争性磋商文件中“第六章 项目采购需求 （一）技术要求”：
一、晶圆热压键合机技术参数（数量：1 台，预算 136 万元）
(一)核心技术指标
1. 适用 2 寸和 4 寸兼容晶圆键合（可同时键合 6 片晶圆）。
2、最高操作温度 400℃（均匀性可达±3%）。
3、上下压头温差(介于 250℃--500℃温度区间)△T≤±7℃。
▲4、4 寸芯片小于 300℃内外温度公差△T≤±7℃。
▲5、芯片冷却速度:300℃降至 90℃(压力>7000Kg)小于 25 分钟。
6、加热模式采用石英加热灯加热 。
(二)基础技术指标
1、压力控制方式
a)三轴压力各自独立控制；
b)最高操作压力 *kg，压力升压速度最大 300kg/秒，压力偏差±3%；
▲c)最小操作压力 800kg 可控，压力偏差±3%。
2、机器运行软体
a) 制程参数 step 可达 60 组以上；
b) 机器异常信息，操作信息，参数变更信息等记录完整，查询方便。
3、软件可以针对泵体和加热器做维修时间设定，可以监控 parts 的使用情况。
4、可搭配主动式冷却板设计，提高降温速率，缩短制程时间。
5、系统记录完整，包括实时工艺曲线，参数变更记录，异常信息记录等。
▲6、配套石英加热灯 5 组；调档软件 1 套；4 寸石墨堆叠治具 11 套。
现变更为：
一、晶圆热压键合机技术参数（数量：1 台，预算 136 万元）
(一)核心技术指标
1. 适用 2 寸和 4 寸兼容晶圆键合（可同时键合 6 片晶圆）。
2、最高操作温度 400℃（均匀性可达±3%）。
3、上下压头温差(介于 250℃--500℃温度区间)△T≤±7℃。
▲4、4 寸芯片小于 300℃内外温度公差△T≤±7℃。
▲5、带冷锥吹扫降温，芯片冷却速度:300℃降至 90℃(压力>7000Kg)小于 25 分钟，（提供
冷锥图片并加盖供应商公章）
6、加热模式采用石英加热灯加热。
(二)基础技术指标
1、压力控制方式
采用包容式恒温装置
a)三轴压力各自独立控制；
b)最高操作压力 *kg，压力升压速度最大 300kg/秒，压力偏差±3%；
▲c)最小操作压力 800kg 可控，压力偏差±3%。
2、机器运行软体
a）具有恒定的线性技术，支持实验室数据管理系统，支持样本信息的传输，数据的管理，
报告的生成。(提供软件截图并加盖供应商公章)
b) 制程参数 step 可达 60 组以上；
c) 机器异常信息，操作信息，参数变更信息等记录完整，查询方便。
3、软件可以针对泵体和加热器做维修时间设定，可以监控 parts 的使用情况。
4、可搭配主动式冷却板设计，提高降温速率，缩短制程时间。
5、系统记录完整，包括实时工艺曲线，参数变更记录，异常信息记录等。
▲6、配套石英加热灯 5 组；调档软件 1 套；4 寸石墨堆叠治具 11 套。
2.2、原竞争性磋商文件中获取采购文时间：2024 年 04 月 16 日至 2024 年 04 月 22 日，每
天上午 8：30 至 12：00、下午 14：00 至 17：00 时（北京时间，法定节假日除外）。
现变更为：2024 年 04 月 16 日至 2024 年 04 月 23 日，每天上午 8：30 至 12：00、下午 14：00
至 17：00 时（北京时间，法定节假日除外）。
2.3、原竞争性磋商文件中响应文件提交、开启时间：2024 年 04 月 26 日 15 点 00 分（北京
时间）
现变更为：2024 年 04 月 28 日 15 点 00 分（北京时间）
2.4、其他内容不变，以最新公告内容为准！
更正日期：2024 年 04 月 23 日　
3、其他补充事宜
无
4、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
4.1.采购人信息
名 称：南昌实验室
地 址： (略) 高新区 (略) 679 号
联系方式：胡武民 0791-*
4.2.采购代理机构信息
名 称：江西银信 (略)
地 址： (略) 青山湖区高新大道 1970 号天幕国际写字楼 13 楼
联系方式：乐岚、彭远康、熊松 0791-*
4.3.项目联系方式
项目联系人：胡武民
电 话：0791-*
延期开标：2024-04-28 15:00:00
二、监督部门
本招标项目的监督部门为南昌实验室。
三、联系方式
招 标 人：南昌实验室
地 址： (略) 高新区 (略) 679 号
联 系 人：胡武民
电 话：0791-*
电子邮件：/
招标代理机构：江西银信 (略)
地 址： (略) 青山湖区高新大道 1970 号天幕国际写字楼 13 楼
联 系 人： 乐岚、彭远康、熊松
电 话： 0791-*
电子邮件： *@*ttp://**
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
南昌实验室晶圆热压键合机采购项目竞争性磋商变更公告
（招标编号：*-0403）
一、内容：
1、项目基本情况
原公告的采购项目编号：*-0403 　　　　　　
原公告的采购项目名称：南昌实验室晶圆热压键合机采购项目　　　　　　
首次公告日期：2024 年 04 月 15 日　　　　　　
2、更正信息
更正事项：采购公告、采购文件
更正内容：
2.1、原竞争性磋商文件中“第六章 项目采购需求 （一）技术要求”：
一、晶圆热压键合机技术参数（数量：1 台，预算 136 万元）
(一)核心技术指标
1. 适用 2 寸和 4 寸兼容晶圆键合（可同时键合 6 片晶圆）。
2、最高操作温度 400℃（均匀性可达±3%）。
3、上下压头温差(介于 250℃--500℃温度区间)△T≤±7℃。
▲4、4 寸芯片小于 300℃内外温度公差△T≤±7℃。
▲5、芯片冷却速度:300℃降至 90℃(压力>7000Kg)小于 25 分钟。
6、加热模式采用石英加热灯加热 。
(二)基础技术指标
1、压力控制方式
a)三轴压力各自独立控制；
b)最高操作压力 *kg，压力升压速度最大 300kg/秒，压力偏差±3%；
▲c)最小操作压力 800kg 可控，压力偏差±3%。
2、机器运行软体
a) 制程参数 step 可达 60 组以上；
b) 机器异常信息，操作信息，参数变更信息等记录完整，查询方便。
3、软件可以针对泵体和加热器做维修时间设定，可以监控 parts 的使用情况。
4、可搭配主动式冷却板设计，提高降温速率，缩短制程时间。
5、系统记录完整，包括实时工艺曲线，参数变更记录，异常信息记录等。
▲6、配套石英加热灯 5 组；调档软件 1 套；4 寸石墨堆叠治具 11 套。
现变更为：
一、晶圆热压键合机技术参数（数量：1 台，预算 136 万元）
(一)核心技术指标
1. 适用 2 寸和 4 寸兼容晶圆键合（可同时键合 6 片晶圆）。
2、最高操作温度 400℃（均匀性可达±3%）。
3、上下压头温差(介于 250℃--500℃温度区间)△T≤±7℃。
▲4、4 寸芯片小于 300℃内外温度公差△T≤±7℃。
▲5、带冷锥吹扫降温，芯片冷却速度:300℃降至 90℃(压力>7000Kg)小于 25 分钟，（提供
冷锥图片并加盖供应商公章）
6、加热模式采用石英加热灯加热。
(二)基础技术指标
1、压力控制方式
采用包容式恒温装置
a)三轴压力各自独立控制；
b)最高操作压力 *kg，压力升压速度最大 300kg/秒，压力偏差±3%；
▲c)最小操作压力 800kg 可控，压力偏差±3%。
2、机器运行软体
a）具有恒定的线性技术，支持实验室数据管理系统，支持样本信息的传输，数据的管理，
报告的生成。(提供软件截图并加盖供应商公章)
b) 制程参数 step 可达 60 组以上；
c) 机器异常信息，操作信息，参数变更信息等记录完整，查询方便。
3、软件可以针对泵体和加热器做维修时间设定，可以监控 parts 的使用情况。
4、可搭配主动式冷却板设计，提高降温速率，缩短制程时间。
5、系统记录完整，包括实时工艺曲线，参数变更记录，异常信息记录等。
▲6、配套石英加热灯 5 组；调档软件 1 套；4 寸石墨堆叠治具 11 套。
2.2、原竞争性磋商文件中获取采购文时间：2024 年 04 月 16 日至 2024 年 04 月 22 日，每
天上午 8：30 至 12：00、下午 14：00 至 17：00 时（北京时间，法定节假日除外）。
现变更为：2024 年 04 月 16 日至 2024 年 04 月 23 日，每天上午 8：30 至 12：00、下午 14：00
至 17：00 时（北京时间，法定节假日除外）。
2.3、原竞争性磋商文件中响应文件提交、开启时间：2024 年 04 月 26 日 15 点 00 分（北京
时间）
现变更为：2024 年 04 月 28 日 15 点 00 分（北京时间）
2.4、其他内容不变，以最新公告内容为准！
更正日期：2024 年 04 月 23 日　
3、其他补充事宜
无
4、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
4.1.采购人信息
名 称：南昌实验室
地 址： (略) 高新区 (略) 679 号
联系方式：胡武民 0791-*
4.2.采购代理机构信息
名 称：江西银信 (略)
地 址： (略) 青山湖区高新大道 1970 号天幕国际写字楼 13 楼
联系方式：乐岚、彭远康、熊松 0791-*
4.3.项目联系方式
项目联系人：胡武民
电 话：0791-*
延期开标：2024-04-28 15:00:00
二、监督部门
本招标项目的监督部门为南昌实验室。
三、联系方式
招 标 人：南昌实验室
地 址： (略) 高新区 (略) 679 号
联 系 人：胡武民
电 话：0791-*
电子邮件：/
招标代理机构：江西银信 (略)
地 址： (略) 青山湖区高新大道 1970 号天幕国际写字楼 13 楼
联 系 人： 乐岚、彭远康、熊松
电 话： 0791-*
电子邮件： *@*ttp://**
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
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